光电工程师社区

标题: 晶控仪XDM-3K [打印本页]
作者: MorningTech    时间: 2013-11-6 22:41
标题: 晶控仪XDM-3K
本帖最后由 MorningTech 于 2014-5-3 12:49 编辑

上海膜林科技有限公司推出新一代晶控仪XDM-3K，中文触摸屏，操作简单易上手，稳定可靠，性能卓越。
详情请见我司网站: morningtech.cn
欢迎咨询，也欢迎各位就晶控提出您的理解与看法，共同提高。
作者: rollo_tomasi    时间: 2013-11-6 22:41
O(∩_∩)O哈哈~，沙发是我的啦
rollo_tomasi 于 2014-2-28 16:39 使用 抢沙发 抢夺本帖沙发
作者: MorningTech    时间: 2013-11-7 11:24
本帖最后由 MorningTech 于 2013-11-7 11:59 编辑

上个某用户成膜结果图片。晶控控制速率和厚度，只使用一片晶振片。
作者: MorningTech    时间: 2013-11-7 11:30
MorningTech 发表于 2013-11-7 11:24
上个某用户成膜结果图片。

作者: qjy    时间: 2013-11-7 21:48
这款新出的国产晶控确实不错，除膜系储存量较少（20个）外别的性能都很不错，突出优点是成膜速率稳定、晶振片寿命长。建议想给设备配晶控的朋友们多考虑一下我们这款国产晶控
作者: MorningTech    时间: 2013-11-8 12:50
qjy 发表于 2013-11-7 21:48
这款新出的国产晶控确实不错，除膜系储存量较少（20个）外别的性能都很不错，突出优点是成膜速率稳定、晶振 ...

谢谢！
1. XDM-3K膜系空间可以重复使用。我司正在研发某方式，若成功后可存储膜系数量不是问题，而且省却手工输入。
2. 晶振片寿命在晶控仪中是频率的另一描述方法，我想您在此处是指其可使用时间吧。晶振片可使用时间长短取决于 晶振片的选择、安装、成膜工艺等，当然，晶控仪也是一环。
作者: lkai1014    时间: 2013-11-8 14:42
作者: ZHJ7239    时间: 2013-11-9 12:59
XDM-3K 操作简单，稳定可控，非常好的一款晶控仪
作者: otxtc    时间: 2013-11-9 17:12
本帖最后由 otxtc 于 2014-4-7 20:34 编辑

不错！
作者: MorningTech    时间: 2013-11-9 17:15
morningtech.cn | <产品中心> | <成膜示例> 中有一段手机视频
SiO2成膜过程手机拍摄视频:SiO2-EGun.3gp(3,815KB)
作者: MorningTech    时间: 2013-11-10 22:01
本帖最后由 MorningTech 于 2014-4-7 20:39 编辑
otxtc 发表于 2013-11-9 17:12
支持国产，但请让事实说话。


公司网站morningtech.cn内有部分以自问自答形式列出的关于晶控方面的概念与方法，欢迎各位提出您的宝贵见解，帮助我们，帮助大家。

问：什么是比例系数？
比例系数定义为样品片的膜层厚度除以监控片的膜层厚度，它是光学薄膜中比较正式也比较容易理解的叫法。
作者: xiazg    时间: 2013-11-12 09:52
支持国产   嘉兴晶控电子电子专业生产晶振片QCM 晶片   电话15068338773  夏志国
作者: MorningTech    时间: 2013-11-14 09:30

mega9-curv-bpf2.GIF (3.82 KB, 下载次数: 90)

mega9-curv-bpf2.GIF
作者: MorningTech    时间: 2013-11-16 15:35
本帖最后由 MorningTech 于 2014-4-7 20:40 编辑

问：为什么在挡板打开一定时间内会出现负速率及负厚度？

这是成膜工艺带来的正常现象。挡板打开后，一方面，晶振片由于材料沉积而频率下降，另一方面晶振片受到热冲击而频率上升。而晶控仪只根据频率变化来计算厚度及速率，所以如果此时频率总体上升，晶控仪就会输出负速率及负厚度。
不同的工艺，坩埚材料状态，甚至新、旧灯丝，即使相同工艺也会每次现象都不重合，这都属于正常现象。
作者: fql3310    时间: 2013-11-17 14:08
XDM-3K卖多少钱？
作者: MorningTech    时间: 2013-11-19 23:13
新鲜实拍成膜状态:

SiO2-mega9-20131119.JPG (328.49 KB, 下载次数: 54)

成膜实况

成膜实况
作者: cxtwo    时间: 2013-11-20 11:27
MorningTech 发表于 2013-11-19 23:13
新鲜实拍成膜状态:

图中两条线是怎么回事？
作者: MorningTech    时间: 2013-11-20 14:43
XDM-3K 不主动消除 过往成膜曲线。
如果<操作页面>(当前页面)没有切换过，则当前点图形将一直叠加上去，用户若嫌乱，点击图形区中央即可清除显示。
如果<操作页面>切换过，则XDM-3K保留显示最近半小时的曲线。

上面的一条是 SiO2材料 的速率曲线，速率设定 6.0 A/Sec，可看出是几次重叠的(中途也清除过)。
下面一条是高折射率的曲线，圈中点是拍摄时位置。
作者: cxtwo    时间: 2013-11-21 10:44
本帖最后由 cxtwo 于 2013-11-21 10:45 编辑

成膜实况图，屏幕中右下角的5.93 24.5%是什么意思？
作者: MorningTech    时间: 2013-11-21 16:06
cxtwo 发表于 2013-11-21 10:44
成膜实况图，屏幕中右下角的5.93 24.5%是什么意思？

