光电工程师社区

标题: 关于SiO2 [打印本页]

作者: 诸葛流星    时间: 2013-8-26 09:29
标题: 关于SiO2
请教各位大侠:我在镀完后开真空室门时 发现在SiO2(蒸镀速率8)坩埚附近的防污板上SiO2掉膜(以蔓延扩散的形式掉落呈细小粉末状),遇到这种情况该如何解决,谢谢!
作者: 诸葛流星    时间: 2013-8-26 09:30

作者: fql3310    时间: 2013-9-1 19:34
就这样嘛,没关系的。
作者: 诸葛流星    时间: 2013-9-3 14:43
fql3310 发表于 2013-9-1 19:34
就这样嘛,没关系的。

但是掉下来的粉末会落到坩埚上啊,外观不达标
作者: gxfdllg    时间: 2013-9-5 09:34
二氧化硅镀多了就是这样的啦,没问题的
作者: 大大鸟鸟    时间: 2013-9-14 11:47
吸尘器吸
作者: 诸葛流星    时间: 2013-9-14 12:32
大大鸟鸟 发表于 2013-9-14 11:47
吸尘器吸

呵呵,这样对已镀的产品没有任何改变啊
作者: 大大鸟鸟    时间: 2013-9-14 12:54
诸葛流星 发表于 2013-9-14 12:32
呵呵,这样对已镀的产品没有任何改变啊

木有
作者: 诸葛流星    时间: 2013-9-16 13:52
就是这样做出来的外观有点不理想啊
作者: wugaoling688    时间: 2013-9-17 17:12
有两个办法,一是勤换衬板。二是在易掉渣的地方贴块锡箔纸,锡箔纸弄皱些,更耐用。
作者: 诸葛流星    时间: 2013-9-22 08:05
这些都试过,一样
作者: 339549428    时间: 2013-9-28 19:54
学习了
作者: huangdengpin    时间: 2013-11-15 18:32

作者: crl0129    时间: 2013-11-29 16:00
正常现象
作者: 风寒雪月缺    时间: 2013-12-4 10:35
勤清洗吧。镀膜过程一般问题不大。开门会掉膜就的清干净。
作者: chongying    时间: 2013-12-15 13:11
镀啥二氧化硅啊,直接镀硅油不是很好么,直接在表面生产二氧化硅不是更好?




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