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标题: 测量平行表面面形,不对后表面进行处理 [打印本页]

作者: nancy-y    时间: 2013-5-21 11:12
标题: 测量平行表面面形,不对后表面进行处理
对于平行度非常好的平面元件、或两个平面,如何单独地测量出其中一个平面的面形?
    由于平行度比较好,如果直接使用干涉仪测量,一般会看到两套条纹,一套是被测表面的面形条纹,一套是前后表面自相干的条纹(如图1左)。为了消除自相干条纹的影响,一般都是对后表面做些处理,比如涂凡士林、橡皮泥或淋乙醇等;这样才能消除或抑制后表面对前表面的干涉。但是对于某些特殊材料,采用这类手段或造成表面污染,或改变表面的状态,因而不适用。因此需要采用其它方法来消除平行表面间的条纹干扰。



我们使用的是美国4D技术公司 的FizCam2000型干涉仪,FizCam2000动态干涉仪采用短相干光源,通过调整其延迟光路,可以实现定位干涉,换而言之,这种干涉仪可以选定被测表面对其进行测量。其光源相干长度约300um, 对于厚度大于0.3mm的平行平板,都可以避免前后表面的干涉,进行有效地测量(如图1右)。
不仅如此,FizCam2000还可以透过前表面测量后表面,当然,这种测量结果中也包含了前表面的面形误差和材料的不均匀性。

图2是个平行薄片的测量图



图2 右侧是Fizcam2000的输出瞳,镜头为标准平面镜;中间为状态调整架上的平面薄片,可以看到薄片上有做标记的文字;左侧为装在夹具上的标准反射镜


在测量时,可以看到有两个反射信号分别代表样品前后表面的反射(图3)



图3平行薄片前后两个表面的反射,移动红色标线,就可选择干涉面
前表面的面形(图4)和透过前表面测得的后表面面形(图5)。图5中间可以隐约看到标记文字的印痕。

图4











作者: maray    时间: 2013-6-4 14:25

作者: wang739006563    时间: 2013-6-6 11:34
这台干涉仪的价格约在多少钱?国内那公司代理的?
作者: 黎枫DUTer    时间: 2016-1-15 22:41
看看,学习。,不错啊,讲得很全面。。。。。。。。。。。。。。。。。。

作者: 阿明    时间: 2016-3-22 09:53
这是一经常性的问题!很好的解决方式!原始的检测方式,就不存在这个问题!
作者: kevin520130    时间: 2016-6-30 11:05
不错,分析的很好,受教了
作者: qbf    时间: 2016-7-2 02:13

作者: maomao1112    时间: 2019-1-10 17:09





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