光电工程师社区

标题: 真空疑问 [打印本页]

作者: JINFENG215107 时间: 2012-5-24 12:33
标题: 真空疑问
各位大虾，最近我一真空烘箱在抽真空时总是抽不到设定压力。把真空油，密封条，密封圈，电磁阀甚至真空泵都换了还是效果不理想。保压一晚上真空度没有问题。想大家想想到底问题处在哪里？

作者: opfans696 时间: 2012-5-24 13:07
是不是你的真空表检测不准，标校一下零度。

作者: shuangzixing 时间: 2012-5-25 10:14
呵呵。一个晚上真空都没问题说明没有漏气。检查真空仪或最简单的更换一下高真空管。

作者: qs2784 时间: 2012-5-25 11:27
建议多烘烤一段时间

作者: JINFENG215107 时间: 2012-5-25 14:29

opfans696 发表于 2012-5-24 13:07
是不是你的真空表检测不准，标校一下零度。

真空表今天也换了，校准了问题还是没有解决啊。

作者: JINFENG215107 时间: 2012-5-25 14:32

shuangzixing 发表于 2012-5-25 10:14
呵呵。一个晚上真空都没问题说明没有漏气。检查真空仪或最简单的更换一下高真空管。

漏气是肯定没有，现在的问题就是抽真空抽不到，门封条，真空油都换过了。想不到问题处在哪里？保压都没问题的

作者: 魅力薄膜 时间: 2012-5-25 19:22
是低真空抽不上去还是高真空抽不上去？？高真空的话时候考虑下吧扩散泵拆下清洁虾

作者: tfc 时间: 2012-5-26 07:48
彻底清洁内部，考察停止抽气5分钟时真空下降情况

作者: JINFENG215107 时间: 2012-5-29 07:54

魅力薄膜发表于 2012-5-25 19:22
是低真空抽不上去还是高真空抽不上去？？高真空的话时候考虑下吧扩散泵拆下清洁虾

谢谢，问题搞定

作者: JINFENG215107 时间: 2012-5-29 07:55

tfc 发表于 2012-5-26 07:48
彻底清洁内部，考察停止抽气5分钟时真空下降情况

谢谢，搞定了

作者: jy0jyxrd 时间: 2012-5-29 19:33
扩散泵温度达不到吧

作者: 魅力薄膜 时间: 2012-5-30 12:17
楼主说下是怎么解决的呢

作者: shuangzixing 时间: 2012-5-31 15:52
是扩散泵油还是其它问题。说说不要卖关子、

作者: tfc 时间: 2012-6-1 07:58
支持楼上的话说，有问题就求助，问题解决了，又不告诉人家到底怎么回事，下一次还能争取别人帮么

作者: JINFENG215107 时间: 2012-6-1 15:20

tfc 发表于 2012-6-1 07:58
支持楼上的话说，有问题就求助，问题解决了，又不告诉人家到底怎么回事，下一次还能争取别人帮么

电磁阀锁的不到位，时间长了里面的密封圈都老化变硬了。密封的效果就没有原来的那么好了。还有现在的国产真空泵质量越来越差了，转子都磨损了。

作者: JINFENG215107 时间: 2012-6-1 15:24

shuangzixing 发表于 2012-5-31 15:52
是扩散泵油还是其它问题。说说不要卖关子、

是泵的原因，换上去的新泵反而没有老的好。新的泵转子都磨损了高真空肯定抽不到了油封效果也不好。

还是质量太差。便宜没好货。

作者: shuangzixing 时间: 2012-6-1 18:09
想必进口机还不如我们使用的国产机啊。我们用了8年还没有遇到此类问题。国产的泵也要看哪家生产的。不是每一家都不好的。

作者: shuangzixing 时间: 2012-6-1 18:10
金工油水很多吧
哈哈、

作者: tfc 时间: 2012-6-2 07:55
国产的泵精度差点，然后密封圈质量差点，有维修时换氟、硅材料

作者: huang12949 时间: 2012-6-2 11:12
电磁阀锁不到位，一个是维持泵，一个是粗抽泵两个部位，如若电磁阀有问题锁不到位，分别所属泵都会不断冒烟。这个问题很表象的问题

作者: JINFENG215107 时间: 2012-6-4 11:39

shuangzixing 发表于 2012-6-1 18:09
想必进口机还不如我们使用的国产机啊。我们用了8年还没有遇到此类问题。国产的泵也要看哪家生产的。不是每一 ...

咳...你误会了。我说的不是镀膜计上的真空泵，而是烘箱上抽真空的真空泵。

作者: shuangzixing 时间: 2012-6-4 15:10
原理应该一样的

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