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标题: 脱膜原因分析和解决方法 [打印本页]

作者: xiaohe 时间: 2004-9-13 19:25
标题: 脱膜原因分析和解决方法

请各为大侠来分析一下脱膜的原因.镀膜时产生局部脱膜,原因很多.我个人认为有一个原因被大家忽视了,就是油气返流和水汽影响造成的.表现为通光点和成膜光泽交差等这种问题加深冷可解决问题.

请各位各书己见!!!!讨论讨论!!!

作者: zz 时间: 2004-9-14 16:00
有可能，顶

作者: xiaohe 时间: 2004-9-14 19:30

发表一下你独特的见解,不吝呀!!!

作者: hzg168 时间: 2004-9-16 01:50
前处理不彻底，也可能引起脱模的

作者: zxp163a 时间: 2004-9-21 05:47
脱膜与镀前清洗、烘烤温度、真空度、以及各种杂质污染，还有基底和膜料的结合力情况等因素有关。

作者: xiaohe 时间: 2004-9-21 16:59
那请说说解决的方法及心得体会把.

作者: vacuum 时间: 2004-9-21 17:29

表面油膜殘留;指紋;異物;樣品表面活性低都有可能

作者: 超级狐狸 时间: 2004-9-22 00:53
最根本的原因是什么？应力吗

作者: zxp163a 时间: 2004-9-22 05:48

镀前先用合适的抛光粉进行表面复新，除去水油的复合物，然后用合适的清洗液（一般是酒精、乙醚的混合物）擦干净，镀前再用离子源进行轰击，增加表面活性。烘烤温度高些，真空度高些，减少杂质污染，再附以离子源辅助蒸发。至于材料与基底的匹配，以能形成化合鍵结合力为佳，另外镀层数特别多的膜系时，要考虑膜层的引力问题，一些陋见，仅供参考。

作者: 超级狐狸 时间: 2004-9-23 16:21
我知道万有引力，可是膜层间已经离的很近了，还需要考虑引力的吗

作者: zxp163a 时间: 2004-9-24 03:35
我说的引力是指：膜层镀制后表现出张引力或压引力，如果引力太大，就会导致膜层破裂。

作者: xiaolvzi 时间: 2004-9-24 04:13

前处理？通常指基片清洗，还有别的吗？

作者: xiaolvzi 时间: 2004-9-24 04:21
基底与膜料的匹配，倒是挺值得研究。形成化学键合固然好，可是如何选择这种合适的膜料呢？比如在lbo晶体与哪知膜料匹配更好？

作者: 蘑菇 时间: 2004-9-25 06:22

蒸鍍時的速率與水汽油汽的附著還有前處理的步驟扎不扎實都會影响的吧!

小小拙見還請指教

作者: 超级狐狸 时间: 2004-9-25 20:14

以下是引用zxp163a在2004-9-23 19:35:28的发言： 我说的引力是指：膜层镀制后表现出张引力或压引力，如果引力太大，就会导致膜层破裂。

你所说引力应该就是应力吧，工程力学中只有张应力和压应力的说法呀

作者: xiaohe 时间: 2004-9-27 16:48

应该是说应力吧.

作者: rainyweek 时间: 2004-9-27 22:37
请问材料的折射率大小或者材料特性对应力有影响吗？可以归纳一下这两者的影响趋势吗？

作者: heyanch 时间: 2004-9-28 00:29
我认为如果是局部脱落.可能是清洗的问题,或是基片表面状态不一致.当然也有反油的可能.

作者: heyanch 时间: 2004-9-28 00:32

以下是引用zxp163a在2004-9-23 19:35:28的发言： 我说的引力是指：膜层镀制后表现出张引力或压引力，如果引力太大，就会导致膜层破裂。

应力

作者: zxp163a 时间: 2004-9-28 06:19

不好意思，我搞错了，是应力，不是引力，多谢指点

作者: x_x_x_f 时间: 2004-9-28 17:27

蘑菇: 蒸鍍時的速率與水汽油汽的附著還有前處理的步驟扎不扎實都會影响的吧!

请问蘑菇：蒸镀时的速率和脱膜的关系是什么呢？速度越快越容易脱膜么？

作者: zjtzzy 时间: 2004-9-29 18:44

蒸镀时的速率和脱膜的关系应该比较小吧，只有很大或很小的速率才会影响，平时不会造成脱膜。当然在应力大时，有时会造成脱膜。

作者: xiaohe 时间: 2004-10-9 17:36
大家说的都有道理，学到新知识拉，谢谢呀！！！

作者: xiaohe 时间: 2004-10-21 17:13
顶!

