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标题: 测量平行表面面形，不对后表面进行处理 [打印本页]

作者: nancy-y 时间: 2013-5-21 11:12
标题: 测量平行表面面形，不对后表面进行处理
对于平行度非常好的平面元件、或两个平面，如何单独地测量出其中一个平面的面形？
由于平行度比较好，如果直接使用干涉仪测量，一般会看到两套条纹，一套是被测表面的面形条纹，一套是前后表面自相干的条纹（如图1左）。为了消除自相干条纹的影响，一般都是对后表面做些处理，比如涂凡士林、橡皮泥或淋乙醇等；这样才能消除或抑制后表面对前表面的干涉。但是对于某些特殊材料，采用这类手段或造成表面污染，或改变表面的状态，因而不适用。因此需要采用其它方法来消除平行表面间的条纹干扰。

我们使用的是美国4D技术公司的FizCam2000型干涉仪，FizCam2000动态干涉仪采用短相干光源，通过调整其延迟光路，可以实现定位干涉，换而言之，这种干涉仪可以选定被测表面对其进行测量。其光源相干长度约300um, 对于厚度大于0.3mm的平行平板，都可以避免前后表面的干涉，进行有效地测量（如图1右）。
不仅如此，FizCam2000还可以透过前表面测量后表面，当然，这种测量结果中也包含了前表面的面形误差和材料的不均匀性。

图2是个平行薄片的测量图

图2 右侧是Fizcam2000的输出瞳，镜头为标准平面镜；中间为状态调整架上的平面薄片，可以看到薄片上有做标记的文字；左侧为装在夹具上的标准反射镜

在测量时，可以看到有两个反射信号分别代表样品前后表面的反射（图3）

图3平行薄片前后两个表面的反射，移动红色标线，就可选择干涉面
前表面的面形（图4）和透过前表面测得的后表面面形（图5）。图5中间可以隐约看到标记文字的印痕。

图4

作者: maray 时间: 2013-6-4 14:25

作者: wang739006563 时间: 2013-6-6 11:34
这台干涉仪的价格约在多少钱？国内那公司代理的？

作者: 黎枫DUTer 时间: 2016-1-15 22:41
看看，学习。

，不错啊，讲得很全面。。。。。。。。。。。。。。。。。。

作者: 阿明 时间: 2016-3-22 09:53
这是一经常性的问题！很好的解决方式！原始的检测方式，就不存在这个问题！

作者: kevin520130 时间: 2016-6-30 11:05
不错，分析的很好，受教了

作者: qbf 时间: 2016-7-2 02:13

作者: maomao1112 时间: 2019-1-10 17:09

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