5.93 的意思是当前晶振片的谐振频率是 5.93MHz,
24.5%的意思是当前晶振片的阻力损耗值是 24.5%。
损耗值反应晶振片的谐振损耗，是XDM-3K专有的有用的一个参数。 ( 在晶振片的电学LCR等效回路中，电阻R就代表损耗。)

当前用绿色表示，说明晶振片损耗值处于一个良好状态。
作者: 诸葛流星    时间: 2013-11-22 14:07
看起来不错喔
作者: MorningTech    时间: 2013-11-22 17:03
MorningTech 发表于 2013-11-16 15:35
问：为什么在挡板打开一定时间内会出现负速率及负厚度？

这是成膜工艺带来的正常现象。挡板打开后，一方 ...

负速率及负厚度问题的来源，对所有成膜工艺都存在，只是值大小不同反应不同。
XDM-3K 有额外付费的  专利功能，就是解决这个现象对真实厚度影响的。
经常有超薄层(甚至10nm以下)的用户或愿意研究的可考虑，呵呵。
作者: MorningTech    时间: 2013-11-25 07:27
本帖最后由 MorningTech 于 2013-11-25 07:29 编辑
诸葛流星 发表于 2013-11-22 14:07
看起来不错喔


用起来也是不错的，呵呵。
上海膜林科技有限公司核心研发人员专业从事真空镀膜膜厚控制研究十多年，XDM-3K的功能是从镀膜工艺及操作实际出发而开发出来的。
虽然它操作简单，但性能绝不简单。
作者: 诸葛流星    时间: 2013-11-25 15:15
我福州的朋友有用你们的晶控，效果.....
作者: 诸葛流星    时间: 2013-11-26 08:21
诸葛流星 发表于 2013-11-25 15:15
我福州的朋友有用你们的晶控，效果.....

在控制精度上还和inficon的有一段差距啊
作者: MorningTech    时间: 2013-11-26 08:36
诸葛流星 发表于 2013-11-26 08:21
在控制精度上还和inficon的有一段差距啊

控制精度方面，如果以前是 用 xxx 的，在同一台机器上做对比，才能得出这样的结论。
如果这还是问题， 那么前面经某用户同意，提供的 成膜结果 就是弄虚作假了，额呵呵。

//镀膜人知道，成膜结果不是光靠晶控来得到的。



作者: 诸葛流星    时间: 2013-11-26 08:48
我也只是个外行人，不懂镀膜，只是和朋友聊天时的恼骚罢了，也许你们的晶控是顶级的。我也不想用老外的东西啊，没办法现在有的选择吗？但是就算你们的东西好，你要推广普及啊，要得到用户的认可啊，就目前看你们还没有正视你们用户的体验。
作者: MorningTech    时间: 2013-11-26 09:13
本帖最后由 MorningTech 于 2014-4-17 18:19 编辑
诸葛流星 发表于 2013-11-26 08:48
我也只是个外行人，不懂镀膜，只是和朋友聊天时的恼骚罢了，也许你们的晶控是顶级的。我也不想用老外的东西 ...


呵呵，恰恰相反，我们非常重视用户的反应。我们的推广，走的正是用户口碑。

作者: crl0129    时间: 2013-11-28 15:44
支持国产
作者: ZHJ7239    时间: 2013-11-30 17:21
作者: 风寒雪月缺    时间: 2013-12-4 10:32
作者: MorningTech    时间: 2013-12-8 20:16
MorningTech 发表于 2013-11-26 09:13
呵呵，恰恰相反，我们非常重视用户的反应。我们的推广，走的正是用户口碑。
你提到的福州用户，或是第三 ...

产品的价值不在于它卖多少钱，而在于它能为客户创造多少价值。
用户如遇什么疑问，请及时与供应商联系，解决不了的，可直接联系我们。
欢迎各位一起探讨石英晶体膜厚控制的常见现象及问题，以及石英晶体膜厚控制的原理性问题，甚或一些理论问题，呵呵。
也欢迎各位把在其它晶控仪上看到的问题与现象与我们分享。
帮助我们，帮助自己，帮助大家。
作者: MorningTech    时间: 2013-12-14 09:17
本帖最后由 MorningTech 于 2014-4-17 18:21 编辑

问：什么是挡板延迟？
XDM暂不支持挡板延迟，原因不明，呵呵。
作者: MorningTech    时间: 2013-12-16 15:33
本帖最后由 MorningTech 于 2014-4-17 18:21 编辑

问：什么是控制延迟？

成膜初始期间，晶控仪在打开蒸发源挡板后，将其功率保持在最后一个预熔阶段功率不变，直到一定延迟时间后才去自动控制蒸发源功率。这个延迟时间就是所谓的控制延迟时间。
作者: MorningTech    时间: 2013-12-25 16:50
问：什么是晶振片的阻力损耗？

我们知道，晶振片的振荡总会存在损耗，反映在电学上，就是晶振片等效回路中的电阻值（电阻耗能）。在XDM晶控仪中，以阻力损耗的形式表达晶振片回路的损耗状态。
晶振片与其安装电缆是串接至振荡包的，所以XDM中测量到的阻力损耗值不仅与晶振片自身的损耗值有关，还与安装电缆的连接状态有关。晶振片正常安装的情况下，其接触电阻小于1欧姆，所以XDM显示的阻力损耗值基本上代表了晶振片自身的损耗。
XDM 中，以百分比的形式给出晶振片的损耗值，并称之为阻力损耗。它是以晶振片回路断路下作为基准100%；晶振片回路短路情况下，损耗值在10%附近或更低(在<探头与接口>页面看到，此时频率显示-4980000.000)，当振荡包未连接，其值在0%附近。
阻力损耗作为XDM特有的参数，我公司已经为此申请了国家发明专利。
作者: MorningTech    时间: 2014-1-7 10:15
本帖最后由 MorningTech 于 2014-4-7 20:43 编辑