作者: 风之炫彩 时间: 2004-10-23 19:47
可是，应该怎么考虑膜层间的应力问题呢

作者: nittohai 时间: 2004-10-23 23:16
请教各位大侠，只有两种膜料TaO2与Sio2，基地直径95*0.3mm，层与层之间脱膜是何缘故？

作者: mxb010ak47 时间: 2004-10-27 03:19

顶！！

作者: wottlin100 时间: 2004-11-3 20:42

脱膜时的情况是如何？总的来说问题是有好多方面造成的。这要看当时膜层与基底之间是如何脱膜的？是丝缕状的剥落还是点状剥落，还是面状剥落？

作者: zjtzzg 时间: 2004-11-4 06:40

膜层的应力该怎么检测？

某一层膜的总应力大小跟该膜层的厚度是否有关系？

作者: 镀膜加游戏 时间: 2004-11-28 22:51

有意思!真是人多有力量啊!

三个臭皮将,顶个诸葛亮啊!

好了,我看我这个想法还是不说了,说出来对解决问题好象也不大!

各位真是"上厕所不带纸, 高手"

I服了YOU

作者: xiaohe 时间: 2004-12-10 01:05
顶！

作者: xiaohe 时间: 2004-12-16 00:29
怎么没有人来交流了！

作者: xiaoil 时间: 2004-12-19 00:32

请问基底先镀SIO2牢固度好呢还是先镀TIO2膜层牢固度好?

请多多指教!

作者: warms 时间: 2004-12-19 05:37
xiaohe'advice maybe right!

作者: zz 时间: 2004-12-20 22:15
那看基底了。一般是TIO2

作者: 超级狐狸 时间: 2004-12-21 16:55
我们做膜层牢固度实验时，是用盐水煮然后再放入冷水中，如此反复几次，然后观察表面掉膜情况，以此判断膜层牢固度。最近出现一点小小的问题，膜层基本没掉，做完实验后，颜色有了变化，我们做的是绿膜，以前做完脱膜实验后，如不脱膜，还是绿色，最近却变成兰色或紫色，好象波长往前移动了的样子。请问这是怎么回事呀，是不是和气候有关系啊，冷水温度常规是25度，现在因为到了冬天已经达不到了。或者是不是基片本身的原因呢？？不解ing

作者: 超级狐狸 时间: 2004-12-21 16:58
颜色变化应该是折射率发生变化才会这个样子吧

作者: 书中小虾-1 时间: 2004-12-22 03:44
我个人认为是前处理不良引起占主要因素

作者: 超级狐狸 时间: 2004-12-22 16:39
不会吧，听前辈说以前一到冬天也出现这种情况

作者: zjtzzw 时间: 2004-12-27 05:55

应该跟返油、基片预处理、水汽有关

作者: snebur 时间: 2005-1-12 21:43
基板与膜的附着，主要依靠的范德华力，原子间的吸附。基板上不清洁是脱膜的根本原因。这样一来脱膜的问题就好解决了吧！

作者: snebur 时间: 2005-1-17 21:57

测量一下光谱曲线就明白了！

作者: zz 时间: 2005-2-1 23:30
超狐你也太强了吧,竟用盐水煮来判断牢固度.汗.

作者: marcsle 时间: 2005-2-2 00:41
应力也可引发脱膜现象，不知大家碰到过吗？

作者: zz 时间: 2005-2-2 20:13

只有很厚的膜才有可能引起脱膜.

作者: marcsle 时间: 2005-2-3 22:27
是,三十多层,B270的基底,不用离子源就脱,无法通过温度冲击实验

作者: zjtzzg 时间: 2005-2-6 00:40

我有碰到过基片边缘脱膜的情况，细长型的，而中间部分都很好！截反膜也有。基片处理和倒边部分都检查过了，没能发现什么问题，请教一下还有其他什么可能的原因，多谢了！

作者: zz 时间: 2005-2-7 17:40
侧面没洗干净或夹具没洗干净.或.....

