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标题: 氧化铝抛硅（Si）单晶，表面起橘皮的真正原因 [打印本页]

作者: oecr-xjh 时间: 2013-8-11 22:05
标题: 氧化铝抛硅（Si）单晶，表面起橘皮的真正原因
氧化铝抛硅（Si）单晶，表面起橘皮的真正原因：
机械作用>化学作用？
化学作用>机械作用？

在氧化铝抛光液中添加浓度为10%的硅抛光液，橘皮表面改善很明显。

作者: qbf 时间: 2013-8-13 00:32

没看懂，硅抛光液是什么？

作者: oecr-xjh 时间: 2013-8-19 09:50
表面橘皮问题解决，证实起因为：化学作用>机械作用

作者: lansu 时间: 2013-10-23 15:25
氧化铝抛光液加入氧化硅抛光液？

作者: yuliang518 时间: 2014-5-15 06:58

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