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标题: 溅射卷绕式镀膜机的TOOLING怎么提取 [打印本页]

作者: ghtzna 时间: 2013-7-1 07:37
标题: 溅射卷绕式镀膜机的TOOLING怎么提取
最近操作溅射卷绕镀膜机，镀AL2O3，速率很慢，来回镀了七次，膜厚才75nm,材料折射率怎么也抓不出来。之前没有操作过此类机器，希望大侠指导哈

作者: csgt0 时间: 2013-7-1 09:28
反应溅射是很慢

作者: ghtzna 时间: 2013-7-1 10:34

csgt0 发表于 2013-7-1 09:28
反应溅射是很慢

镀个几十纳米就把人搞死了

作者: ghtzna 时间: 2013-7-4 10:42
沉了

作者: crl0129 时间: 2014-1-2 13:59

作者: lsx2121 时间: 2014-2-10 14:37
做Al2O3 沉积速率确实比较慢，若是设备有预算，可以安装一台反应溅射等离子监控系统，提高反应速率和调节工艺。

作者: ghtzna 时间: 2014-2-13 11:56

lsx2121 发表于 2014-2-10 14:37
做Al2O3 沉积速率确实比较慢，若是设备有预算，可以安装一台反应溅射等离子监控系统，提高反应速率和调节 ...

需要多少银子

作者: lisx2525 时间: 2015-6-1 01:55
反应溅射等离子监控系统看你溅射阴极的尺寸，详细的技术，可联系lisx25252163.com 沟通。谢谢

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