作者: 4366544 时间: 2005-6-28 19:19
会不会是Ｒ太小了啊！膜料的附着力不大了啊！（边上）

作者: feiying 时间: 2005-6-29 03:06
基底表面质量和清洁程度是关键，处理不好易造成局部脱膜

作者: jakky 时间: 2005-8-11 02:24
应该叫应力吧

作者: yzhuang 时间: 2005-9-14 21:15
真空度的高低影响也大

作者: raofengx 时间: 2005-9-15 18:31
请教各位，你们那里膜层牢固度是怎么测量的，是用国标，还是不脱膜就行

作者: zz 时间: 2005-9-15 18:42
国标或美标////////////////////////////////////

作者: likeoe 时间: 2005-9-15 23:20
正因为知道油分子的污染对成膜有各种不良影响，不光是脱膜的问题，所以要求有好的冷阱，还有Polycold等用来截住返油的。

作者: gdyy 时间: 2005-9-15 23:58
我觉得可以用离子束辅助蒸发镀膜，这样可以增加膜层的附着力。刚才看有人说到膜层附着力的检验，我也说说我的检验办法：检验时将3M牌胶带纸牢牢粘在膜层表面，并沿垂直方向迅速拉起，结过过无脱膜和起皮现象；先后沉浸在三氯乙烯、丙酮、酒精中各十分钟，取出干燥后用蘸有酒精的脱脂
纱布进行擦拭，膜层表面清洁、无斑点。与未使用IAD技术所镀的膜层在进行耐久性测试时出现的裂纹、刮痕、起皮等退化现象相比较，在离子束轰击下生成的膜层显然具有更为持久的牢固度。

作者: zz 时间: 2005-9-21 16:27
楼上的的写的真详细啊.
多谢了//////////

作者: annespring 时间: 2005-9-21 16:42
出现这种问题应该这样解决？

作者: LKJHGFDSA 时间: 2005-10-8 00:52

基片表面的清洁程度是关键，在进行镀膜前要处理好,否则易造成脱膜.其他:空气\湿度\温度\烘干温度\膜层厚度等

作者: molang2003 时间: 2005-10-10 03:20

是不是大家还忘了一较被人忽略的可能,就是装夹零件的夹具啊?!在这方面我以前就吃了不少的亏.所以这方面一点也不能马虎的.

作者: yishu-chang 时间: 2005-12-10 23:42

機板材質影響很大,PMMA加熱溫度有限,不易操作請慎選靶材

ZEONEX機板材鍍膜後不易脫膜

作者: light_0405 时间: 2005-12-13 00:25
有可能是薄膜应力引起，建议调整膜料组合，或者镀缓冲层

作者: 宇轩 时间: 2005-12-13 05:44

如果是比较严重的脱膜的话就很有可能是膜料里有油污使之蒸镀上去了

比如甘锅上有油渍，在镀的过程中使甘锅挡板上带有油渍的膜料掉在甘锅里

然后蒸镀在基片上，这样的话就会造成严重脱膜。

我就碰到了这种情况

作者: zzzz 时间: 2005-12-14 18:30
造成的因素太多了,具体情况具体分析

作者: gwl-1968 时间: 2005-12-18 17:30

只有三点才会脱膜：1）基片上架前清洗不干静，或是上架时受到污染。

　　　　　　　　　2）离子源能量与所镀膜料成膜时的应力不匹配。

　　　　　　　　　3）蒸发速率过大，导致膜层结构疏松。

　　　　　　　　　　其它的都是无稽之谈！

作者: TATA深海蓝 时间: 2006-1-23 06:32
镀完没有，芯取以后有怎么办？

作者: 刁世贵 时间: 2006-2-7 23:42
标题: 真正的原因
大家说了这么多，都没有说到脱膜的真正原因。为什么清洁度及其他因素会因影响膜的脱落

作者: alonso 时间: 2006-2-10 05:57

好象没有太大帮助

有真正对镀膜，材料，结构都明白的人吗？

这样的人才权威！！

作者: jufeng 时间: 2006-2-10 18:50
基片清洁、烘烤温度、真空度是主要原因。如果返油的话,会大面积脱落。

作者: evanxm 时间: 2006-2-12 10:12

这些都是针对玻璃镀膜，请问对塑胶镀膜，不可能在烘烤时温度过高啊！只能在前处理时，用合适的清洗液清洗干净，镀前再用离子源进行轰击，增加表面活性么？但更多的是经过烘烤后出现膜裂现象，该怎么处理呢？

作者: xiaohe 时间: 2006-3-3 19:30
说的没错每道工艺都会对成膜有影响的。

作者: mxb010ak47 时间: 2006-3-6 22:47
脱膜的问题牵涉许多因素，基片洁净度，基片材料属性，膜层间的应力配合，真空室是否有返油（针对油扩散泵设备而言）等等

作者: xiaohe 时间: 2006-3-28 18:16
顶！！！！！！！！！

作者: Johannes 时间: 2006-3-29 16:23

讨论得很激烈啊,看来也就是大家说的原因了.

