光电工程师社区

标题: 晶体表面存在均匀的垂直的线条是什么?附图~ [打印本页]

作者: 风心    时间: 2012-10-18 16:27
标题: 晶体表面存在均匀的垂直的线条是什么?附图~

这个是怎么产生的呢?叫什么?如何克服?
作者: landary    时间: 2012-10-21 21:08

作者: xiaominhao520    时间: 2012-10-22 09:39

作者: mumu4273    时间: 2012-10-23 07:10
可能和原料中Si含量过高有关
作者: 风心    时间: 2012-10-23 13:38
mumu4273 发表于 2012-10-23 07:10
可能和原料中Si含量过高有关

和杂质有关?
难道不是温场梯度大造成的么?
作者: JZM    时间: 2012-10-23 21:47
扩肩速度有些快引起的
作者: mumu4273    时间: 2012-10-24 12:43
风心 发表于 2012-10-23 13:38
和杂质有关?
难道不是温场梯度大造成的么?

径向温度梯度大可能会导致放肩速度过大,进而出现镶嵌线,但镶嵌线形态有别于你图片中的线条。你们用的是什么原料,哪家的?
作者: 高佑君    时间: 2012-10-24 12:51
把晶节亮出来,就应该知道了

作者: 风心    时间: 2012-10-25 08:02
高佑君 发表于 2012-10-24 12:51
把晶节亮出来,就应该知道了

什么算晶界,镶嵌线?我们的晶体没有斜线,全是均匀的线条。
作者: 风心    时间: 2012-10-25 08:24
mumu4273 发表于 2012-10-24 12:43
径向温度梯度大可能会导致放肩速度过大,进而出现镶嵌线,但镶嵌线形态有别于你图片中的线条。你们用的是 ...

C面

放肩时在四个方向倒有一定的疤痕,类似单晶硅的四条棱线,镶嵌线是斜的,我们晶体的线是均匀辐射状的。
作者: 风心    时间: 2012-10-25 08:27
JZM 发表于 2012-10-23 21:47
扩肩速度有些快引起的

放肩50小时不算太快吧。。。rubicon的放肩时间不是很短的么,而且肩很平,为什么没有呢。另外不止是放肩,等径部分也有均匀棱线。
作者: 高佑君    时间: 2012-10-25 11:28

作者: 高佑君    时间: 2012-10-25 11:30
这种线条晶体的EPD与差排线你们进行测试了么?

作者: 风心    时间: 2012-10-25 13:25
高佑君 发表于 2012-10-25 11:30
这种线条晶体的EPD与差排线你们进行测试了么?

就是没进行测试 所以不知道是什么东西- -
作者: mumu4273    时间: 2012-10-25 18:09
风心 发表于 2012-10-25 08:24
C面

放肩时在四个方向倒有一定的疤痕,类似单晶硅的四条棱线,镶嵌线是斜的,我们晶体的线是均匀辐射状 ...

看你这晶体的颜色不太好,估计原料的原因可能性较大。
作者: cozilla    时间: 2012-10-26 08:43
100%是热场材料的问题,细节就不多谈了...
作者: andycu    时间: 2012-10-26 09:14
这是双晶,检测下就知道啦。。
作者: 高佑君    时间: 2012-10-26 16:28
只有有测试结果才能说明问题啊,有一点可以肯定它不是什么好东东。
作者: 风心    时间: 2012-10-29 16:00
andycu 发表于 2012-10-26 09:14
这是双晶,检测下就知道啦。。

如何判断  求知识
作者: 风心    时间: 2012-10-29 16:01
mumu4273 发表于 2012-10-25 18:09
看你这晶体的颜色不太好,估计原料的原因可能性较大。

蛮透明的哇
作者: 风心    时间: 2012-10-29 16:02
cozilla 发表于 2012-10-26 08:43
100%是热场材料的问题,细节就不多谈了...

热场材料?比如说?
作者: andycu    时间: 2012-10-30 15:31
风心 发表于 2012-10-29 16:00
如何判断  求知识

我说经验 你信吗。。
作者: Daniel-Yuee    时间: 2012-10-30 19:59
这变成双晶了?呵呵

完全可以忽视
作者: Daniel-Yuee    时间: 2012-10-30 20:19
另跟原料可能有点关系,但是照旧可以忽视,对EPD、FWHM没有任何影响;

EPD的多少对外延也没什么影响。
作者: 周佳良    时间: 2012-11-6 18:12
等径处的分布多吗
作者: 蛛蛛111    时间: 2012-11-19 11:40
没关系的,可以用的
作者: lnly558    时间: 2013-4-11 21:20
能用,但是看用在哪些应用上,比如衬底就不行了。
作者: Daniel-Yuee    时间: 2013-4-12 09:16
衬底照旧使用,衬底的要求只能算一般高而已。。。。。。。
这玩意肯定不是双晶。晶界什么的,放心吧,可能跟温场。原材料等有那么点关系,继续忽视吧


不要在这上面浪费时间,比回熔的痕迹好看多了
作者: jdx1981    时间: 2013-5-5 14:18
扩肩速度要和温场情况配合的




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