光电工程师社区

标题: 南光机真空问题 [打印本页]

作者: wdydede 时间: 2014-1-1 14:33
标题: 南光机真空问题
2002年的南光机，2X-70机械泵+扩散泵，总是有这样的现象：低真空抽到20-10Pa，就抽不动了，有时还有真空度越抽越不好，此时停一下机械泵，低真空很快就抽到能开高阀了，高真空还行。请问这该如何处理？

作者: zao 时间: 2014-1-2 15:52

悲剧

作者: wdydede 时间: 2014-1-5 12:45
请各位大侠不吝赐教！！

作者: Jimmy_tang 时间: 2014-1-8 13:24
是不是该换一下真空泵的机油了？你看看机油的颜色是否正常。

作者: wdydede 时间: 2014-2-3 20:48
有南光的人没有？

作者: 苏州膜头 时间: 2014-2-5 22:25
查一下机械泵的放气阀，电磁阀，不行的时候测管道，机械泵泵口真空。

作者: jingxiaobao 时间: 2014-2-25 16:51
同意楼上的说法，如果是这样的话，先测量一下管道的真空，多测几次，就能找到原因的，我觉得你看看低阀是不是有串气的现象。

作者: rollo_tomasi 时间: 2014-2-25 16:54
太老了啊，花点钱换一个！

作者: 苏州膜头 时间: 2014-2-25 20:11
10帕-20帕肯定是漏气啊，慢慢查吧。首先确定是前级管道还是真空室漏气。新的机械泵只能是泵口真空达标，不能代表什么。元旦到现在还没有好，你要崩溃了。

作者: wdydede 时间: 2014-2-25 22:02
我个人的判断不应是真空室漏，因为能抽到高真空，机械泵的放气阀，电磁阀等均检查维修了，也不见好转，

作者: rollo_tomasi 时间: 2014-2-27 08:00
你的机器没有装配罗茨泵？

作者: rollo_tomasi 时间: 2014-2-27 08:07
低真空抽到20-10Pa，可能就是你的机械泵的极限真空，在10Pa和10E-2Pa之间的真空度，机械泵和扩散泵的效率都很低，做好加装一个罗茨泵！
但你是突然出现的问题，应该与罗茨泵无必然关系，检查一下机械泵和低阀的管道吧！

作者: 苏州膜头 时间: 2014-2-27 21:10

wdydede 发表于 2014-2-25 22:02
我个人的判断不应是真空室漏，因为能抽到高真空，机械泵的放气阀，电磁阀等均检查维修了，也不见好转，

兄弟啊能抽到高真空不代表不漏气。
判断应该有指标，比如泵口多少真空度，管道又是多少真空度，扩散泵腔体，扩散泵泵口又是多少真空度？
如果一直是10帕到20帕那漏气比较大，可以用笨办法排除法（公转拆了用堵头堵上，不行再把坩埚拆了用堵头堵上，再不行把电子枪拆了用堵头堵上），应该很快能找到。
如果不是，就等出故障时，仔细测量，确定故障大概位置，再仔细排除。
祝你早日搞定，同情中。。。。

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)