光电工程师社区

标题: 急需帮忙，高手赐教！ [打印本页]

作者: 梦随心动 时间: 2012-5-12 08:55
标题: 急需帮忙，高手赐教！
请高手赐教，我们有台1200的镀膜机，镀出的反光膜总是有几个针眼那么大小的点子（全部都有），用酒精乙醚擦不掉，点子很小分不清楚是铝还是硅，不知道怎么回事，请高手指教（清洁做了几次，离子原也开了20分钟左右，加热抽了几个小时潮气都试过），膜料全换过，镀的是铝和SiO2（Al2O3也试过，怕镀膜师傅操作问题，换了几个人镀，都是一样）；

作者: tfc 时间: 2012-5-12 08:55
原来开的离子源，镀的有一层恢状的雾，也有点子，这已经不正常了，离子源镀出来的要比轰击光洁度好才正常，可以镀几炉介质膜看光洁度。
是铝点的话，降电流。或者你轻轻调一下就电流太大或太小，电位器要换能更细调的

作者: hackersc 时间: 2012-5-12 13:38
慢抽时间改一下，延长一点看看
另外看看把沉积速率做一些调整（鉴于你考虑是膜料的颗粒）。。

作者: yong0009 时间: 2012-5-12 14:40
你用什么方式镀的啊？

作者: 缘睐汝痴 时间: 2012-5-13 18:31
不知道会不会是离子源能量太强？

作者: 梦随心动 时间: 2012-5-14 09:34
这个问题很困惑，基本都试过了，现在还没解决，晕！我们用的是阻蒸

作者: wdydede 时间: 2012-5-15 00:30
感觉应是针孔，还是基底没有处理好，镀前有超声清洗没？用SIO试试看

作者: tfc 时间: 2012-5-15 16:52
还没有找到原因的话，请描述你从开始达到镀膜真空度后所有操作动作，到镀膜完全结束，应该可以判断问题吧，你用透过法看镀出的反光膜总是有几个针眼那么大小的点子，有没有透光就可以确定是不是针孔，有这些信息，想帮你的人才能判断。

作者: 梦随心动 时间: 2012-5-16 09:12
谢谢各位的指教，我讲一下镀的过程，麻烦各位给分析下：首先是做清洁、换膜料和装铝丝，将擦好的玻璃装入锅内（现在是测试一般装三颗左右），抽真空，真空在5.0 E-3左右时开轰击（原来开的离子源，镀的有一层恢状的雾，也有点子，后来换轰击了），镀铝（用的是阻蒸），镀硅（Al2O3也试过）。试了几十锅了，每锅都有，用其它的机器镀就没事，点子可能是铝点子。希望各位大侠分析下。，

作者: 梦随心动 时间: 2012-5-17 08:28
问题已基本解决，还是炉内清洁没有做彻底，此设备放置了5年左右没有用

作者: tangbei 时间: 2012-5-18 10:56

作者: nkclone 时间: 2012-5-23 08:29

作者: laoxianccc 时间: 2013-4-27 12:46

作者: 新手求教 时间: 2013-4-28 11:14

作者: LOUYC 时间: 2013-7-22 13:41

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