光电工程师社区

标题: 一个关于镀膜的问题 [打印本页]

作者: maiwudi 时间: 2013-3-18 18:20
标题: 一个关于镀膜的问题
机台是现代南光的。镀的是手机镜片的膜层。问题如下：上了一伞镜片，开始抽真空，真空度达到2.5E-3。达到镀膜所需的真空度，在这个时候不进行镀膜，而是开始破真空，把镜片拿出来，结果镜片上有很多脏污、白点。想问下是什么原因造成的？

作者: fql3310 时间: 2013-3-18 20:03
灰尘点

作者: WYH531 时间: 2013-3-18 21:33
学习

作者: wangliia 时间: 2013-3-19 09:58
洁净度没做好

作者: 魅力薄膜 时间: 2013-3-19 16:26
充气阀开大了预抽时间长点

作者: maiwudi 时间: 2013-3-19 18:13

wangliia 发表于 2013-3-19 09:58
洁净度没做好

换了新的护板，而且里里外外都用酒精擦了一遍，应该不会有问题了啊

作者: maiwudi 时间: 2013-3-19 18:14

maiwudi 发表于 2013-3-19 18:13
换了新的护板，而且里里外外都用酒精擦了一遍，应该不会有问题了啊

你们是怎么清理机台的？

作者: huang12949 时间: 2013-3-20 05:08
先把充气阀装一个过滤器或者就地取材用纱布包裹，然后再充气拿出来看看。一点一点排除

作者: maiwudi 时间: 2013-3-20 19:55

huang12949 发表于 2013-3-20 05:08
先把充气阀装一个过滤器或者就地取材用纱布包裹，然后再充气拿出来看看。一点一点排除

破真空的进气口已装上空气过滤器。今天清理机台的时候，留意到，机台内部两个扩散泵空间有厚厚的一层锈，用酒精擦不掉，用砂纸可以。这是一直存在的，还有就是护板地下的一些线啊、管啊都很多灰尘，而且很难擦干净。这个会不会也是造成问题的原因

作者: yong0009 时间: 2013-7-2 13:44
关注

作者: SKY520 时间: 2013-7-7 23:21
不镀膜，镀膜程序有有问题，镜片不干净，是洁净度的问题

作者: LOUYC 时间: 2013-7-8 14:23
灰尘多

作者: crl0129 时间: 2013-12-4 16:33
洁净度没做好

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)