光电工程师社区

标题: 电子显微镜和光学显微镜的主要区别 [打印本页]

作者: test4test 时间: 2012-6-23 22:25
标题: 电子显微镜和光学显微镜的主要区别
电子显微镜和光学显微镜的主要区别主要有以下五点：
1．光学显微镜（以下简称光镜）使用可见光作为光源，而电子显微镜（以下简称电镜）利用高能短波长电子束代替可见光。
2．光镜的聚焦镜使用光学学镜片，电镜则使用电磁透镜。
3．成像系统不同。
4．放大倍数不同，光镜一般最大能放大到2000x，电镜则可高达数十万倍。
5．光镜仅能观察到表面微细结构，电镜可获取晶体结构、微细组织、化学组成、电子分布情况等。

电子显微镜一般分为扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope :SEM）和透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope: TEM）。扫描电子显微镜又分为钨灯丝扫描电子显微镜（W-SEM）和场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)，两者的区别主要在于分辨率上，场发射扫描电子显微镜的分辨率要优于钨灯丝扫描电子显微镜。

扫描电子显微镜（Electron Microscope: EM）一般指利用电磁场偏折、聚集电子及电子与物质作用所产生绕射、散射的原理来研究物质结构及微细结构的精密仪器。近年来，由于电子光学的理论及应用发展迅速，此项定义已嫌狭窄，故重新定义为一项利用电子与物质作用所产生的讯号来鉴定微区域晶体结构、微细组织、化学成分、化学键结和电子分布情况的电子光学装置。

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)