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标题: ALD气相沉积 [打印本页]

作者: 镀膜工 时间: 2012-5-26 08:52
标题: ALD气相沉积
有对ALD气相沉积法了解的吗？两种气体交替每一个循环周期膜厚是怎么测量的？是固定的吗？

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