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标题: 成膜压力上升如何解决？ [打印本页]

作者: 飛兲寶赑 时间: 2013-4-2 21:38
标题: 成膜压力上升如何解决？
正常成膜压力是1.8E-2pa，但是现在变成了3.2E-2pa,找了很多位置，都不知道是什么原因，求各位大师指点.

作者: fql3310 时间: 2013-4-4 00:54
压力?那个称为真空度,你用的是压强仪?搞得我有点压力了...

作者: 魅力薄膜 时间: 2013-4-4 11:14
压力山大。。呵呵

作者: 魅力薄膜 时间: 2013-4-4 11:14
你是用什么控制的压强仪的设定看一下

作者: 飛兲寶赑 时间: 2013-4-4 23:32

魅力薄膜发表于 2013-4-4 11:14
你是用什么控制的压强仪的设定看一下

压强仪换了新的还是不行

作者: 魅力薄膜 时间: 2013-4-5 16:49
压控仪的设定看下设定是多少

作者: zyjchj 时间: 2013-4-5 20:38
排气速度变慢了？

作者: ghtzna 时间: 2013-4-8 13:25
漏气了
测漏吧

作者: 飛兲寶赑 时间: 2013-4-19 18:35

作者: LOUYC 时间: 2013-7-20 17:36

作者: ouyuu 时间: 2013-7-20 23:20
抽真空速度变慢了吗？以前测的极限真空能不能达到？
很像是漏气。不过比如说冷阱工作不良也会导致类似情况出现。

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