光电工程师社区

标题: TI3O5镀膜参数求教 [打印本页]

作者: WENJINGREN    时间: 2013-10-29 09:03
标题: TI3O5镀膜参数求教
各位同仁:
         使用TI3O5镀增透膜,实际与设计相差较多,想请教TI3O5的控制参数、密度等,谢谢。
作者: 霹靂貓    时间: 2013-10-29 17:06

TS-AR.jpg (146.57 KB, 下载次数: 103)

TS-AR.jpg

作者: xiaohuilee    时间: 2013-10-29 18:29
tooling 折射率 都对吗
作者: WENJINGREN    时间: 2013-10-30 09:42
xiaohuilee 发表于 2013-10-29 18:29
tooling 折射率 都对吗

折射率没问题, tooling 改变后镀膜结果没有变化。
作者: WENJINGREN    时间: 2013-10-30 09:42
霹靂貓 发表于 2013-10-29 17:06

设计的没问题,但镀后结果差很大
作者: 大大鸟鸟    时间: 2013-10-30 15:27
1.什么设备?
2.镀多厚?
3.速率多少?
4.你的折射率多少?
作者: WENJINGREN    时间: 2013-10-30 15:43
大大鸟鸟 发表于 2013-10-30 15:27
1.什么设备?
2.镀多厚?
3.速率多少?

韩国设备,镀4层增透、9层增透,速率3A/秒
作者: royyang    时间: 2014-7-8 05:10
真空度不稳定
作者: lkai1014    时间: 2014-7-8 07:53
把你设计的和镀出来结果传上来看看
作者: lkai1014    时间: 2014-7-8 07:54
lkai1014 发表于 2014-7-8 07:53
把你设计的和镀出来结果传上来看看

去年的帖子了
作者: wjwvsly    时间: 2014-7-8 11:14
说明实际的光学厚度与设计的不符,也可以说是物理厚度和材料折射率值不准
作者: crl0129    时间: 2014-7-21 14:35
设计的再漂亮,和机台的各项条件有差异的话是镀不出来的。。。。
作者: 306164500    时间: 2014-7-25 20:05
11111111111111111111111111
作者: jason.chen    时间: 2014-7-30 10:03
哈哈,去年的帖子了今年还有这么多人有热情地解答,估计那公司都垮了,
作者: 吉喵    时间: 2014-8-3 07:58

作者: 吉喵    时间: 2014-8-8 16:27

作者: xiezhizhi188    时间: 2014-10-5 14:38

作者: royyang    时间: 2014-10-5 17:50
我用着感觉挺好的
作者: 306164500    时间: 2014-10-10 17:03
呵呵
作者: 爺、獨霸怡葒院    时间: 2014-12-15 22:09
了解




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