光电工程师社区

标题: 关于MgF2增透膜偏移的问题。 [打印本页]

作者: 良哥 时间: 2012-7-12 19:31
标题: 关于MgF2增透膜偏移的问题。
各位大神：
前两天在新国产机器上镀了几片AR膜（MgF2），然后去做高温高湿试验，结果都往长波偏了，咨询我师傅，他说MgF2是软膜，吸水往长波偏很正常，但是我感觉偏了17-18nm就有点多了吧。然后他又让我加大离子源充气做，现在还没有出来结果呢。有经验的大师可以指导指导小弟&……
先谢过了……

作者: fql3310 时间: 2012-7-12 22:16
基片温度２５０－３００度，离子源用氩气当工作气体。离子源可以把能量提高点。

作者: lkai1014 时间: 2012-7-13 08:05

作者: fcyfjh 时间: 2012-7-13 08:15

作者: xiazg 时间: 2012-7-13 08:59
JJK 原厂晶振片高质高效性价比高有需要的联系我 15068338773 夏志国 QQ1046118891

作者: nkclone 时间: 2012-7-13 09:10

作者: xiaohuilee 时间: 2012-7-13 17:06
你师傅不是已经把问题产生的原因和如何解决问题的方法交给你了吗还让别人怎么说

作者: 良哥 时间: 2012-7-14 11:47

xiaohuilee 发表于 2012-7-13 17:06
你师傅不是已经把问题产生的原因和如何解决问题的方法交给你了吗还让别人怎么说

大家多讨论讨论，问题考虑的更全面，哈哈。

作者: wangliia 时间: 2012-8-6 12:49
我想知道LBO 镀单层MgF2增透是什么情况？容易出丝？怎么控制？

作者: 良哥 时间: 2012-8-6 15:56

wangliia 发表于 2012-8-6 12:49
我想知道LBO 镀单层MgF2增透是什么情况？容易出丝？怎么控制？

小生刚毕业一年，还没有镀过晶体膜，不知您说的出丝是否是膜裂？见笑了。

作者: wangliia 时间: 2012-8-7 07:39

良哥发表于 2012-8-6 15:56
小生刚毕业一年，还没有镀过晶体膜，不知您说的出丝是否是膜裂？见笑了。

不是膜裂。我感觉是晶体表面潮了而导致，就是镀之前都观察不到或者说没有，但是镀完MgF2之后有出现了。。

作者: 良哥 时间: 2012-8-9 20:12

wangliia 发表于 2012-8-7 07:39
不是膜裂。我感觉是晶体表面潮了而导致，就是镀之前都观察不到或者说没有，但是镀完MgF2之后有出现了。。

能擦掉吗？基片得好好保存啊

作者: wangliia 时间: 2012-8-10 07:41

良哥发表于 2012-8-9 20:12
能擦掉吗？基片得好好保存啊

基片保存很好，都是及时镀制，过程都真空封装

作者: LOUYC 时间: 2013-7-23 15:10
温度和真空度合适的话，应该不会漂移这么多

作者: 良哥 时间: 2013-7-25 17:08

LOUYC 发表于 2013-7-23 15:10
温度和真空度合适的话，应该不会漂移这么多

应该是新设备的原因！量产就好了

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)