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标题: 关于基板不同位置的材料折射率 [打印本页]

作者: dcjlcm 时间: 2013-8-23 23:00
标题: 关于基板不同位置的材料折射率
本帖最后由 dcjlcm 于 2013-8-23 23:02 编辑

请教各位大侠，如附图1-5分别是材料在伞具不同位置的曲线，可见不同位置的基板折射率存在一定的差异，个人认为主要原因有1.基板不同位置的温度2.真空度3.蒸发物质的蒸汽到达基板的角度不知各位大侠是不是这样，还有别的什么因数影响较大？如何解决？欢迎各位指教。

作者: ouyuu 时间: 2013-8-24 00:47
看来是补正板问题。你的补正板是不是每次都在同一高度？

真空度没有那么大差异，角度的话，最多是峰值有些差异，但位置应该是差不多的。

作者: otxtc 时间: 2013-8-24 09:00
离子源分布

作者: dcjlcm 时间: 2013-8-24 20:34

ouyuu 发表于 2013-8-24 00:47
看来是补正板问题。你的补正板是不是每次都在同一高度？

真空度没有那么大差异，角度的话，最多是峰值有 ...

你好，暂时不考虑辅正板因数，你说的对，修正板还没做好，所以厚度不一样，关键是45和123峰值相差太多。大师你所说的“角度导致峰值的差异”这里的角度是指修正板的角度吗？

作者: dcjlcm 时间: 2013-8-24 20:35

otxtc 发表于 2013-8-24 09:00
离子源分布

未采用离子源

作者: 诸葛流星 时间: 2013-8-26 11:19
折射率啊

作者: dcjlcm 时间: 2013-9-2 23:31

别沉了各位大师如何解决啊？

作者: 魅力薄膜 时间: 2013-10-1 02:19
修折射率

作者: 老城 时间: 2013-10-2 00:14
应该主要是修正板影响的因素比较大，，，其次峰值的高低，应该是折射率的差异，用温度试纸看伞架1--5排的温度差异，再来，看机台是否有漏气，漏气导致真空不稳定。。。。个人观点，希望对你有帮助。。。。

作者: dcjlcm 时间: 2013-10-6 17:44

魅力薄膜发表于 2013-10-1 02:19
修折射率

如何修啊请指教

作者: dcjlcm 时间: 2013-10-6 17:45

老城发表于 2013-10-2 00:14
应该主要是修正板影响的因素比较大，，，其次峰值的高低，应该是折射率的差异，用温度试纸看伞架1--5排的温 ...

温度试纸如何使用没用过，请指教谢谢

作者: riy2000 时间: 2013-10-9 14:05

作者: WENJINGREN 时间: 2013-10-30 15:52
修正板比较关键，

作者: crl0129 时间: 2013-11-28 14:52
要调整修正版

作者: rager 时间: 2014-5-30 06:55
路过

作者: 李昌瑞 时间: 2014-6-7 15:11
上次到别的公司去也看到过类似的问题，如果是单枪镀多层膜就容易有这种问题，一般是和蒸发角度关系大，这个就不怎么好处理。如果是单层膜的话，还是可以调整修正板的

作者: carpty 时间: 2014-6-18 16:40
均匀性挡板的问题

作者: yuliang518 时间: 2014-7-11 06:22

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