光电工程师社区

标题: 为什么？？ [打印本页]

作者: 超级狐狸 时间: 2004-9-4 16:54
标题: 为什么？？
设计的时候峰值在460，为什么镀出来波长漂移了，峰值跑到了525的位置了？？

作者: yh15430 时间: 2004-9-4 18:39
标题: 回复：（超级狐狸）为什么？？
知道防空兵打飞机吗，高射炮打飞机都要提前量，何况速度很高分子、原子呢？你要做460nm的膜，必须把你操作误差考虑进去，才能得到你所需要的薄膜成品！

作者: eagle1 时间: 2004-9-5 05:23

看看你的TOOLING FACTOR 是不是跑掉了？

作者: Leesnow 时间: 2004-9-5 16:07
应该是你设备的本身误差造成的吧!包括晶控或者光控的误差!

作者: ic5 时间: 2004-9-5 16:47

会不会忽略了一个最简单的问题：设计是带有角度的，而测量是以0度测量的？

作者: zz 时间: 2004-9-6 16:10
工艺变更

作者: 超级狐狸 时间: 2004-9-6 16:41

那么把这些误差考虑进去，应该也可以设计出想要的效果吧？是不是得需要不断的试探才行？

作者: zwl 时间: 2004-9-6 18:17

怎样使镀膜曲线与设计曲线一致

就目前的镀膜监控系统而言，有光控和晶控两种方式，对与光控，若要使镀膜曲线与设计曲线一致，最好的方法便是抓准膜材的折射率，而对与晶控。最好的方法便是抓准膜材的FACTOR值。当然在调试膜系的过程中，改变膜系某层的厚度而使镀膜曲线与设计曲线一致也是一种快捷而简便的方法。

作者: 超级狐狸 时间: 2004-9-7 19:58
factor值？？是什么值？？？

作者: 超级狐狸 时间: 2004-9-7 20:00
tooling factor是不是实际厚/监控厚这个比例因子是IC5上的tooling因子的意思吗

作者: optorun 时间: 2004-9-8 01:39

控制片上的光学厚度 / 基片上的光学厚度=光控TOOLING

晶振上显示的厚度 / 基片上的厚度=净控TOOLING

作者: 超级狐狸 时间: 2004-9-8 21:19
to ic5：设计时没带角度，至于测量……呵呵~~根本就没测啊，只是根据做出来的颜色判断它大概飘到了525的位置

作者: syg00120001 时间: 2004-9-9 00:58
設計的膜厚．．．監控的膜厚．．．基板的膜厚．．．是不同的

作者: 超级狐狸 时间: 2004-9-9 01:05
设计的膜厚理论上应该和基板的膜厚相同吧？

作者: showashinku 时间: 2004-9-9 01:08

对与光控，若要使镀膜曲线与设计曲线一致，最好的方法便是抓准膜材的折射率

就是使实际的折射率与材料固有折射率尽量一致

作者: zz 时间: 2004-9-9 16:25

没有那么夸张吧，实际N只要和设计N一样即可。

TOOLING=实际厚度/显示厚度

作者: 超级狐狸 时间: 2004-9-9 19:18
sensor上的厚度就是显示的厚度吧？

作者: eagle1 时间: 2004-9-20 03:50
怎么不进行测试?哦.

作者: 超级狐狸 时间: 2004-9-21 23:53
嘿嘿~~因为没有测试工具

作者: wish 时间: 2004-9-22 01:25
只从颜色上看，误差还是比较的大阿

作者: x_x_x_f 时间: 2004-9-26 19:19

我们用的是昭和真空SGC-26SA 看见monitor 用的是crystal monitor

高手能不能讲一下光控和晶控怎么判别啊？

作者: kk60 时间: 2007-10-31 23:49
迷糊！！！！！！！！！！！！

作者: gxbm 时间: 2007-11-1 14:29
老大！！！看颜色能精确到525nm?

顶你个肺！

作者: xx_912 时间: 2007-11-1 22:15

原帖由 zwl 于 2004-9-6 18:17 发表
怎样使镀膜曲线与设计曲线一致就目前的镀膜监控系统而言，有光控和晶控两种方式，对与光控，若要使镀膜曲线与设计曲线一致，最好的方法便是抓准膜材的折射率，而对与晶控。最好的方法便是抓准膜材的FACTOR值。 ...

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