光电工程师社区
标题: [讨论]沉积速率的大小对镀膜质量的影响 [打印本页]
作者: vietti 时间: 2004-9-1 17:25
标题: [讨论]沉积速率的大小对镀膜质量的影响
其他条件相同的情况下
作者: cjjiang 时间: 2004-9-1 17:44
沉积速率大,达到基地的物质来不及扩散,会使膜变得疏松,影响膜的致密性
(新手,不知道说得对不对,望指教)
作者: wish 时间: 2004-9-1 17:47
若沉积速率大,
材料的折射率会有变化,可能影响光性;
材料容易喷溅,导致膜面容易出现点子;
薄膜的均匀性受影响;
作者: likeoe 时间: 2004-9-1 19:47
以下是引用cjjiang在2004-9-1 9:44:10的发言:
沉积速率大,达到基地的物质来不及扩散,会使膜变得疏松,影响膜的致密性
(新手,不知道说得对不对,望指教)
最好有实验数据表明沉积速率与致密性的关系。我也可以说,沉积速率大了,到达基底的物质来不及散开,会使膜变得致密,呵呵
作者: Leesnow 时间: 2004-9-2 06:41
不能这么笼统的说吧,例如你的设备有离子源,那么相应的参数就会有一定的蒸发速率,如果不同呢,那么首先折射率会改变,然后有可能引起吸收,如果再大的话,膜的晶状结构就会发生变化(我只是知道,还没有见过啊^_^)......不过,有的介质就不会有那么大的变化,如sio2!如果你的设备上面没有离子源,那么....我也不知道了,谁知道上来说说啊!
作者: linmaco 时间: 2004-9-2 08:19
不能这么笼统的说吧,例如你的设备有离子源,那么相应的参数就会有一定的蒸发速率,如果不同呢,那么首先折射率会改变,然后有可能引起吸收,如果再大的话,膜的晶状结构就会发生变化(我只是知道,还没有见过啊^_^)......不过,有的介质就不会有那么大的变化,如sio2!如果你的设备上面没有离子源,那么....我也不知道了,谁知道上来说说啊!
---------------------------------------------- |
怎么总对自已没有信心,我觉得分析很有道理,速率绝对有好处---效率高(能多赚钱)有些厂家就采用这方法生产IR-CUT,搞得市场混乱,价格狂跌!现在这段时间大家最好少买摄像头,价实货不真,差得要命,不如各位是否有同感?上面问题在杭州光会的光盘中有些论述。
作者: nittohai 时间: 2004-9-4 18:56
对很多镀膜物质来说,高的蒸发速度能提高物质的折射率,能增加膜的致密度。不过均匀性会受到影响。
作者: hzg168 时间: 2004-9-5 01:05
镀膜速度太快,对膜层的颜色会有影响.
作者: vietti 时间: 2004-9-6 18:40
有的说增加致密性,有的说降低致密性。
到底是怎样呢?
继续讨论........
作者: guangang 时间: 2004-9-6 21:40
理论上速率高是可以增加膜料的折射率的,不同的材料增加的程度是不一样的!真空度高也能提高折射率,还有温度越高折射率越高.
镀膜的三个基本要素:基底温度,真空度,蒸发速率(T.P,V)
作者: showashinku 时间: 2004-9-7 01:03
镀膜的三个基本要素:基底温度,真空度,蒸发速率(T.P,V)
作者: vacuum 时间: 2004-9-21 18:43
速率太快容易造成膜層結構鬆散
作者: zxp163a 时间: 2004-9-23 06:08
蒸发速率不能太快,其缺点是有些需反应蒸发,易产生氧化不充分吸收增大,同时易产生材料喷溅,形成点子。但是折射率却是增大的。用光控控制时,光控的反射读数可以明显看出,蒸发速率高时,反射读数高,反之亦然(高折射率材料)。
作者: sunyan 时间: 2009-8-21 10:27
学习中!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
作者: longmin 时间: 2009-8-21 21:39
速率大或小
影響最大的是折射率
那原有的設計就要更改
再來就要看看是否有通過膜質試驗
作者: 526951749 时间: 2009-8-22 15:29
10# guangang
同意!但是速度过快的话,膜的均匀性就会差了,但是镀膜速度快的话,相对来说肯定是致密性高,折射率当然也就会高些了
| 欢迎光临 光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/) |
Powered by Discuz! X3.2 |