光电工程师社区

标题: 双枪镀膜机均匀板的修整方法快、准、狠 [打印本页]

作者: rollo_tomasi 时间: 2014-2-25 11:32
标题: 双枪镀膜机均匀板的修整方法快、准、狠
对与带有双电子枪的镀膜机来说，修整高、低折射率材料的膜厚之比很是麻烦。但是我介绍的这种方法，简单实用，一步到位，希望对大家有帮助！
1、镀一个7层的1/2波长厚度的膜系：2H2L2H2L2H2L2H，由于它在监控波长处全为虚设层，故透射率为极大，而其两侧的两个透射极小值峰对高、低折射率误差极为敏感。
2、若低折射率层偏薄，则短波侧的透射率降低而长波侧的透射峰升高，反之亦然。
3、由此不仅可以了解膜厚均匀性，而且可知高低折射率膜的厚度比是否正确。

作者: 苏州膜头 时间: 2014-2-25 20:38
楼主：弱弱的问下，高低折射率材料的膜厚是同时修正的吗？和膜厚均匀性有关系吗？请说详细点。

作者: wdydede 时间: 2014-2-25 22:29
谢谢楼主的分享，这是好主意！刚用2.2，1.45，模拟了一下，的确比较灵敏，当两者之比为1：1.01，则两个次峰变化达2%，一个上升1%，一个下降1%。

作者: rollo_tomasi 时间: 2014-2-26 08:30
如果对整个镀膜伞修整均匀性的话，主要是修正径向内外圈的厚度差异，还是需要靠一次一次逐步微调。
我这个更主要的是侧重于在使用晶控监控时高、低折射率膜层的比例修正。这个方法比用光度计测量一个SWP膜系不同入射角度的次峰大小来判断两者比例的方法要简单许多！

作者: lkai1014 时间: 2014-2-26 10:21
可以先分别修正高和低折射率材料的修正板，然后在用HLHLH2LHLHLH做一个BPF来同时修正H和L的修正板

作者: rollo_tomasi 时间: 2014-2-26 10:46
对楼上的说话，我说一点不同意见：如果你的分光光度计可以测量剩余反射率的话，我可以镀一个双层λ/4-λ/4的单点式AR，它的剩余反射率曲线就是一个V型，不是也能很好的看出均匀性的差异嘛！比镀一个11层的窄带通要省时好多！

作者: rollo_tomasi 时间: 2014-2-26 12:53
明白 lkai1014 的意思，就好比增透膜和滤光膜，两者在均匀性上还是有差异的，厚层和薄层也是有差异的！

作者: lkai1014 时间: 2014-2-26 13:42

作者: coaterxf 时间: 2014-2-27 14:06
五指山法怎么用呢？

作者: qxb2008 时间: 2014-2-27 20:03
本帖最后由 qxb2008 于 2014-2-28 08:32 编辑

lkai1014 发表于 2014-2-26 10:21
可以先分别修正高和低折射率材料的修正板，然后在用HLHLH2LHLHLH做一个BPF来同时修正H和L的修正板

修正板还分为高低折射率两种修正啊，那怎么能够同时兼顾两者呢？

作者: qxb2008 时间: 2014-2-27 20:12
本帖最后由 qxb2008 于 2014-2-27 20:16 编辑

请教一下：BPF如何判定是高折射率还是低折射率的问题，是偏多还是偏少。

作者: lkai1014 时间: 2014-2-28 00:28

qxb2008 发表于 2014-2-27 20:12
请教一下：BPF如何判定是高折射率还是低折射率的问题，是偏多还是偏少。

通过比对HL各组系数的变化来进行修正

11L-BPF 组系数小于1.gif (424.58 KB, 下载次数: 257)

11L-BPF 组系数大于1.gif (561.95 KB, 下载次数: 261)

作者: ghtzna 时间: 2014-2-28 14:19

lkai1014 发表于 2014-2-26 10:21
可以先分别修正高和低折射率材料的修正板，然后在用HLHLH2LHLHLH做一个BPF来同时修正H和L的修正板

binggo 正解

作者: gb936 时间: 2014-3-7 12:02
学习

作者: 飛兲寶赑 时间: 2014-3-9 21:27

作者: ysc730603 时间: 2014-3-28 21:22

作者: rollo_tomasi 时间: 2014-3-31 09:32
灌水的有点多啊！
呵呵……

作者: lovemannyzhu 时间: 2014-4-2 20:48

作者: 越依赖越放肆 时间: 2014-4-3 02:44

作者: cqzxcl 时间: 2014-5-13 10:28
这种均匀性主要是H\L的匹配不好搞，我这边就是第一圈和第四圈做短通不掉坑然而第二圈和第三圈就会掉坑，头都大了。。。

作者: yuliang518 时间: 2014-5-16 05:31
太有见地了，学习了

作者: ranguangpu 时间: 2014-5-28 18:20
学习，谢谢

作者: xiazg 时间: 2014-5-29 07:38
需要晶振片的看过来嘉兴晶控电子有限公司（JJK）成立于2004年1月初，公司位于浙江省嘉兴市南湖区余新工业园。是一家集研发、生产、销售石英晶振片和石英晶体微天平的科技型企业。现有厂房约7600㎡，员工60余人。
公司于2004年开始生产石英晶振片基片，并于2005年下半年大量供应美国市场，成为国内最大的石英晶振片基片生产商。经历4年技术和经验的沉淀之后，2008年开始，从美国引进先进的镀膜设备，以一流的技术、一流的团队，凭借一流的基片，精心打造国内晶振片第一品牌。
为满足国内市场各种型号、规格晶控仪对晶振片的差异化需求，JJK精心设计和制造了多种不同规格的晶振片(5/6Mhz,金、银、合金三种电极材料)规格齐全，更重要的是，JJK晶振片性能的稳定性和可靠性与进口晶振片已无差距，可重复使用次数也达到了进口晶振片的水平。至2010年底，我们的客户达到400多家，产品广泛应用于真空镀膜、半导体（LED）行业，医疗、军事、航天等研究机构，远销美国、新加坡、德国、日本等海外市场，并受到业界的一致认可。

销售经理夏志国 15068338773 QQ1046118891

作者: 白云 时间: 2014-5-31 11:42
得好好学习下。

作者: crl0129 时间: 2014-12-22 15:51
学习啦

作者: 良哥 时间: 2015-8-26 16:34
这才是技术贴嘛，论坛要多发些这样的，不管难易，讨论就好，赞赏楼主的积极和热情。

作者: yangdaoqi 时间: 2015-8-27 05:33
还可以五指山法~

作者: sgh920 时间: 2019-4-30 18:17

作者: yong0009 时间: 2019-7-9 12:18
学习了，希望下次发多一点，谢谢

作者: JJK-晶振片-何 时间: 2019-7-10 08:52
学习了

作者: 17873333033 时间: 2020-5-20 09:44
我用的是H2L2H2L2H2LH这个可以吗？

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)