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标题: 关于tooling与TFC中group的方法、 [打印本页]
作者: xiaohuilee    时间: 2014-2-16 14:06
本主题需向作者支付 2 元光电贝 才能浏览
作者: lkwxp    时间: 2014-2-17 19:52
这也有人买。自己试着算一下，不就出来了。
作者: WEI爱依旧    时间: 2014-2-17 22:09
作者: WEI爱依旧    时间: 2014-2-19 21:02
作者: qxb2008    时间: 2014-2-28 09:48
tooling值后期都是要从设计值到膜厚控制仪的，一般都是tooling=实际厚度/设计厚度。这样方便后期使用。
作者: coaterxf    时间: 2014-2-28 11:33
Group=1/tooling
作者: yuvia_ye    时间: 2014-4-1 13:06
作者: lovemannyzhu    时间: 2014-4-2 20:50
作者: xiaohuilee    时间: 2014-4-13 19:53
qxb2008 发表于 2014-2-28 09:48
tooling值后期都是要从设计值到膜厚控制仪的，一般都是tooling=实际厚度/设计厚度。这样方便后期使用。

其实每个人的使用方法都不一样的。我见过一个竟然每层的tooling都不一样。不可思议吧。
作者: xiao2011    时间: 2014-4-14 19:18
作者: MorningTech    时间: 2014-4-14 21:29
xiaohuilee 发表于 2014-4-13 19:53
其实每个人的使用方法都不一样的。我见过一个竟然每层的tooling都不一样。不可思议吧。

tooling变化大吗？
作者: MorningTech    时间: 2014-4-14 22:28
再回复一下，把送出去的银子赚回来，呵呵。
以下关于 Tooling 的回复 转帖 至 <晶控仪XDM-3K>，呵呵。
作者: xiaohuilee    时间: 2014-4-15 16:48
MorningTech 发表于 2014-4-14 21:29
tooling变化大吗？

挺大的   不过我也没有弄懂为什么  我用tooling都是固定的，设计/实际 呵呵
作者: MorningTech    时间: 2014-4-15 22:18
xiaohuilee 发表于 2014-4-15 16:48
挺大的   不过我也没有弄懂为什么  我用tooling都是固定的，设计/实际 呵呵

大家平常是将Tooling设为100%，直接改设计厚度。还是设计厚度不变，改Tooling?
作者: tfc    时间: 2014-4-17 16:27
lee，你就谈你的好了，其他别说远了吧。。。
作者: MorningTech    时间: 2014-4-17 18:01
tfc 发表于 2014-4-17 16:27
lee，你就谈你的好了，其他别说远了吧。。。

fan总出来扶楼了，呵呵。
作者: xiaohuilee    时间: 2014-4-17 19:06
tfc 发表于 2014-4-17 16:27
lee，你就谈你的好了，其他别说远了吧。。。

呵呵  我跑题了  范工 好久不见啊
作者: tfc    时间: 2014-4-18 14:17
xiaohuilee 发表于 2014-4-17 19:06
呵呵  我跑题了  范工 好久不见啊

嗯，现在不大上网，现在好吧
作者: tfc    时间: 2014-4-18 14:19
MorningTech 发表于 2014-4-17 18:01
fan总出来扶楼了，呵呵。

别这样说，我也没有总坐在家啊
作者: xiaohuilee    时间: 2014-4-18 15:44
tfc 发表于 2014-4-18 14:17
嗯，现在不大上网，现在好吧

现在还行  我说怎么好久都没有看到您来了 还要多向您学习呢
作者: rollo_tomasi    时间: 2014-4-18 16:56
MorningTech 发表于 2014-4-15 22:18
大家平常是将Tooling设为100%，直接改设计厚度。还是设计厚度不变，改Tooling?

这个，看个人习惯吧，也看实际情况咯！
比如说，你的机器用TiO2和SiO2镀400-1500nm之间的各种带宽的不同膜系，你肯定会设定很多程序，但是材料也许就一个材料名字下的各项参数（充氧量、电子枪功率等）已固定，当然是采用固定Tooling，然后更改每个膜系的镀膜厚度要方便，这样，只需要选择程序就OK；否则每镀一个膜系，就要更改一次TiO2的Tooling值，岂不是很麻烦。或者你建很多不同名字的TiO2材料，对应不同的Tooling值。以上两种，那个方便，自己选择吧！
作者: 宇宙深处    时间: 2014-4-18 18:38
xiaohuilee 发表于 2014-4-13 19:53
其实每个人的使用方法都不一样的。我见过一个竟然每层的tooling都不一样。不可思议吧。

这应该是对的。每一层都在不同真空度下（或者不同氧压下）成膜，折射率会有些差异的。而设计值是设定参数下得出的。只是其误差很小，一般膜系设计不会考虑。
作者: MorningTech    时间: 2014-4-19 16:13
宇宙深处 发表于 2014-4-18 18:38
这应该是对的。每一层都在不同真空度下（或者不同氧压下）成膜，折射率会有些差异的。而设计值是设定参数 ...

同意每层都在变的说法。
但是 要在设计时就能弄清楚每层会变化 多少，不是一般的难，更像是 事后 摸索出来的。

作者: 獨抹①丗仺涼    时间: 2014-4-24 11:09
我不知道怎么计算  知道实际除以理论但是怎么看怎么算妹妹个师傅教我
作者: xiaohuilee    时间: 2014-4-24 19:25
獨抹①丗仺涼 发表于 2014-4-24 11:09
我不知道怎么计算  知道实际除以理论但是怎么看怎么算妹妹个师傅教我

镀膜出来之后测试曲线，将测量出来的结果带入TFC软件中，加入你设计的曲线是400nm，测试的结果曲线不能和设计曲线重合，那就更改厚度使其重合，重合后的厚度就是实际厚度，这个时候你就把设计厚度除以实际厚度，既400/实际厚度即可，明白了吧
作者: 吉喵    时间: 2014-8-2 17:22
学习学习
作者: 努力9080    时间: 2014-8-2 23:15
了解
作者: 吉喵    时间: 2014-8-3 13:28
作者: liyesheng22    时间: 2014-8-3 21:57
学习学习哦
！
作者: 冥顽不灵    时间: 2014-8-5 14:01
MorningTech 发表于 2014-4-14 21:29
tooling变化大吗？

都是高手啊
作者: 吉喵    时间: 2014-8-5 19:20
作者: 中国微服    时间: 2014-8-16 23:41
下载看看
作者: 中国微服    时间: 2014-8-16 23:41
第二次看看下载
作者: wdydede    时间: 2014-8-17 23:40
2 个银币 才能浏览
作者: wm1227    时间: 2014-8-18 08:25
这个要看规整膜系还是非规整膜系了，规整膜系中，一般tooling值比较接近，非规整膜系中，tooling值会相对大点，比如AR膜系，一般每一层的tooling都不同
作者: 士官长    时间: 2015-12-30 08:44
wm1227 发表于 2014-8-18 08:25
这个要看规整膜系还是非规整膜系了，规整膜系中，一般tooling值比较接近，非规整膜系中，tooling值会相对大 ...

请教一下，是不是tooling只有在镀和测试相近的厚度时才等于计算出的值？
比如：此tooling只在500nm*3QWOT时才等于此值，500nm*1QWOT时会稍有不同？
作者: liul    时间: 2016-3-25 10:38




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