问：什么是使用晶振片原始速率控制？
晶控仪显示的速率，通常是包含了比例系数在内的。调整比例系数时，尽管显示速率不变，但晶振片控制的实际速率已经被同时改变。
作者: MorningTech    时间: 2014-1-21 12:48
本帖最后由 MorningTech 于 2014-4-7 20:44 编辑

什么是最大功率延迟?
答：为了抑制初始速率过冲而设的一个功能。
作者: rollo_tomasi    时间: 2014-1-24 09:49
你们的是几位晶控片？镀膜过程中更换晶振片如何让实现？
作者: MorningTech    时间: 2014-1-25 13:35
本帖最后由 MorningTech 于 2014-1-25 13:39 编辑

XDM-3K是晶控仪，只有一个Sensor接口，但可通过IO口接线、触摸屏界面点击切换 1,2,6探头。
探头切换分为单脉冲和双脉冲(单脉冲旋转及双脉冲带定位多探头)以及通断形式(双探头)，均可通过参数配置支持。这在安装时会调试好的。
//本公司暂不生产探头。

目前，层镀膜过程中不自动切换探头。如遇到晶振失效，可设置为自动停止镀膜。人工切换探头。
换层时可通过其他方式自动切换探头。
作者: MorningTech    时间: 2014-1-31 15:19
问：怎么手工控制功率，晶控仪只用于看速率和厚度？

  1.最简单的办法是，XDM的蒸发源功率控制不外接就可以了，让XDM干着急去；此时不应选择最大功率报警。
  2.将材料设为定功率方式，外接旋转编码器的两端子分别接至<功率增加><功率减少>两个输入功能，此种方式下，旋转编码器将以0.1%的步进值增加或减少输出功率。如再将输入功能<定功率/自动>接出至按钮(如旋转编码器)，则可以通过该按钮切换控制模式，看看手工与XDM到底谁控得更稳。
作者: MorningTech    时间: 2014-2-16 16:11
本帖最后由 MorningTech 于 2014-4-17 18:19 编辑

ITAE是什么意思？

XDM 速率控制是采取 PID方式的，只是在显示方法上如下区分:
若ITAE未勾选，显示和填写的是 P,I,D参数。
若ITAE勾选，  显示和填写的是 G,Tc,Dt参数，由XDM自动转换出 ITAE指标下的最优 PID 参数。

//再删
作者: MorningTech    时间: 2014-2-28 08:48
来个新鲜的成膜实拍：你能看出与前面的那张成膜实拍区别吗？呵呵

成膜照片_20140227_182830.JPG (111.11 KB, 下载次数: 52)

成膜照片_20140227_182830.JPG
作者: MorningTech    时间: 2014-3-3 21:56
附图是上次65层晶控成膜设计与测试结果。
无试验一次完成。

B65层晶控成膜.GIF (18.46 KB, 下载次数: 39)

65层成膜设计与结果

65层成膜设计与结果
作者: MorningTech    时间: 2014-3-19 18:49
MorningTech 发表于 2013-11-19 23:13
新鲜实拍成膜状态:

的确，膜层一多，输入膜系和核对得花费不少时间。
从电脑里向 XDM-3K 内导膜系的功能，只是目前上位机程序没有开发。

正在开发的功能是用 U盘 转存膜系。
谢谢关注。
作者: rollo_tomasi    时间: 2014-3-20 09:00
没有采用光控，单纯晶控的话，Tooling值得变化岂不是很让人头疼，炉次与炉次的重复性怎么保证？尤其是高精度的滤光片！
作者: MorningTech    时间: 2014-3-20 09:55
本帖最后由 MorningTech 于 2014-4-7 20:46 编辑
rollo_tomasi 发表于 2014-3-20 09:00
没有采用光控，单纯晶控的话，Tooling值得变化岂不是很让人头疼，炉次与炉次的重复性怎么保证？尤其是高精度 ...


晶控与非在线光控一样，都是属于间接控制，它是被动测量。比例系数的变化对它们控制结果的影响都是不可忽视的。
产品重复性是靠工艺细节来保证的。
作者: gb936    时间: 2014-3-21 07:21
很执着
作者: otxtc    时间: 2014-3-21 20:07
本帖最后由 otxtc 于 2014-3-22 09:11 编辑

123456
作者: cxtwo    时间: 2014-3-31 10:21
借问一下，挡板打开后，速率上下浮动较大，要过一会才能稳定 怎么办？
作者: optixlt    时间: 2014-3-31 11:02
诸葛流星 发表于 2013-11-26 08:48
我也只是个外行人，不懂镀膜，只是和朋友聊天时的恼骚罢了，也许你们的晶控是顶级的。我也不想用老外的东西 ...

对国货应该有一份宽容，声明一下:我不是该公司的托，也还不认识该公司的一个人....
作者: MorningTech    时间: 2014-3-31 12:45
optixlt 发表于 2014-3-31 11:02
对国货应该有一份宽容，声明一下:我不是该公司的托，也还不认识该公司的一个人....

