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标题: 关于tooling值和折射率的计算的问题 [打印本页]

作者: haitao1573 时间: 2013-8-28 00:38
标题: 关于tooling值和折射率的计算的问题
各位大大；关于tooling和折射率的问题想请教各位。对于一台陌生的机台我们是先算机器的tooling值呢还是先算膜料的折射率？

1，如果先算tooling的话我们设计一个单层膜时用的膜料折射率怎么给。因为这个折射率是未知的怎么给其镀出来的实际厚度和它对比计算tooling都有误差。因为这个折射率是我们自己给的影响了厚度。
2.如果先算折射率，那用TFC计算的时候输入的膜厚我们是用设计时的值还是实际膜厚值。如果实际膜厚是用TFC优后得到那它的厚度也不准确，因为折射率未知。
3.算tooling时时高低折射率膜料单个算好还是两者镀一起算好。说的可能有点绕不知道表达清楚了没有。

作者: ghtzna 时间: 2013-8-28 13:12
这个是事先你不知道精确的折射率的，但是你可以镀个7个1/4波长的膜厚，然后使用macleod计算出折射率和tooling了。可以计算光学和物理膜厚的两个tooling

作者: 大大鸟鸟 时间: 2013-8-28 20:30
这个很简单你先按标准折射率算最后推导出来就行了。我们之前一直这么做的，如有不明白继续CALL我。。

作者: haitao1573 时间: 2013-8-29 00:51

大大鸟鸟发表于 2013-8-28 20:30
这个很简单你先按标准折射率算最后推导出来就行了。我们之前一直这么做的，如有不明白继续CALL我。。

能不能说具体点。是推导的时候用折射率很膜厚都可变量嘛？

作者: haitao1573 时间: 2013-8-29 00:52

ghtzna 发表于 2013-8-28 13:12
这个是事先你不知道精确的折射率的，但是你可以镀个7个1/4波长的膜厚，然后使用macleod计算出折射率和tooli ...

没有MACLEOD 用TFC如何取值？

作者: 大大鸟鸟 时间: 2013-8-29 09:29

haitao1573 发表于 2013-8-29 00:52
没有MACLEOD 用TFC如何取值？

我用的就是TFC TFC当中有默认值默认值是可以修改的但是一般不修改只要知道差量就行了仿真也只是个大概而已。你先用一个折射率的标准值计算出四分之一波长时的厚度，然后镀膜，镀完膜厚用分光光度计测量，然后通过公式计算出实际的折射率，通过实际的折射率算出实际的膜厚，通过实际膜厚与设定膜厚就可以算出TOOLING 我说的清楚吗？

作者: haitao1573 时间: 2013-9-5 15:38

大大鸟鸟发表于 2013-8-29 09:29
我用的就是TFC TFC当中有默认值默认值是可以修改的但是一般不修改只要知道差量就行了仿真也只是 ...

非常感谢。明白了。

作者: geyingji 时间: 2013-9-29 15:57

大大鸟鸟发表于 2013-8-29 09:29
我用的就是TFC TFC当中有默认值默认值是可以修改的但是一般不修改只要知道差量就行了仿真也只是 ...

大师，通过光谱曲线算折射率是用的透过率的峰值么

作者: 大大鸟鸟 时间: 2013-9-29 16:49

geyingji 发表于 2013-9-29 15:57
大师，通过光谱曲线算折射率是用的透过率的峰值么

透过率和反射率都可以，我们用的是反射率。一般光度计测得光谱曲线是相对值，你还要做一次校准，利用校准后的反射率值或者透射率值来计算折射率，计算有相应的公式，可以在光学书籍上找找看。

作者: geyingji 时间: 2013-9-30 09:03

大大鸟鸟发表于 2013-9-29 16:49
透过率和反射率都可以，我们用的是反射率。一般光度计测得光谱曲线是相对值，你还要做一次校准，利用校准 ...

哦，了解了，但是这个准确度怎么样啊，要是膜料分解有吸收或者测量仪器的误差都会影响透过率或反射率的值吧，相对反射率要怎么校准，是不是要知道相对基片的反射曲线，绝对反射附件要好点吧

作者: 大大鸟鸟 时间: 2013-9-30 15:20

geyingji 发表于 2013-9-30 09:03
哦，了解了，但是这个准确度怎么样啊，要是膜料分解有吸收或者测量仪器的误差都会影响透过率或反射率的值 ...

准确度还可以啦你可以多做几次看平均值啊误差都会存在的哦就看你要求多高了如果要求高那就花钱测的来

作者: geyingji 时间: 2013-9-30 15:26

大大鸟鸟发表于 2013-9-30 15:20
准确度还可以啦你可以多做几次看平均值啊误差都会存在的哦就看你要求多高了如果要求高那就 ...

哦，了解了~

作者: 吉喵 时间: 2014-8-2 17:36
学习学习

作者: liul 时间: 2016-3-25 11:28

作者: MorningTech 时间: 2016-4-3 17:39
去上海膜林科技有限公司网站下载晶控仪说明书，里面有对 tooling的详细解释，还有许多其他晶控方面的基础介绍。绝对值得一看。

作者: yifeng602 时间: 2017-4-8 22:43
楼主都不说明什么类容估计没人买
如果只是说明书之类的话百度文库都有很多

作者: maomao1112 时间: 2019-1-5 17:47

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