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标题: 关于SiO2 [打印本页]

作者: 诸葛流星 时间: 2013-8-26 09:29
标题: 关于SiO2
请教各位大侠：我在镀完后开真空室门时发现在SiO2(蒸镀速率8)坩埚附近的防污板上SiO2掉膜(以蔓延扩散的形式掉落呈细小粉末状)，遇到这种情况该如何解决，谢谢！

作者: 诸葛流星 时间: 2013-8-26 09:30

作者: fql3310 时间: 2013-9-1 19:34
就这样嘛，没关系的。

作者: 诸葛流星 时间: 2013-9-3 14:43

fql3310 发表于 2013-9-1 19:34
就这样嘛，没关系的。

但是掉下来的粉末会落到坩埚上啊，外观不达标

作者: gxfdllg 时间: 2013-9-5 09:34
二氧化硅镀多了就是这样的啦，没问题的

作者: 大大鸟鸟 时间: 2013-9-14 11:47
吸尘器吸

作者: 诸葛流星 时间: 2013-9-14 12:32

大大鸟鸟发表于 2013-9-14 11:47
吸尘器吸

呵呵，这样对已镀的产品没有任何改变啊

作者: 大大鸟鸟 时间: 2013-9-14 12:54

诸葛流星发表于 2013-9-14 12:32
呵呵，这样对已镀的产品没有任何改变啊

木有

作者: 诸葛流星 时间: 2013-9-16 13:52
就是这样做出来的外观有点不理想啊

作者: wugaoling688 时间: 2013-9-17 17:12
有两个办法，一是勤换衬板。二是在易掉渣的地方贴块锡箔纸，锡箔纸弄皱些，更耐用。

作者: 诸葛流星 时间: 2013-9-22 08:05
这些都试过，一样

作者: 339549428 时间: 2013-9-28 19:54
学习了

作者: huangdengpin 时间: 2013-11-15 18:32

作者: crl0129 时间: 2013-11-29 16:00
正常现象

作者: 风寒雪月缺 时间: 2013-12-4 10:35
勤清洗吧。镀膜过程一般问题不大。开门会掉膜就的清干净。

作者: chongying 时间: 2013-12-15 13:11
镀啥二氧化硅啊，直接镀硅油不是很好么，直接在表面生产二氧化硅不是更好？

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