光电工程师社区

标题: 求助:外反银+AL2O3+SIO2保护膜问题 [打印本页]

作者: 乐wlzb    时间: 2013-11-6 10:10
标题: 求助:外反银+AL2O3+SIO2保护膜问题
问题:镀外反银的保护膜(AL2O3+SIO2)镀完后从真空室取出后,保护膜成粉状脱掉,但银层是没有问题的,请教大家是什么原因造成的。镀膜条件:先常温镀银,在加温镀AL2O3+SIO2。
作者: xiaohuilee    时间: 2013-11-7 12:22
蒸发源离工件的距离多少,是否过低
用什么舟镀膜

作者: 我来学习    时间: 2013-11-7 19:26
南光真空机台,预阀一打开。真空度就不行是怎么回事。所有焊接点,接头,都用丙酮查过,没发现有漏气。求高手相救,不胜感激。
作者: 乐wlzb    时间: 2013-11-9 09:24
xiaohuilee 发表于 2013-11-7 12:22
蒸发源离工件的距离多少,是否过低
用什么舟镀膜

银膜的牢固度没得问题,主要是外层的保护膜脱落,保护膜是用电子枪镀的。蒸发源离工件的距离在40cm左右
作者: lkai1014    时间: 2013-11-9 15:13
银冷镀 保护层也用冷镀
作者: 乐wlzb    时间: 2013-11-9 17:16
保护膜冷镀好像不耐擦吧,我们没有离子源。
作者: 终南子    时间: 2013-11-13 21:04
烘烤温度是多少?如果真空度不够高,你加热温度太高银是容易氧化的,保护层也就容易脱落。
作者: 乐wlzb    时间: 2013-11-18 09:55
终南子 发表于 2013-11-13 21:04
烘烤温度是多少?如果真空度不够高,你加热温度太高银是容易氧化的,保护层也就容易脱落。

镀保护膜的烘烤温度是150度(基片温度有145左右),开始镀膜时真空度为3.0×-3pa.
作者: 272813953    时间: 2013-11-22 01:14
没有离子源好难镀的啊!!要不就是加高温,要不就是真空度要高
作者: 风寒雪月缺    时间: 2013-12-4 10:48
考虑下热膨胀的问题,银和氧化物的差距很大,温差大容易产生很大的应力,导致膜层不牢固
作者: 终南子    时间: 2013-12-7 19:01
乐wlzb 发表于 2013-11-18 09:55
镀保护膜的烘烤温度是150度(基片温度有145左右),开始镀膜时真空度为3.0×-3pa.

烘烤温度是有点高,你把温度降到80度左右,把真空度再抽高点看看。
作者: 乐wlzb    时间: 2013-12-11 09:49
终南子 发表于 2013-12-7 19:01
烘烤温度是有点高,你把温度降到80度左右,把真空度再抽高点看看。

好的,谢谢!我有时间再试试看。
作者: chongying    时间: 2013-12-15 13:16
镀银跟镀铝差不多都是冷镀,也就是常温镀膜,不需要升温,只不过现在天气原因,可以调至恒温状态下进行镀膜加工,还有AL2O3这是镀铝呀,镀膜直接镀二氧化硅真空度不够也会出现镀膜工艺不良。如果是做车灯装饰件或者大灯前照灯灯罩内饰镀膜的话建议还是镀铝加镀硅油,不要直接镀二氧化硅,镀硅油直接在铝层表面沉积生产纯的二氧化硅保护膜。
作者: lkwxp    时间: 2014-4-13 16:07
学习学习,镀银膜就是不好做。

作者: ghtzna    时间: 2014-4-14 15:31
lkai1014 发表于 2013-11-9 15:13
银冷镀 保护层也用冷镀

正解
作者: xiao2011    时间: 2014-4-14 19:15
冷镀
作者: cqzxcl    时间: 2014-5-13 10:14
要不你在镀银快结束的时候同时用电子枪开始镀al2o3  试试看吧
作者: 奋斗的海风    时间: 2014-5-13 22:27
值得看看
作者: royyang    时间: 2014-7-6 05:46

作者: Angeal    时间: 2014-8-28 15:51
请教有照明光源PAR产品用的反射杯镀膜经验的同仁,反射率低的主要原因?
作者: liul    时间: 2016-4-16 14:01

作者: yb7991    时间: 2016-5-1 16:45
冷镀也没问题,300唉的AL2O3,1000唉的sio2




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