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标题: 请教：AL2O3 折射率的控制 [打印本页]

作者: DANNY 时间: 2004-9-5 22:40
标题: 请教：AL2O3 折射率的控制
AL2O3 理论折射率是1.6687（632nm），我镀出来膜折射率总是在1.60以下，我的目标是1.64以上！有什么办法

作者: cjyzq 时间: 2004-9-6 04:12
提高蒸发速率、使用离子源。

作者: zz 时间: 2004-9-6 16:04
计算方法是否正确

作者: guangang 时间: 2004-9-6 18:18
氧氣充少一些！！

作者: showashinku 时间: 2004-9-6 23:42
氧气少一些会提高折射率

作者: flyinlove79111 时间: 2004-9-7 01:10

一般的机子上可以做到１.６２，没有离子源的情况下１．６４可能做不到吧

作者: DANNY 时间: 2004-9-8 16:57
氧气少一些会提高折射率！那么不加氧气会怎么样！因为我想提高真空度（6*10E-4）

作者: zz 时间: 2004-9-9 16:27
适当充O2，你那单位是PA还是TOR？

作者: yakochen 时间: 2004-9-9 18:45

基片能加热吗？这样也能提高折射率，不需离子源。

作者: deveitu 时间: 2004-9-9 23:04
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作者: DANNY 时间: 2004-9-9 23:05
加热 T=300°C，真空度单位是PA

作者: DANNY 时间: 2004-9-14 23:09
谢谢你们！我已经得到我要的结果了！

作者: littlefun 时间: 2004-9-16 16:21

得到结果了，说一下采取的方法撒，也给其他人指条明路。

作者: ic5 时间: 2004-9-16 16:30

是啊，DANNY，这些经验性的东西和大家共享一下啊，说说你采用了什么方法了？？？

作者: DANNY 时间: 2004-9-18 16:31

我分别使用日本昭和镀膜机和成都镀膜机做了实验（都不带离子源）

日本昭和镀膜机Al2O3 折射率基本能保持在1.63以上，甚至能达到1.65

成都镀膜机每次结果不一样，还没有解决彻底解决方法！

要点：1）真空度大于 3.0*10E-4 Pa 2）基片加热 300°C 3）不加氧气 4）Al2O3 放气充分

作者: pangkebai 时间: 2012-6-13 21:41
不加氧气怎么可能是氧化物呢

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