作者: fawang 时间: 2006-4-1 05:50

我认为归根结底就是应力方面的原因

作者: xpizwj 时间: 2006-4-2 05:13

[B]以下是引用[I]zz[/I]在2005-2-1 15:30:00的发言：[/B][BR]超狐你也太强了吧,竟用盐水煮来判断牢固度.汗.

我们即用盐水测试,也用恒温恒湿箱来测试,这些都看客户怎么要求了耶!

作者: yamaabbot 时间: 2006-4-12 00:04

同意14楼，求教高人膜料搭配的秘诀。

。。。。。。。。。。。。。。

作者: earlcxf 时间: 2006-4-18 19:40
请问溅射镀膜怎么增强抗腐蚀能力啊？我们的客户要求能在盐雾测试中坚持48个小时，性能不能有大的变化啊！！！我做的是emi薄膜，表层是不锈钢，现在都快走投无路拉，那位大虾指教一下？谢谢

作者: huhu 时间: 2006-4-19 18:10

今天没事，说两个个以前遇见的脱膜事件给大家听听：

（1）有一次在Ge基片上镀制激光方面的膜系，本身就是为了试验，下架后，实验室一群人围在一起就像看探索频道一样，膜层呈不规则条装脱离基片，有些就像虾米下了油锅一样，哎～壮观啊～

（2）再有一次，就是镀制AR膜，发现膜层也不对，对光看，挺好，转个角度看，大面积平行裂纹。痛定思痛，原来温控仪出小差了，呵呵～

其它什么基片不洁，反油事件，咱就不说了。^_^

作者: zzzz 时间: 2006-4-21 19:24
无奇不有啊..................................

作者: YHWYUE 时间: 2006-6-21 21:51
各部分基板溫度一致嗎?鍍膜前可把迴轉打開.

作者: xiaohe 时间: 2006-8-18 22:28
顶!高手云集,集思广益!!!!!

作者: yang_yong888 时间: 2006-9-7 11:05
你说的脱膜是膜层完全脱落还是有膜层未脱完？这是不一样的概念哦！

作者: YAOCS633 时间: 2006-9-20 20:49

[B]以下是引用[I]镀膜加游戏[/I]在2004-11-28 14:51:00的发言：[/B][BR]P有意思!真是人多有力量啊!/PP三个臭皮将,顶个诸葛亮啊!/PP好了,我看我这个想法还是不说了,说出来对解决问题好象也不大!/PP各位真是"上厕所不带纸, 高手"/PPI服了YOU/P

好像你在吳江工作吧

作者: 初出茅庐 时间: 2006-9-21 04:30

多数是因为镀膜的材料表面赃物造成的.改造一下镀膜厂所的洁净度应该有很好的效果

作者: sslina0030 时间: 2006-9-22 18:29
关键前面2层基底上的呀，现在没事了

作者: xiaohe 时间: 2006-9-28 00:36

问题解决就好!!!!!

作者: 南风 时间: 2006-9-29 23:57
见识不少啊!

作者: xiaohe 时间: 2006-10-24 18:38
希望大家的问题都解决了。

作者: zhbdun88 时间: 2007-3-17 18:44

我说的引力是指：膜层镀制后表现出张引力或压引力，如果引力太大，就会导致膜层破裂。

如果出现膜层破裂。请问怎样解决呢?

作者: chz321 时间: 2007-3-21 00:41
若膜应力大于膜与基片间之附着力,则薄膜会剥落,应力再小此则会出现膜裂,解决的方法应该得去调离子源参数,降低能力密度或降低烘烤温度,还有一个就是改第一层膜料

作者: maodeliao 时间: 2007-4-8 17:20

楼主说得通光点和膜纹交差如何鉴别

还有点状．丝状．面状脱膜的原因各有那些可能

作者: zzn24 时间: 2007-8-3 15:56
那在使用中，加热怎么也会造成脱膜呢？

作者: zhengtianliang 时间: 2007-8-17 22:22
学习了！
很厉害。看来要多来论坛走走才好。

作者: szhvxcy 时间: 2007-8-21 00:58
什么时候是张什么时候是压应力呢
有没有经验的告知一下呢多谢

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-11-30 16:51
这个帖子应该一直顶起来啊，怎么空白了这么多年

作者: 阿俊 时间: 2012-5-31 12:18
我也顶，具体实质性的问题

作者: jy0jyxrd 时间: 2012-6-14 19:52

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