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标题: 请教花斑问题 [打印本页]

作者: aswdljg 时间: 2013-3-8 23:38
标题: 请教花斑问题
请问有哪位大师知道花斑是怎么产生的；最近镀的产品有时会有花斑，基底是k9材料的，机台是莱宝机，离子源是aps等离子源。
跪求帮忙啊，脑袋都是大的

作者: yangdaoqi 时间: 2013-3-10 22:36
同问~~ 我觉得应该是基底的事情吧你用的什么蒸发材料？

作者: tfc 时间: 2013-3-11 16:32
机器挺好的，请先说蒸发材料、膜系吧

作者: aswdljg 时间: 2013-3-25 09:04

tfc 发表于 2013-3-11 16:32
机器挺好的，请先说蒸发材料、膜系吧

膜系就是高低两种折射率的材料交替，例如TA2O5/SIO2或者TI3O5/SIO2。就是最近才会出现花斑的

作者: aswdljg 时间: 2013-3-25 09:05

yangdaoqi 发表于 2013-3-10 22:36
同问~~ 我觉得应该是基底的事情吧你用的什么蒸发材料？

基地是K9材料啊，一般来说不容易出现花斑的啊

作者: wangliia 时间: 2013-3-25 09:54
我认为是蒸发的问题

作者: aswdljg 时间: 2013-3-26 14:30

wangliia 发表于 2013-3-25 09:54
我认为是蒸发的问题

嗯，开始也有考虑到这个因素，后来五氧化二钽的沉积速率减小到2.5nm/s（原来是2.8），还是会有

作者: wangliia 时间: 2013-3-26 15:04
那会不会是真空度或镀后充气的原因了

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