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标题: 膜强度求教 [打印本页]

作者: WENJINGREN 时间: 2012-5-8 16:36
标题: 膜强度求教
最近镀R较小的凹面不瞅玻璃镜片时，膜强度不够，边缘膜脱落，请教各位同仁产生的原因及解决方法。先谢谢各位了。

作者: 强子 时间: 2012-5-10 11:37
有用离子源吗？温度、速率、O2是多少？

作者: WENJINGREN 时间: 2012-5-11 10:54
有用离子源,温度260度、速率3-5、O2是多少8.0*10-5troo

作者: WENJINGREN 时间: 2012-5-11 10:56
有用离子源,温度260度、速率3-5、O2是8.0*10-5ttorr

作者: WENJINGREN 时间: 2012-5-11 10:58

强子发表于 2012-5-10 11:37
有用离子源吗？温度、速率、O2是多少？

有用离子源,温度260度、速率3-5、O2是8.0*10-5ttorr

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