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标题: 挡板关时放电 [打印本页]

作者: kingpeter 时间: 2012-10-29 22:19
标题: 挡板关时放电
请教各位：现使用国产机，TIO2侧镀完后，挡板自动关闭时SIO2侧有放电，且室内照明有闪一下的现象，请问下各位是啥原因啊？

作者: xiaohuilee 时间: 2012-10-30 11:36
你描述清楚些两种膜料的坩埚是否相邻光斑扫描情况

作者: kingpeter 时间: 2012-10-30 15:24
左：SIO2,右：TIO2，两挡板离高压端子接近，开时往外打。

作者: LOUYC 时间: 2013-7-23 11:17

作者: yong0009 时间: 2013-7-23 14:08

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