光电工程师社区

标题: 镀膜速率太高对膜有什么影响？ [打印本页]

作者: gxfdllg 时间: 2012-5-2 18:37
标题: 镀膜速率太高对膜有什么影响？
镀膜速率太高对膜有怎么样的影响？（一般镀膜材料) 本人也知道就是不怎么全面！

作者: shuangzixing 时间: 2012-5-2 20:31
太快膜层太松

作者: guhua530 时间: 2012-5-2 20:32
光洁度、膜的密度等

作者: E501559 时间: 2012-5-3 08:25
影响膜层的附着力

作者: jasmine131415 时间: 2012-5-3 10:16
嘉兴晶控电子有限公司，位于浙江省嘉兴市（上海下游，杭州上游），我们是专业制造光学镀膜耗材-石英晶振片和生物传感器-石英晶体微天平厂家。

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作者: gxfdllg 时间: 2012-5-3 17:56

guhua530 发表于 2012-5-2 20:32
光洁度、膜的密度等

谢谢，但是不够全面，我对致密度、膜的强度、内应力、迁移？？？

作者: dyfdudu 时间: 2012-5-3 18:25
每种膜料的速率是不一样的，速率太高或太低会影响膜层的厚度和密度。太高的话膜层密度要低，会有大的颗粒蒸发到镀层上面。

作者: dyfdudu 时间: 2012-5-3 18:26
每种膜料的速率是不一样的，速率太高或太低会影响膜层的厚度和密度。太高的话膜层密度要低，会有大的颗粒蒸发到镀层上面。

作者: xslaser 时间: 2012-5-4 10:54
嗯速率太高或太低会影响膜层的厚度和密度

作者: 飞鸿腾达 时间: 2012-5-4 20:50
这个要看什么材料的哈，如高固态的材料，建议束流低一点，高的话，膜的结构很松不紧密，表面光洁度很粗糙，容易膜变，起雾，曲线更会飘逸哈，像MGF2这种融化后成液态的那束流稍微快点，不然料不完全融化，敏感度很强，很难控制。

作者: royyang 时间: 2012-6-26 19:08
学习，受教

作者: fql3310 时间: 2012-6-27 21:08
还是离子源这块，国产机镀TA2O5 1.5埃每秒（伞型工件），进口机集中型离子源(集中型离子源）0.8埃每秒（APS1104），片子不大直径不到20厘米。分散型离子源APS904，也是伞形工件，0.25埃每秒。

作者: fql3310 时间: 2012-6-27 21:10
SIO2集中型离子源，可以达到15埃每秒，而且膜层很致密。

作者: gxfdllg 时间: 2013-4-10 09:54

fql3310 发表于 2012-6-27 21:10
SIO2集中型离子源，可以达到15埃每秒，而且膜层很致密。

谢谢，SIO2蒸发快为什么膜会疏松？

作者: gxfdllg 时间: 2013-4-10 09:56

飞鸿腾达发表于 2012-5-4 20:50
这个要看什么材料的哈，如高固态的材料，建议束流低一点，高的话，膜的结构很松不紧密，表面光洁度很粗糙， ...

谢谢，那SIO2蒸发快膜会疏松吗，为什么？

作者: fql3310 时间: 2013-4-10 21:35
SIO2蒸发快,膜层也会致密,压应力比一般速率镀的要大点,

作者: 飛兲寶赑 时间: 2013-4-16 18:11
快了会调膜

作者: xiao2011 时间: 2013-4-16 22:16

作者: huoredexin 时间: 2018-7-22 10:32
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