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标题: 用蒸发机如何在塑料薄膜表面镀制AlN薄膜 [打印本页]

作者: 良哥 时间: 2013-8-19 10:16
标题: 用蒸发机如何在塑料薄膜表面镀制AlN薄膜
各位大神：

不知有哪位用蒸发机在塑料薄膜上镀制AlN薄膜的？可否指导一下小弟？

1.离子源理应充N2吧，不知道调至多少合适，选择霍尔还是考夫曼？；
2.基片的材料不能高于80℃；
3.基片是类似于厚的塑料薄膜；
4.镀膜目的：蒸发机镀制AlN薄膜，使基片表面硬度增强，不能导电；

镀膜小鸟

作者: 良哥 时间: 2013-8-20 13:14
怎么没有帮我滴啊？？？

作者: gb936 时间: 2013-8-20 14:28
期待你能成功

作者: 良哥 时间: 2013-8-20 16:51

gb936 发表于 2013-8-20 14:28
期待你能成功

谢谢有顶滴

作者: 良哥 时间: 2013-8-21 11:01
再给自己顶一个

作者: ghtzna 时间: 2013-8-24 08:04
蒸镀反应不充分建议溅镀

作者: 良哥 时间: 2013-8-26 15:48

ghtzna 发表于 2013-8-24 08:04
蒸镀反应不充分建议溅镀

溅镀可以镀3000nm？

作者: ghtzna 时间: 2013-8-27 07:34

良哥发表于 2013-8-26 15:48
溅镀可以镀3000nm？

新科隆的能镀

作者: 良哥 时间: 2013-8-28 17:07

ghtzna 发表于 2013-8-27 07:34
新科隆的能镀

要西，谢谢

作者: crl0129 时间: 2013-12-7 12:13
学习中！！

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