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标题: 求教在AR膜层上镀AF无防水效果 [打印本页]

作者: lengyubing 时间: 2013-8-1 22:14
标题: 求教在AR膜层上镀AF无防水效果
镀膜方式，常温离子源辅助镀完AR后,真空度4.0*10-5torr直接用阻蒸镀防水药速率大概1-1.5nm/s,膜厚大概在30nm左右,但是一点防水效果都没，同样工艺在白片上防水效果很好，而且试过白片和镀AR后的片子同炉镀AF，白片有效果但镀AR的片子没防水效果，求达人解答

作者: john03062003 时间: 2013-8-4 13:25
最近才出现还是一直都存在？
你的AF是硅基的还是氟基的？
镀AF有没有离子辅镀？

作者: ipshjh 时间: 2013-8-4 21:00

作者: 良哥 时间: 2013-8-5 15:35
将最后一层取消离子源

作者: xiaohuilee 时间: 2013-8-5 16:16
有可能主要是像二楼说的是硅基还是氟基

作者: maray 时间: 2013-8-5 21:10
AR最后一层是硅是氟，这个要与AF搭配的

作者: lengyubing 时间: 2013-8-5 23:12
回复楼上各位，是最近才试AR+AF，最后一层是sio2,前面一直另一面镀防水膜sio2+AF效果还不错，AF层无离子源辅助，低温镀膜5层的膜系最后一层sio2 70多nm，不加离子源膜层质量应该没保证吧。谢谢各位好心人，搞不清到底是哪出问题啦

作者: xiaohuilee 时间: 2013-8-7 15:04
AF不加离子源，其他的你可以用离子源的，我们以前做AF的时候都不用离子源的，最外成用sio2，最后镀AF即可，一般AF在一分钟内镀完，不过也有可能是你的AF料有问题呢，不能只在工艺上找问题，要各个方面的找，要不镀膜工程师真的成仙了

作者: 诸葛流星 时间: 2013-8-15 10:19
你镀的AR是在什么条件下蒸镀的？
如真空度及充气条和温度件等
在镀AF是什么条件下蒸镀的？
真空度及温度等

作者: 诸葛流星 时间: 2013-8-15 10:28
一般来说你镀的AR表面最外层SiO2要光滑(质密度高)、清洁，在沉积AF时速率可以在高些，市面上的防水药蒸镀时的基片温度低较好

作者: lengyubing 时间: 2013-8-16 22:49
谢谢各位！

作者: lengyubing 时间: 2013-8-20 20:34
谢谢各位，问题已解决，最后一层取消了离子源辅助，AF防水效果OK

作者: cqzxcl 时间: 2014-5-9 14:08
你说的最外一层取消IAD然后AF就ok，应该是两个方面，一是sio2在离子源辅助的时候外观不太好，二是取消离子源后到镀af的时候温度应该降下来了，不知道是不是这两方面原因。

作者: liyesheng22 时间: 2014-6-2 23:31

作者: crl0129 时间: 2014-7-21 15:33
还第一吃听说镀AF时，要IAD的。。。

作者: WENJINGREN 时间: 2015-3-4 21:27

xiaohuilee 发表于 2013-8-7 15:04
AF不加离子源，其他的你可以用离子源的，我们以前做AF的时候都不用离子源的，最外成用sio2，最后镀AF即可， ...

我刚接触防水膜，客户要求离子辅助镀膜加工，想请教您AF用电子枪，速率控制不好有方法改善吗，我们的机器只有电子枪。谢谢！

作者: 1234yun 时间: 2015-4-10 15:51
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作者: royyang 时间: 2015-4-18 14:51

作者: hgd0302 时间: 2015-4-19 22:01
RE: TFC中文说明书后半部分优化指南及实例 [修改]

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