光电工程师社区

标题: 膜厚分布与补正板修正 [打印本页]

作者: zhm1988 时间: 2012-6-15 09:33
标题: 膜厚分布与补正板修正
如图为从上到下监控片的反射率与波长关系曲线
不知道是不是补正板没修好的原因还是无法根本无法达到重合的效果，左右基本趋于一致了，不偏移
1到6六块监控片的光学曲线无法重合最高点的坐标从上到下依次增高
这个能否解决？可以使6

块监控片的光学曲线完全重合

作者: zhm1988 时间: 2012-6-15 09:35
欢迎大家讨论

作者: wangxudong1227 时间: 2012-6-15 12:33
折射率不均匀导致的·····
请问你是离子源辅助还是加热机
？

作者: wangxudong1227 时间: 2012-6-15 12:34
内圈折射率高，外圈低

作者: zhm1988 时间: 2012-6-15 13:20

wangxudong1227 发表于 2012-6-15 12:34
内圈折射率高，外圈低

蒸发镀膜现代南光机器一个蒸发源无离子源辅助

作者: yuvia_ye 时间: 2012-6-15 18:22
工件盘温度分布一致吗？

作者: zhm1988 时间: 2012-6-18 08:33

yuvia_ye 发表于 2012-6-15 18:22
工件盘温度分布一致吗？

这个是一致的而且转速都是匀速转动
发现不同转速下折射率高低有些不一样

作者: 玲玲 时间: 2012-6-18 08:45
其实是折射率不一样所致（受蒸发角影响），机台本身工艺结构问题，要完全一致有困难，

作者: zhm1988 时间: 2012-6-18 08:59

玲玲发表于 2012-6-18 08:45
其实是折射率不一样所致（受蒸发角影响），机台本身工艺结构问题，要完全一致有困难，

恩，也对结构角度什么的也有些影响

作者: tfc 时间: 2012-6-18 14:31
先修折射率，再修厚度。

作者: 相伴/sun天涯 时间: 2012-6-18 15:12

tfc 发表于 2012-6-18 14:31
先修折射率，再修厚度。

先修折射率怎么修可以教小第一下

作者: yuvia_ye 时间: 2012-6-21 14:24

zhm1988 发表于 2012-6-18 08:33
这个是一致的而且转速都是匀速转动
发现不同转速下折射率高低有些不一样

我们是有靠离子源来辅助完成的，略微差异还是有存在的

作者: wangxudong1227 时间: 2012-7-2 14:01

zhm1988 发表于 2012-6-15 13:20
蒸发镀膜现代南光机器一个蒸发源无离子源辅助

加热机是吧？
人为调整DOME 上各组加热的功率。
温度均匀了折射率不均匀，那你可以通过调整温度，让温度变得不均匀，得到均匀折射率。
你可以试试。

作者: zhm1988 时间: 2012-7-2 14:56

wangxudong1227 发表于 2012-7-2 14:01
加热机是吧？
人为调整DOME 上各组加热的功率。
温度均匀了折射率不均匀，那你可以通过调整温度，让温度 ...

这个建议不错，可以试试，还在解决中。。。。。。

作者: lkai1014 时间: 2012-7-4 08:45
1.使用金属的温度计,真空压力时间稳定,看下实际的分布温度状态进行校正
2.a膜厚分布可先不加修正板进行单层蒸镀测量各测试片的分光曲线,b再任意加块对称的修正板在蒸镀次
根据各相对应点位置曲线进行对比，（点对位置是指测试片同修正板的相对应点）c再根据修正板各
点位置对称宽度变化，来调正膜厚分布。

作者: 2011059 时间: 2012-9-7 12:04

作者: 昕昕光电 时间: 2012-9-7 14:16
呵呵，我们也是这个问题

作者: xubigbear 时间: 2012-12-17 17:56
补正板是什么东西啊，怎么还有折射率？

作者: ouyuu 时间: 2012-12-17 22:48

xubigbear 发表于 2012-12-17 17:56
补正板是什么东西啊，怎么还有折射率？

因为蒸发角度的关系，药材蒸发到产品上的厚度是不均匀的。
为了使其厚度均匀，所以需要用补正板（也有叫修正板的），
挡掉偏厚处的多余药材。

但因为蒸发高度不一样，药材到达产品的状态是不一样的，
这样会导致膜的密度不均匀，所以会有离子源辅助镀膜。
在没有离子源的情况下，也可人为调整产品的温度，
来修正密度的偏差。

作者: 霹靂貓 时间: 2012-12-18 13:11

作者: 高佑君 时间: 2012-12-21 13:56
学习，膜

作者: maray 时间: 2013-6-2 17:45
沉积速度会直接影响折射率的，南瓜没用离子源，试试改变真空度、EB电流罗

作者: 老城 时间: 2013-6-3 00:32
最近也遇到这种问题，请老大们指教。。

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