光电工程师社区

标题: 求助，镀膜后麻点！！！！ [打印本页]

作者: fibercoating 时间: 2012-4-24 20:40
标题: 求助，镀膜后麻点！！！！
本帖最后由 fibercoating 于 2012-4-24 20:42 编辑

光纤镀AR膜，镀膜后40X显微镜观察，表面有密集白点，百思不得其解，难以分析出原因，求助

镀膜机配置：国产南光+国产EB+国产考夫曼源+国产TI3O5

最郁闷的是此情况不定期产生，基本就吃出现问题后清洁离子源和更换铝箔，但不知道能保持几炉。请各位同行帮忙分析下，图片是800倍CCD观察。

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gf.JPG (163.92 KB, 下载次数: 136)

麻点

作者: fibercoating 时间: 2012-4-24 20:43
麻点很小，估计绝大部分都不超过2um

作者: ZHJ7239 时间: 2012-4-24 21:32
原因应该在离子源或电子枪上

作者: nkclone 时间: 2012-4-25 00:01
电子枪吧。

作者: guhua530 时间: 2012-4-25 07:41

作者: tfc 时间: 2012-4-25 07:50
国产考夫曼源，栅极小孔没有完全对准，容易出这样情况，先检查两片细孔的状况，用放大镜仔细观察一下

作者: gxfdllg 时间: 2012-4-25 08:33
看看前一站工序又有没有出现异常，国产的药不是很好，看看能不能用进口的药材这样会跟好点！

作者: fibercoating 时间: 2012-4-25 11:45
TI3O5现在只有一种，暂时也换不了，关键是麻点时有时无，这个很郁闷，又找不到确切的原因，现在就怀疑离子源脏污，电子枪枪头脏，还有充氧管出气孔脏。

作者: fibercoating 时间: 2012-4-25 11:47

tfc 发表于 2012-4-25 07:50
国产考夫曼源，栅极小孔没有完全对准，容易出这样情况，先检查两片细孔的状况，用放大镜仔细观察一下

谢谢你提的建议，这个之前倒是没注意，就以为是栅网表面脏污会造成。

作者: fibercoating 时间: 2012-4-25 16:17
彩色显微镜下看起来是红点，请各位帮忙分析一下。

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作者: zouyou828459 时间: 2012-4-25 20:11

fibercoating 发表于 2012-4-25 16:17
彩色显微镜下看起来是红点，请各位帮忙分析一下。

请问这种光洁度能达到多少，我公司镀出来的膜可没有像你那样用仪器观测哦，她们检验是直接用激光灯照射然后肉眼观看，请大家说说这两种方法有差距吗？差距是多大，欢迎讨论啊。

作者: killjackson 时间: 2012-4-27 14:01
Ti3O5有问题，要换掉

作者: fibercoating 时间: 2012-4-27 14:48
我也感觉TI3O5有问题，熔料的时候喷的厉害，另外充氧口是对着坩埚边上的，会不会是氧气把坩埚盖板上的脏东西吹起来

作者: 新手求教 时间: 2012-4-28 12:17
出现麻点是因为膜料的问题

作者: 强子 时间: 2012-4-30 20:29
楼主留个联系方式吧

作者: jasmine131415 时间: 2012-5-3 10:30
学习中....

作者: weifnafly 时间: 2012-5-4 22:37
公司没用过国产机

作者: ghtzna 时间: 2012-5-6 07:05
我觉得这种不正常现象和TI没有关系，因为不是每锅都有建议定期将你的坩埚周围使用酒精擦拭避免在镀膜前预融时有杂质被电子枪轰击上去

作者: zouyou828459 时间: 2012-5-6 12:49
这就是用离子源用不好而出现适得其反效果的原因，从图片上的的分析可以看出，此离子源的功率应要减少，因为那黑点都是TI3O5的吸收斑，我们知道离子源它能够起到一定的催动有吸收性膜料分子的与氧分子的结合能力，而且能增加膜料分子的致密性，当离子源功率太大时，蒸发上去的吸收材料来不及与氧分子结合就被后的膜产分子覆盖掉而出现例如黑班，黄班等等，所以离子源的楼主使用还得好好研究研究啊

作者: fibercoating 时间: 2012-5-9 11:59

强子发表于 2012-4-30 20:29
楼主留个联系方式吧

tadmarine@gmail.com
qq:277204240

作者: wdydede 时间: 2012-5-10 01:19
AR膜用到TI3O5，学习下

作者: royyang 时间: 2012-6-13 22:09
离子枪或是电子枪问题吧

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