谢谢。我们对产品的质量是非常有信心的，呵呵。
那个用户仍未取得过联系，中间商也不方便透露情况。或是因为我们机器还不为大家熟悉，用户不太会使用我们的机器。
到现在为止，其他用户没有反应比进口差的，呵呵。

今年，我公司将加大宣传力度，通过我们的产品让大家对国产机器重新树立信心，绝不比进口的差。

有兴趣的可以来上海松江我们公司，顺便看看用户实际镀膜情况。他们在实际生产中，是把Ix6及x60换下用我们的产品。前面的贴图都来自他们公司的真实数据。

小吹一下，如果你没接触过 XDM 晶控仪，即使你做过很多年镀膜工艺，这里面也许还会有些东西是你感兴趣的。 有的是你想到的，但现有其他仪器未实现的。也会有你没仔细想过，但我们想到并通过机器实现的。
如果你有什么新的好的想法，可以与我们研发人员沟通。给我们好的建议也是帮助我们进步。

作者: rollo_tomasi    时间: 2014-3-31 13:01
不论如何，就冲楼主的这份坚持与耐心，大家就应该给个赞。希望以后有机会能真正接触到你们的晶控仪，那将是我的荣幸！
作者: MorningTech    时间: 2014-3-31 13:10
cxtwo 发表于 2014-3-31 10:21
借问一下，挡板打开后，速率上下浮动较大，要过一会才能稳定 怎么办？

初始速率浮动大，后来小，并趋于稳定，可能是起始振荡。
可以将 P 系数 调小点，并将 最大功率调到正常功率略高一些。

//前几天刚跟一个QQ上的朋友交流过这个问题，x10， 他是调低些最大功率，就稳定些了。
//分析：初始挡板打开，此时速率并不真实，其值甚至为负， 晶控仪 会根据PID算法，加到很大功率来试图 调整到设定速率，很容易到达最大功率。 如果最大功率被设的很大，  速率马上又变得远超过 设定速率， 晶控仪又很快的降低功率。  因为中间夹杂着 延迟，温度效应等，使得会产生一段时间速率振荡(功率在上下浮动！)。  
   这在蒸发SiO2上是容易模拟出来的。

  另外，降低 P 系数的作用，就是让晶控仪调节慢一点。

除上面所说，如果是我们的XDM晶控仪，还有几个手段都可以让 初始速率上升更平稳的，呵呵。可以看看前面贴图。


作者: MorningTech    时间: 2014-4-7 21:09
借这个贴子，问下大家对晶控仪的看法，什么样的晶控仪是你想要的，现有晶控仪有什么需要改进的地方，等。
作者: zouyou828459    时间: 2014-4-8 21:29
博士你好，我现在用的是INFICON的IC6膜厚控制仪，为什么高折射材料H4和低折射材料SIO2的蒸镀速率稳定性相差那么大啊，当镀H4时速率很稳定，而镀SIO2时速率控制不了，别外这两种材料都有PID控制环，增益也是按说明设为10.0埃/秒/%,虽然我用的膜厚仪不是你的XDM-3K,因为你是晶控仪的专家所以想向你寻求点帮助,我要怎样设置材料参数才能 使SIO2的速率稳定住呢.
作者: rollo_tomasi    时间: 2014-4-9 08:10
你需要首先排除电子枪、膜料、速率和功率的问题，再去排除PID的问题！
作者: MorningTech    时间: 2014-4-9 09:03
本帖最后由 MorningTech 于 2014-4-17 18:18 编辑

如楼上所说，先排除硬件问题。方便的话，请将SiO2控制时的图片拍下来，还有SiO2的 控制延迟，最大功率、预熔阶段参数、G，Tc,Td参数。

//第三删
作者: zouyou828459    时间: 2014-4-10 21:55
博士，多谢你的精辟讲解！我看了受益匪浅，对了还有个现象我没说清楚，当我连续用一个晶振片镀了两炉以上，晶振寿命下降后，再继续用的话，如果我选定膜系并打开蒸发自动控制开关但还没开始镀膜，这时有个现象我不理解，就是当这个膜系的第一层是SIO2则速率跳动很大，而如果第一层是别的材料则速率基本上不会跳动，等真到镀膜时镀SIO2速率就波动很大，但我就是不知道为什么会出现上面那种现象，还望你能给我及所有镀膜人员传授一下你的妙论呢
作者: MorningTech    时间: 2014-4-11 09:03
本帖最后由 MorningTech 于 2014-4-17 18:17 编辑

1. 使用过的晶振片暴露大气中。
2. 未正式成膜时，速率跳动不同。 是因为，速率是按照当前层材料来计算的。
XDM-3K晶控仪首页就有个 晶振片损耗指标，并以颜色区分显示，可直观的看到此时，应该是损耗值变大了。
//第二删
作者: zouyou828459    时间: 2014-4-11 21:16
MorningTech 发表于 2014-4-11 09:03
1. 使用过的晶振片暴露大气中，所镀膜层由于疏松而吸附水汽，表面或也会吸附些粉尘，甚至水冷过头而在表面产 ...

多谢！哈哈你说的这么仔细，我将会去看说明书慢慢理解的，谢谢了！
作者: MorningTech    时间: 2014-4-11 22:30
本帖最后由 MorningTech 于 2014-4-17 18:14 编辑
zouyou828459 发表于 2014-4-11 21:16
多谢！哈哈你说的这么仔细，我将会去看说明书慢慢理解的，谢谢了！


看说明书是必须的。

//我会择日删除我回的一些谬论，以免误导更多人，呵呵。
//第一删
作者: zouyou828459    时间: 2014-4-12 21:07
MorningTech 发表于 2014-4-11 22:30
看说明书是必须的。
那个ITAE指标，要弄清楚怎么根据现象去调参数，还真比较困难。你学会调整的时候，不 ...

