光电工程师社区

标题: 修正板的问题 [打印本页]

作者: huyuzhe 时间: 2012-7-16 17:36
标题: 修正板的问题
公司刚买了一台成都的800箱式镀膜机，一个电子枪和2个阻舟。但是没人会做修正板。。。请问大虾们。有没有什么简单的方法？那篇《修正挡板设计》真心看不懂啊。

作者: 苏州膜头 时间: 2012-7-16 21:02
哈哈，一个电子枪不够用啊，夹具好的话修正板就不一定要用的。
你哪里的要不我来看看？？

作者: wazxq 时间: 2012-7-18 04:53
要求均匀性多高，新机厂家没给你做好吗

作者: 诸葛流星 时间: 2012-7-18 10:23
简单的说离蒸发源远的地方修正版窄，近的地方修正版宽。

作者: lkai1014 时间: 2012-7-19 08:10
根据测试分光一点一点的增或减修正板的幅度,直到你们所需要的差就可以了

作者: especialoptic 时间: 2012-7-19 14:12
同意5楼的说法，多试膜几次，调整修正板尺寸，慢慢调整到各层最均匀的效果。

作者: qjy 时间: 2012-7-19 16:30

especialoptic 发表于 2012-7-19 14:12
同意5楼的说法，多试膜几次，调整修正板尺寸，慢慢调整到各层最均匀的效果。

大地呀！苍天呀！原来咱们的高手们都是这么干的呀！我想把原始人请来，他们也会这么干的！我真的无语了，难道这就是我们的高手拿手绝技吗？太不可思议了

作者: Jerry120688 时间: 2012-7-23 18:25
做几个单腔~tooling差不多就行了

作者: huyuzhe 时间: 2012-7-25 06:44

qjy 发表于 2012-7-19 16:30
大地呀！苍天呀！原来咱们的高手们都是这么干的呀！我想把原始人请来，他们也会这么干的！我真的无语了， ...

那么你是怎么做的呢？

作者: huyuzhe 时间: 2012-7-25 06:45

苏州膜头发表于 2012-7-16 21:02
哈哈，一个电子枪不够用啊，夹具好的话修正板就不一定要用的。
你哪里的要不我来看看？？

我上海的。修正板已经整的差不多了。谢谢

作者: huyuzhe 时间: 2012-7-25 06:45

wazxq 发表于 2012-7-18 04:53
要求均匀性多高，新机厂家没给你做好吗

我只是一个公转盘，所以需要修正板的。而且镀膜机厂家说他们不管修正板

作者: huyuzhe 时间: 2012-7-25 06:46

诸葛流星发表于 2012-7-18 10:23
简单的说离蒸发源远的地方修正版窄，近的地方修正版宽。

嗯，这样是最方便的。谢谢

作者: Jimmy_tang 时间: 2012-7-25 09:17

qjy 发表于 2012-7-19 16:30
大地呀！苍天呀！原来咱们的高手们都是这么干的呀！我想把原始人请来，他们也会这么干的！我真的无语了， ...

您愿意为LZ解决问题自然是值得赞许，但贬损别人以抬高自己，是否会有些令人不齿？何必呢？
如果您的方法更先进，愿意说就可以开帖说明，想技术保密也可以单独与LZ联系。

作者: valle 时间: 2012-7-30 10:29

wazxq 发表于 2012-7-18 04:53
要求均匀性多高，新机厂家没给你做好吗

wazxq老师，国产川系的厂家是不会做均匀性的啦～～～

qjy说的是通过精密计算，直接算出形状吧？

作者: qjy 时间: 2012-7-30 11:18
14楼的朋友说的没错，只有这样做才能同时保证精度和效率。

作者: 魅力薄膜 时间: 2012-8-24 15:08
3次就差不多了

作者: 魅力薄膜 时间: 2012-8-24 15:09
能不能把你尺寸发一下，然后在把你的测试参数发一下，我验证一下

作者: 357507013 时间: 2012-8-24 19:38
3次基本可以搞定
第一次不用补正板镀一层，测试其各个膜厚
第二次根据膜厚计算画出基本形状，再镀一次
第3次微调即可

作者: 李昌瑞 时间: 2012-10-26 18:46
你镀一个材料上去，然后看均匀性修就好了，先把每圈的和修正版的对比位置找出来。

作者: ouyuu 时间: 2012-10-26 21:28

qjy 发表于 2012-7-30 11:18
14楼的朋友说的没错，只有这样做才能同时保证精度和效率。

我做镀膜机的，都没听说过有啥公式可以算修正板的。

基本上，我们公司的电子枪、离子源、分光器，水晶都是
自己开发软件进行测试调整的。
还有自己的镀膜控制软件和膜设计软件。
MACLEOD也是和我们公司合作开发的（和我们公司自己研发的软件可以共享数据）

但是从来没有出过算修正板的软件
（如果有公式的话，以我们公司的能力应该很简单）

作者: qjy 时间: 2012-10-26 23:38

ouyuu 发表于 2012-10-26 21:28
我做镀膜机的，都没听说过有啥公式可以算修正板的。

基本上，我们公司的电子枪、离子源、分光器，水晶 ...

