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标题: 求助：镀膜抽不了高真空 [打印本页]

作者: maiwudi 时间: 2013-3-23 19:28
标题: 求助：镀膜抽不了高真空
情况如下：机台是现代南光的。用于镀手机镜片，温度：80。平时镀膜需要抽到2.5E-3。今天不知道怎么抽到2.0E-2之后，真空度就下不去了。就在2.0E-2附近跳动。想求助下大家这种问题怎么解决？

作者: jingxiaobao 时间: 2013-3-23 19:28
这种问题太普遍了，既然温度加的不高，肯定是要看漏气的地方了，建议你先关掉高罚，看看保真空怎样，如果不行的话，就说明真空室漏气，看看那些有密封圈的地方吧，一般都是这些地方漏气。

作者: wdydede 时间: 2013-3-23 22:54
如果是很突然的，可能是机械泵的阀片断了，声音会很大？
这种情况比较多，需要耐心和细仔检查

作者: WYH531 时间: 2013-3-24 00:03
视窗处有漏气

作者: maiwudi 时间: 2013-3-24 10:23

wdydede 发表于 2013-3-23 22:54
如果是很突然的，可能是机械泵的阀片断了，声音会很大？
这种情况比较多，需要耐心和细仔检查

机械泵的声音还是和以前一个样，没有变大，应该不是这个问题。今天瞎搞了一通，现在抽真空能抽到4.5E-3附近。还是达不到要求。

作者: maiwudi 时间: 2013-3-24 10:25

WYH531 发表于 2013-3-24 00:03
视窗处有漏气

用酒精倒在视窗的周边，真空度没有变化。说明视窗周边没有漏气。

作者: WYH531 时间: 2013-3-25 01:27
哦，有没有配冷冻机的,另视窗处移动在侧漏。

作者: WYH531 时间: 2013-3-25 01:32
有时候需注意扩散泵温度是否正常及高真空计是否已坏，另搞清楚正常前后有没动过什么地方

作者: a774881218 时间: 2013-3-25 17:54
手机镜片是不是塑胶产品。然后你抽到4.5E-3附近花了多少时间？

作者: maiwudi 时间: 2013-3-25 18:27

a774881218 发表于 2013-3-25 17:54
手机镜片是不是塑胶产品。然后你抽到4.5E-3附近花了多少时间？

很长时间，要75分钟，没出问题之前，抽到2.5E-3Z只有40分钟。

作者: yuliang518 时间: 2013-3-25 21:33
机器脏，或是油老化

作者: a774881218 时间: 2013-3-28 00:00
机器脏。机器箱体热一下除湿气。或者是门密封圈烂了。或者规管坏了。

作者: 宇宙深处 时间: 2013-3-29 11:33
这种现象一般就是漏气。机械故障就不太容易抽到这个程度。
漏气分：内漏（也叫虚漏）和外漏。外漏可以用测漏仪测出来。内漏可以一段一段开关气阀测漏

作者: maiwudi 时间: 2013-3-30 23:01

jingxiaobao 发表于 2013-3-28 10:36
这种问题太普遍了，既然温度加的不高，肯定是要看漏气的地方了，建议你先关掉高罚，看看保真空怎样，如果不 ...

前辈能说出各个密封圈的位置吗？我厂使用的是现代南光的机器。

作者: maiwudi 时间: 2013-3-30 23:03

jingxiaobao 发表于 2013-3-28 10:36
这种问题太普遍了，既然温度加的不高，肯定是要看漏气的地方了，建议你先关掉高罚，看看保真空怎样，如果不 ...

保真空保不了，已经确定是漏气了。可是就是找不到哪里漏气

作者: maiwudi 时间: 2013-4-1 18:17
已解决，原来是带动公转转动的直流慢速电机里面的三个密封圈有磨损造成漏气，具体现象是公转转动比不转动的真空度低很多。

作者: maiwudi 时间: 2013-4-1 18:18
谢谢大家的回答，我觉得jingxiaobao的回答比较接近我的答案，所以把分给他。谢谢大家！

作者: redplum 时间: 2013-4-2 14:52
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作者: LOUYC 时间: 2013-7-11 14:03
南光机的毛病真多呀

作者: crl0129 时间: 2013-12-17 15:44

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