呵呵，我懂得，谢谢！
作者: MorningTech    时间: 2014-4-14 22:30
接帖子 < 关于tooling与TFC中group的方法>
在晶控仪中， 材料的比例系数即Tooling的定义为  
     真实Tooling = 样品材料层厚度/晶振片材料层厚度                                 ....<1>
样品即用户的产品，通常为玻璃片，样品厚度是指 样品上测量出来的 材料厚度。
这里的晶振片材料层厚度是指 晶振片上真实记录的 物理厚度，用户是看不到的(除非Tooling=100%)，不是指晶控仪显示厚度！

Tooling就是为了让晶控仪显示厚度(设计厚度) 等于 样品实际厚度的，于是，晶控仪显示厚度是包含了Tooling的!
     晶控仪显示厚度(即设计厚度) = 晶振片材料层厚度 * 设定Tooling    ....<2>

由1,2式可见，如果设定Tooling 等于 真实 Tooling值，那么 晶控仪显示厚度(设计厚度) 就与 样品材料层厚度一致了。

虽然定义简单，但修正时的式子理解起来稍有点绕人，现略述如下

假定第一次设定 Tooling值为 T1，设计值为100nm，如果样品材料层厚度为 90nm(取下后测量出的)，
则    真实Tooling = 样品材料层厚度 / 晶振片材料层厚度                      ...根据定义式 <1>
                           =  样品材料层厚度/(设计厚度/设定Tooling)               ...代入 <2> 式
                          = 设定Tooling  * 样品材料层厚度/设计厚度               
                          = T1 * 90nm/100nm
                          =90%     (假定第一次设定Tooling T1 = 100%)

好了，将第二次Tooling改为 90%，再重复一次实验，假定真实Tooling不变，设计值仍然是 100nm。
晶振片上记录的材料层厚度 =  设计厚度/ 设定Tooling = 100nm/90% = 111.11 nm       ...根据<2>
而样品材料层厚度 = 111.11nm * 90% = 100nm  = 设计厚度                                        ...根据<1>

你记住没有？反正我是记不牢，在此写下也方便日后查询，呵呵。
作者: MorningTech    时间: 2014-4-20 20:49
实践证明 晶振片阻力损耗 参数还是是非常好用的，呵呵。 (专利技术)
作者: MorningTech    时间: 2014-4-25 07:27
MorningTech 发表于 2014-4-20 20:49
实践证明 晶振片阻力损耗 参数还是是非常好用的，呵呵。 (专利技术)

情形是这样的：
用户安装新晶振片，发现<频率：阻力损耗>显示颜色为红，取下来检查是晶振片有问题，换一片OK。
作者: MorningTech    时间: 2014-4-28 12:42
MorningTech 发表于 2014-4-25 07:27
情形是这样的：
用户安装新晶振片，发现显示颜色为红，取下来检查是晶振片有问题，换一片OK。

有朋友说 2台 3x0显示 频率为 0。昨天带着我公司的XDM-3K及虚拟探头，过去检查一下，都是探头及电缆问题。
问题虽不大，但影响生产及实验，最近还有好几位这样的朋友咨询。
特小结一下：
1.  如果没有频率，一般是 探头及电缆连接 有 短路或断路 这样的问题，这次两个都是断路，只是位置不同；
     接 XDM-3K，显示损耗值 在 100%附近，显然是 断路。
     补充说明：XDM-3K就是以断路做基准100%的。 显然，如果是短路，则损耗值将显示为小量。这在探头维护时作用非常明显，呵呵。
2.  速率异常，问题复杂，得具体分析；
2.  晶控仪自身不容易坏。

作者: 镀膜人101    时间: 2014-5-3 04:05
你们的仪器能通过电脑控制，记录吗？ 看你前面现实的曲线，应该是有的吧？你的网站上有什么软件能下载用来控制你的晶控仪啊？
作者: 镀膜人101    时间: 2014-5-3 04:07
MorningTech 发表于 2014-4-20 20:49
实践证明 晶振片阻力损耗 参数还是是非常好用的，呵呵。 (专利技术)

这个晶振片阻力损耗到底是怎么算的啊？
作者: MorningTech    时间: 2014-5-3 10:27
镀膜人101 发表于 2014-5-3 04:07
这个晶振片阻力损耗到底是怎么算的啊？

阻力损耗是由硬件电路来测量，并由软件来计算出来的。它反映的是探头和晶振片的整体情况。
将晶振片Holder取走的时候的测量值做为 基准100%（ 此时探头回路断路或称为开路）。

正常时探头连接良好，它就代表了晶振片的自身损耗大小。
晶振片不良或探头回路接触不良时，此值会偏大，甚至会到100%附近；反过来，当短路时，此值会很小。


作者: MorningTech    时间: 2014-5-3 10:41
镀膜人101 发表于 2014-5-3 04:05
你们的仪器能通过电脑控制，记录吗？ 看你前面现实的曲线，应该是有的吧？你的网站上有什么软件能下载用来控 ...

能通过电脑控制，目前提供通信方式是串口。
此款晶控仪功能强大，可单独进行全自动多层膜镀膜。且带内部DataLog功能，每层的数据记录一次，1000多层空间循环记录。

暂未对外提供控制软件。
如果用户自己开发镀膜机软件控制，可提供它的VC软件通信例程。
如果用户仅仅需要实时记录数据，可与我们联系。

用户的需求就是我们的追求。
作者: 镀膜人101    时间: 2014-5-5 20:09
MorningTech 发表于 2014-5-3 10:41
能通过电脑控制，目前提供通信方式是串口。
此款晶控仪功能强大，可单独进行全自动多层膜镀膜。且带内部 ...

