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标题: IR发白，发雾原因 [打印本页]

作者: wugaoling688 时间: 2013-9-17 17:32
标题: IR发白，发雾原因
我这镀的IR-cutl滤光片经常会有些外观不良，主要是发白。像雾一样，估计是洗净问题，又找不到对策，各位高手有没遇到过。交流下。QQ670284490

作者: john03062003 时间: 2013-9-18 14:56
镀完之后是不是直接泄气？

作者: wugaoling688 时间: 2013-9-18 17:33

john03062003 发表于 2013-9-18 14:56
镀完之后是不是直接泄气？

不是的，都是关烘烤5分钟后，放大气，，时好时坏，偶尔发生，

作者: john03062003 时间: 2013-9-20 10:37
产品直接放在治具上吗？上面有没有盖板？

作者: 诸葛流星 时间: 2013-9-22 08:03
你是什么工艺条件？特别是实测温度，沉积速率......还有你的材料是什么价位的？

作者: wugaoling688 时间: 2013-9-22 19:46
温度270，速率硅是14，钛是3.5.是那中廉价的。我确定不是镀膜原因，肯定是清洗环节，因为有时一片都没有，有时会有几片，

作者: wugaoling688 时间: 2013-9-22 19:47
温度270，速率硅是14，钛是3.5.是那中廉价的。我确定不是镀膜原因，肯定是清洗环节，因为有时一片都没有，有时会有几片，

作者: 诸葛流星 时间: 2013-9-28 13:55
也许你要注意一下你的SiO2光斑位置和大小，还有你可以把SiO2的速率降点。

作者: 339549428 时间: 2013-9-28 19:54
谢谢诶分享

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