朋友，告诉你一个一般人我不告诉他的秘密，修正版的软件确实可以出的，而且如您所说也确实很简单，您哪天闲了建议您出一个，或许能给贵公司另辟一条财路！呵呵！

作者: ouyuu 时间: 2012-10-27 10:15
本帖最后由 ouyuu 于 2012-10-27 10:17 编辑

qjy 发表于 2012-10-26 23:38
朋友，告诉你一个一般人我不告诉他的秘密，修正版的软件确实可以出的，而且如您所说也确实很简单，您哪天 ...

同学，你们家就只用一种电子枪吧。
还不能调电压电流光斑形状的吧。
只有一种腔体尺寸吧。只有一种料板形状吧。

这些都固定的话，算都不用算，我们都有现成的图纸，跟着图纸切就行了。

作者: ouyuu 时间: 2012-10-27 10:18

qjy 发表于 2012-10-26 23:38
朋友，告诉你一个一般人我不告诉他的秘密，修正版的软件确实可以出的，而且如您所说也确实很简单，您哪天 ...

另外，我们的软件都是开发给自己工程师用的。
除了麦克劳德，其他都不卖的。

作者: tfc 时间: 2012-10-27 11:28
如果专门去研究修正板的公式，也不是不可能出公式的，但这时膜料及其蒸发速率要选择好，修正板离坩埚一定距离，其他的影响在要求不是太高的情况下，可以忽略。这样就可以有一个公式。

作者: chao_li0622 时间: 2012-10-27 19:52

作者: ouyuu 时间: 2012-10-27 21:07

tfc 发表于 2012-10-27 11:28
如果专门去研究修正板的公式，也不是不可能出公式的，但这时膜料及其蒸发速率要选择好，修正板离坩埚一定距 ...

是的，实际上是有公式，但复杂的很。
分布符合流体力学，但离子不同，分子量和电荷，初速度均不同，
需要每种离子都进行一种建模。
另外影响的因素有，腔体的形状，抽气口形状，抽气能力，
料板（也有称伞架的）高度，形状，修正板高度，角度等等。

仅仅把这些都测量一遍的时间，我十套修正板都做好了。

真正有水平的人，不会靠贬损别人来提高自己。

作者: ZHJ7239 时间: 2012-10-27 21:23
均匀性的好坏，修正板修好固然重要，但泵的抽气稳定性、沉积速率、离子源的稳定性、电子枪等影响均匀性的因素很多

作者: 贼头 时间: 2012-11-17 21:07

作者: LOUYC 时间: 2013-7-23 10:11
方法没有好坏。适合自己的就好

作者: liul 时间: 2016-4-1 21:29

作者: tcyt333 时间: 2016-12-13 16:35
厂家没把均匀性给你修好，你怎么通过设备验收的呢

作者: MorningTech 时间: 2016-12-16 09:21
现在国内镀膜机厂家大多会修了，你提出来。
管膜系和均匀性的还不多，要努力。

上海膜林科技有限公司，专业于石英晶体膜厚控制仪.

作者: 那些年~那些天~~ 时间: 2017-7-5 16:13
镀镀多层试试，修到你崩溃都修不好

作者: MorningTech 时间: 2017-7-6 08:56
前面朋友说的好，机器稳定性很重要，它是多方面因素组成的。
尽量保证机器稳定与重复，不然真会遇到多层就崩溃。

上海膜林科技有限公司，专业光学镀膜膜厚控制仪研制商。

作者: update 时间: 2017-7-21 09:59

作者: 轩zjw哥 时间: 2018-10-21 08:56

作者: yada2011 时间: 2018-12-20 19:53

作者: wdydede 时间: 2019-7-16 18:04
我见过一个牛人，四次可以完成，并且非常好。

作者: JJK-晶振片-何 时间: 2019-7-17 15:29
学习了。。。。

作者: tcyt333 时间: 2019-8-20 15:29
有计算模版，差不多3次就能修好吧

作者: JJK-晶振片-何 时间: 2019-8-21 08:21
谢谢大虾们的分享

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)