实时记录数据是和晶控仪同步的吗？如果是1秒10个数据的话， 电脑实时记录也是吗？晶控仪的实时记录有没有取平均啊，也是1秒10个数据吗？
我知道有些晶控仪能达到1秒20个数据，但是真正记录的时候是达不到的，只能记录比如1秒4个数据，这样的话，这个噪音测量就相应缩小，但这个只是假象啊。
作者: MorningTech    时间: 2014-5-6 15:00
本帖最后由 MorningTech 于 2014-5-6 15:09 编辑
镀膜人101 发表于 2014-5-5 20:09
实时记录数据是和晶控仪同步的吗？如果是1秒10个数据的话， 电脑实时记录也是吗？晶控仪的实时记录有没有 ...


XDM-3K 没有实时记录数据功能。

在每层<停止>时刻  记录下  该层 的  成膜时刻、停止时频率、停止时晶振片损耗、镀制厚度等一些基本参数。
另外，在系统掉电(如遇停电) 时， 也作了和停止时刻同样的记录动作。 再次上电开机时，晶控仪会 自动识别出  前次停电的数据，并将其读入 系统， 用户只需 按 <继续>  （<开始>键同一位置，中途停止后字面变为<继续>） 即可完成连续成膜动作了。

XDM-3K 的频率更新速率  每秒10次，输入输出的更新速率也是同样。

本公司暂未提供电脑(上位机)记录数据的软件。晶控仪有 串口通信接口， 速率为 115200或9600可设定。
用户编程时， 可通过电脑串口 发送频率查询 等命令，以实时掌握 晶控仪的状态。  
要说明的是， 每次查询的都是当前的状态。   用户程序可以每秒完成的 查询命令 由用户编程 及串口通信速率决定，但每秒超过10次的话，意义就不大啦，因为肯定会查到同样的 状态。

注： 会择时 删除一些 较详细 的解说和介绍。
有甚高膜厚控制要求(超薄层、敏感层等)或其他研究级别的问题，也可以通过其他方式进行 双向沟通，也非常欢迎把您的想法与建议与我们分享，谢谢。
作者: MorningTech    时间: 2014-5-8 07:29
镀膜人101 发表于 2014-5-5 20:09
实时记录数据是和晶控仪同步的吗？如果是1秒10个数据的话， 电脑实时记录也是吗？晶控仪的实时记录有没有 ...

数字平均类似于电路上的低通滤波，是各类仪器提高信噪比的主要措施之一。比如光控，锁相上有个时间常数，一般选0.3秒，它的含义跟平均差不多。多长时间合适看具体应用。

顺便问一下，哪款晶控仪每秒出20个数据?  多见的是10和4。

作者: 镀膜人101    时间: 2014-5-8 23:30
MorningTech 发表于 2014-5-8 07:29
数字平均类似于电路上的低通滤波，是各类仪器提高信噪比的主要措施之一。比如光控，锁相上有个时间常数， ...

inficon的ic6好像是每秒20个数据，但是软件记录每秒4个数据，如果我没有记错的话。 但是10个也已经足够啦，对大多数用户来说，每秒一个都不会有怨言了  ：）
作者: 镀膜人101    时间: 2014-5-8 23:42
MorningTech 发表于 2014-5-6 15:00
XDM-3K 没有实时记录数据功能。

在每层时刻  记录下  该层 的  成膜时刻、停止时频率、停止时晶振片 ...

本公司暂未提供电脑(上位机)记录数据的软件。晶控仪有 串口通信接口， 速率为 115200或9600可设定。
用户编程时， 可通过电脑串口 发送频率查询 等命令，以实时掌握 晶控仪的状态。  
要说明的是， 每次查询的都是当前的状态。   用户程序可以每秒完成的 查询命令 由用户编程 及串口通信速率决定，但每秒超过10次的话，意义就不大啦，因为肯定会查到同样的 状态


1。 你们准备提供记录数据的软件吗?
2.   用户编程时， 可通过电脑串口 发送频率查询 等命令-------看到朋友用labview编程呢，能和贵公司的仪器握手，记录数据，比如膜厚，沉积速率等等，但是用了说明书里的取’阻力损耗‘的命令，返回不了阻力损耗值啊？是不是说明书错了？ （这个问题太具体了，哈哈）
3.  用户程序可以每秒完成的 查询命令 由用户编程 及串口通信速率决定-----完全同意

贵公司产品还是很了不起的。衷心祝福产品更完善更畅销。
作者: MorningTech    时间: 2014-5-9 11:38
镀膜人101 发表于 2014-5-8 23:42
本公司暂未提供电脑(上位机)记录数据的软件。晶控仪有 串口通信接口， 速率为 115200或9600可设定。
用 ...

