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标题: 关于修正板和离子枪角度的关系 [打印本页]

作者: 老城 时间: 2013-6-2 01:31
标题: 关于修正板和离子枪角度的关系
最近公司的那些个领导觉得机台不太稳定，叫我们重新调机台。。。。。调机台中发现机台伞架第四五排折射率较低。。。本人怀疑跟离子枪角度有关。。。仅凭目测或者说拉线，，，，感觉不太准。。。。请问各位老大你们是怎么调这离子枪角度的？或者说有什么经验或技巧-----本人使用机台为龙翩 LP-1300.。。。。在这里先跪谢各位老大。。。。。。。。。。。。。。。。[attach]83497[/attach][attach]83496[/attach]

作者: 老城 时间: 2013-6-2 01:33
自己顶

作者: 丫飛仔 时间: 2013-6-3 08:32
學習學習~~~~

作者: xiao2011 时间: 2013-6-4 06:48

作者: tfc 时间: 2013-6-4 08:25
修正板本身要修折射率。

作者: laoxianccc 时间: 2013-6-4 12:06

作者: ghtzna 时间: 2013-6-7 09:57
折射率差异由多少？离子枪照射是又角度的，若是生产过程中经常出现制程不稳定的情况需要仔细检查：
1.每个LOT批次生产过程的间隔时间
2.机台的清洁度
3.若是MASK匹配性ok,检查统计离子枪使用时间
4.chamber 的温度分布
以上基本上是这几个因素在影响，具体的需要你自己去结合实际生产才能找出真因

作者: ghtzna 时间: 2013-6-7 10:01
离子枪角度调整时一般往外旋转是将能量在外圈分布增加基本以2-3度为间隔变化较明显

作者: 老城 时间: 2013-6-8 21:55

ghtzna 发表于 2013-6-7 10:01
离子枪角度调整时一般往外旋转是将能量在外圈分布增加基本以2-3度为间隔变化较明显

谢谢

作者: ghtzna 时间: 2013-6-9 09:29

老城发表于 2013-6-8 21:55
谢谢

客气了哈希望对你有帮助

作者: sgh920 时间: 2019-4-29 15:42
学习学习，

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