1.
本司暂未提供上位机记录数据，是因为：
晶控仪已经能够独立完成全自动成膜了。如果只单独记录数据，而不做其它自动控制的话，要浪费镀膜机一台电脑。 如果镀膜机配了电脑，那么相应就会配自动控制软件， 这种软件通常也应带 数据记录功能，而且会因为与其它状态同步记录，比如真空度，光控信号，这样的数据更有意义。(在此，也提醒用户，要善于从数据记录中发现问题)
晶控仪内部的单层 Datalog也能反映出不少现象。
如果用户真有这样需求，也不妨与我们分享您的想法，我们以后或会推出。

2. 取不了阻力损耗值？请与我司取得联系，以解决这个问题。
或因为产品推出时间不很久，并未完全定型，还在不断根据用户的新需求增加新功能，说明书与版本之间或有不对应的现象，很抱歉。这是以后要注意的，谢谢提醒。

3. 谢谢鼓励，我们会继续做得更好的。
作者: MorningTech    时间: 2014-5-11 16:57
镀膜人101 发表于 2014-5-8 23:30
inficon的ic6好像是每秒20个数据，但是软件记录每秒4个数据，如果我没有记错的话。 但是10个也已经足够啦 ...

据其说明书:  IC6频率分辨精度  +/-0.0035Hz @ 100ms，也是1秒钟10个有效数据。
作者: yuliang518    时间: 2014-5-12 03:49
作者: cxtwo    时间: 2014-5-12 08:42
yuliang518 发表于 2014-5-12 03:49

请不要无实质内容的顶，这样不利于最近讨论帖子的队形。
想涨经验值，请去 <新手灌水区>。
对某些主题关心，可以使用搜索功能。
作者: yuliang518    时间: 2014-5-14 20:35
不好意思，谢谢
作者: MorningTech    时间: 2014-5-17 21:24
MorningTech 发表于 2014-5-11 16:57
据其说明书:  IC6频率分辨精度  +/-0.0035Hz @ 100ms，也是1秒钟10个有效数据。

新增 <公用挡板>功能，用于两个不同位置蒸发源共用一个挡板，一个关一个开，反之亦然。
当某材料选用 <公用挡板> 时， 源挡板将不再动作。 指派的<公用挡板> 继电器将非成膜时按照 常开/常闭选项，成膜过程中状态为闭合/断开。
//MorningTech 系列晶控仪 输入输出接口 不用编辑逻辑 语句，直接 点击分派。 安装时，不需说明书，在 配置页面能看到 管脚号与逻辑端口号对应关系。
作者: MorningTech    时间: 2014-5-20 21:55
MorningTech 发表于 2014-5-17 21:24
新增 功能，用于两个不同位置蒸发源共用一个挡板，一个关一个开，反之亦然。
当某材料选用  时， 源挡板 ...

使用公用挡板的方法：
配置：
1. 在 <材料> 第2页面，不勾选 "源/公用挡板" *
   当公用挡板动作时，其动作将按   "常开/常闭"选项来定。
2. 在 <配置参数> 第3页面（继电器输出配置），任意点击一个继电器号，例如1号继电器，选择其功能为"公用挡板"。
   在页面中有提示，对XDM-3K，1号继电器 对应 IO1的 (14,15)两引脚，也对应 IO2的(2,21)两引脚。IO1,与IO2的引脚之间是并联的，任意接一组即可。
*注：在晶控仪中， 有反斜线  '/' 的单选项 ，勾选时，'/' 之前的文字有效；不勾选，则'/'之后文字有效。

连线：
任选IO1或IO2，此处例如 IO1(DB37)，买来DR母头37孔接头，分别焊接 14,15两脚至 挡板开关两侧。

其他功能连接类似。

以上
作者: MorningTech    时间: 2014-7-7 09:20
XDM-3K新增 U盘导入膜系功能。
作者: aliluya135    时间: 2014-7-7 12:47
现今，印制电路板已成为绝大多数电子产品不可缺少的主要组件。单、双面印制板在制造中是在基板材料-覆铜箔层压板(Copper-(2lad I。aminates，CCI。)上，有选择地进行孔加工、化学镀铜、电镀铜、蚀刻等加工，得到所需电路图形。另一类多层印制板的制造，也是以内芯薄型覆铜箔板为底基，将导电图形层与半固化片(Pregpr’eg)交替地经一次性层压黏合在一起，形成3层以上导电图形层间互连。因此可以看出，作为印制板制造中的基板材料，无论是覆铜箔板还是半固化片在印制板中都起着十分重要的作用。它具有导电、绝缘和支撑三个方面的功能加工性、制造成本、制造水平等，在很大程度上取决于基板材料 。
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作者: 镀膜人101    时间: 2014-7-10 20:00
MorningTech 发表于 2014-5-11 16:57
据其说明书:  IC6频率分辨精度  +/-0.0035Hz @ 100ms，也是1秒钟10个有效数据。

你是对的。我高错了。

你们的rate的分辨精度需要提高啊，不是批评，是鼓励。rate精度不高，给用户一个错误的感觉：镀膜真稳定啊。 但是其实一些rate的起伏没有被真实的显示出来而已


我有两个问题啊：
1：从振荡包到晶震片，最长的BNC cable长度对你们这个XDM-3K是多少啊?
2: 从晶控仪到振荡包，连接电缆由仪器附带,这个长度是4-4。5m, 你们提供其他长度吗？

谢谢啊 ！
作者: MorningTech    时间: 2014-7-11 10:36
标题: RE: 晶控仪XDM-3K
镀膜人101 发表于 2014-7-10 20:00
你是对的。我高错了。

你们的rate的分辨精度需要提高啊，不是批评，是鼓励。rate精度不高，给用户一个 ...

居然让您给找到这里来了，有心人啊。
谢谢鼓励。
XDM-3K 内部频率分辨率为 0.005 Hz,   按 0.1 出 1个数据， 则能达到 0.005Hz/0.1Sec = 0.05 Hz/Sec. 若按 镀SiO2来算，大约 为0.02A/Sec 精度。   // 这其实只有计算意义，0.02A，原子还没铺满一层。
对外 虽然为0.1A/Sec显示精度，但内部PID计算时并未截掉后面的小数，在显示图形时也是没有截小数的。所以会看到，有时同样的显示数值，对应图形却分离。
对于成膜，通常 10%的速率偏差足以应对。
//某低端进口晶控x1x，显示分辨率达到 0.01A/Sec，据其原理，水分太大。 其对外表现甚至超过ixx，稍想想，可能吗。
//再看x6x，您觉得它的那种连续变化正常吗？ 更多的是显示技巧，而不是真实值。
目前，我们觉得，再提高频率分辨率，意义不明显，一是镀膜过程的天然涨落特点，另一是物理意义方面。

当然，如果低速蒸发高密度膜料，0.1A/Sec显示分辨率略显不足，如果您需要更高的显示分辨率，可与我们联系。
//不过您可放心的是，那只是显示值而已，内部计算的精度仍是0.005Hz。

对于射频线长度， 最大可支持 2m；
振荡包到主机的长度，通常的为 4.5m， 在1.5米机器上够用，当然还看您走线。 长度可预定。






作者: 镀膜人101    时间: 2014-7-11 20:22
MorningTech 发表于 2014-7-11 10:36
居然让您给找到这里来了，有心人啊。
谢谢鼓励。
XDM-3K 内部频率分辨率为 0.005 Hz,   按 0.1 出 1个数 ...

谢谢！
0.02A/s 的精度比0。1A/s要好多了，如果实际精度达到了 0.02A/s，那为啥对外只显示0。1A/s啊？ 我只是好奇啊，精度越高不是越好吗？

作者: MorningTech    时间: 2014-7-11 21:19
镀膜人101 发表于 2014-7-11 20:22
谢谢！
0.02A/s 的精度比0。1A/s要好多了，如果实际精度达到了 0.02A/s，那为啥对外只显示0。1A/s啊？  ...

沿用了中高档晶控的显示精度, 同时也是为了好看点, 呵呵.
实际控制膜层厚度时,最小分辨率仍为 0.002A,  所以用户不需要对膜层 按 A 取整,直接填入设计值即可.
作者: 镀膜人101    时间: 2014-7-14 21:30
MorningTech 发表于 2014-7-11 21:19
沿用了中高档晶控的显示精度, 同时也是为了好看点, 呵呵.
实际控制膜层厚度时,最小分辨率仍为 0.002A,  ...

我明白啦   ：）  谢谢
作者: aliluya135    时间: 2014-7-19 16:06
1，单双面板 5*5CM以内的，pcb打样50元/款；
2. 单双面板10*10CM以内的，pcb打样100元/款；
3. 多层板 10*10CM以内的，pcb打样500元/款。
以上报价工艺为：FR－4，绿油白字，有铅喷锡工艺，数量为10片内，材料均采用建滔KB顶级板材，样板免费全测！
4.单面纸板（94V0）样板，半玻纤，铝基板 小批量生产
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作者: MorningTech    时间: 2014-7-20 07:05
XDM-3K 的阻力损耗 可用于在线探头检测，
7月14日去嘉兴帮朋友 检测 3x0没有频率， 阻力损耗值大显身手。

作者: MorningTech    时间: 2014-8-2 08:53
MorningTech 发表于 2014-7-20 07:05
XDM-3K 的阻力损耗 可用于在线探头检测，
7月14日去嘉兴帮朋友 检测 3x0没有频率， 阻力损耗值大显身手。 ...

作者: MorningTech    时间: 2014-8-20 17:17
本帖最后由 MorningTech 于 2014-8-24 06:36 编辑
optixlt 发表于 2014-3-31 11:02
对国货应该有一份宽容，声明一下:我不是该公司的托，也还不认识该公司的一个人....


更有意思的是，本公司出厂的晶控仪，当初只有一台的最终用户不清楚下落，所以，那个朋友提到的  反映 上海 晶控仪精度 不如xx 什么的，也不能确定是不是我们的用户。 经过对所有已知最终用户的回访，没有一家如那位朋友描述。

现在，基本断定那位朋友 描述的 晶控仪 不是 我们上海膜林的 产品,呵呵，呵呵，呵呵。
作者: MorningTech    时间: 2014-9-25 08:56
应客户需求，新增 膜系选择输入功能。
输入有效时，由其二进编码值决定；
无效时，由<运行参数>指定。
作者: MorningTech    时间: 2014-10-4 09:11
MorningTech 发表于 2014-9-25 08:56
应客户需求，新增 膜系选择输入功能。
输入有效时，由其二进编码值决定；
无效时，由指定。

作者: MorningTech    时间: 2014-10-20 07:51
第三届 2014.10.20~24同济大学第3届光学薄膜前沿国际会议
本公司与您相约 10.22 17:10~18:10 PII-4
作者: MorningTech    时间: 2014-11-6 11:37
晶控仪 更添加了 频率自检功能，配合阻力损耗功能为晶振异常提供完备的诊断手段。
速率异常，等等。
作者: MorningTech    时间: 2014-12-6 16:37
全自动控制，石英晶体膜厚控制仪。
从高端应用到低端应用，都能得心应手。
好东西!
作者: MorningTech    时间: 2015-3-11 12:52
2015深圳光博会 09.02-09.05
上海膜林科技有限公司 预期展位 7F43
作者: MorningTech    时间: 2015-4-2 21:22
MXC-3K晶控仪与XDM-3K同属一个系列。
性能优异。



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