光电工程师社区

标题: 圆黑点的什么？ [打印本页]

作者: HGcoating 时间: 2014-3-27 13:47
标题: 圆黑点的什么？
在镀膜机内抽真空后加热160度后，开腔取出在显微镜下检验有圆黑点。（不开离子源，不开电子枪）

22.JPG (334.2 KB, 下载次数: 165)

作者: wangliia 时间: 2014-3-27 14:37
移动显微镜平台，不动的话就是显微镜里面脏了

作者: HGcoating 时间: 2014-3-27 14:54
应该不是，更换过几台显微镜，不同区域的地方也有类似的黑点。黑点有的多有的少。

作者: HGcoating 时间: 2014-3-27 14:55
不知道有没有可能是哪种液体加热后产生反应造成的？

作者: HGcoating 时间: 2014-3-27 15:09
擦不掉，吹不掉。

作者: HGcoating 时间: 2014-3-27 15:14
这形状条形加热前只接触过高纯氮气设备，氮气只是转换真空后起吸的作用。并没有往外吹气。

作者: HGcoating 时间: 2014-3-27 15:16
哪位高手能解释下原因。

作者: wangliia 时间: 2014-3-27 16:02
脏东西经过高温烧焦，类似损伤的一种？

作者: HGcoating 时间: 2014-3-27 16:19

wangliia 发表于 2014-3-27 16:02
脏东西经过高温烧焦，类似损伤的一种？

表面是InGaAlP半导体材料，在400度温度下不会有变化。

作者: HGcoating 时间: 2014-3-27 16:25

HGcoating 发表于 2014-3-27 14:55
不知道有没有可能是哪种液体加热后产生反应造成的？

擦不掉，吹不掉。

作者: MorningTech 时间: 2014-3-27 22:00
本帖最后由 MorningTech 于 2014-3-27 22:04 编辑

多为圆点，似应为液体表面张力所致收缩成圆形。
或是过程中变成液态，或本来就是液态，或是液体中杂质留下的圆斑，加温后变性了。

作者: 大大鸟鸟 时间: 2014-3-28 07:47
是在镀腔面吗？

作者: 大大鸟鸟 时间: 2014-3-28 07:48
可能是你放进腔体的时候就有了，只不过你在显微镜下看不清，等高温烘烤后就变性了，显现出来了。

作者: HGcoating 时间: 2014-3-28 08:08

MorningTech 发表于 2014-3-27 22:00
多为圆点，似应为液体表面张力所致收缩成圆形。
或是过程中变成液态，或本来就是液态，或是液体中杂质留下 ...

这个我也想过，问题是并没有接触过液体，只有材料本身的粉状物。但粉状物一般都不规则形状（图片圆点旁边就是）
并且材料为半导体材料，本身不会是液体加温后也不会变成液体

作者: HGcoating 时间: 2014-3-28 08:10

大大鸟鸟发表于 2014-3-28 07:47
是在镀腔面吗？

放入真空腔抽真空，只加温。不做其它动作。取出就会出现此现象

作者: HGcoating 时间: 2014-3-28 08:12

大大鸟鸟发表于 2014-3-28 07:48
可能是你放进腔体的时候就有了，只不过你在显微镜下看不清，等高温烘烤后就变性了，显现出来了。

现已发现放入其它（如烘箱）加热也会出现黑圆点。不加温就看不出来

作者: 大大鸟鸟 时间: 2014-3-28 12:28
你做什么工艺？什么产品。。。

作者: 大大鸟鸟 时间: 2014-3-31 13:01
不知道问题解决了没有呢？

作者: 大大鸟鸟 时间: 2014-4-1 17:06
铁？解BAR的时候带进去的？

作者: HGcoating 时间: 2014-4-2 10:43

已发现夹条夹具也有黑圆点

作者: 大大鸟鸟 时间: 2014-4-3 12:29
夹具必须打磨干净哦...

作者: lovemannyzhu 时间: 2014-4-4 05:56

作者: 大大鸟鸟 时间: 2014-4-4 12:36
你们什么夹具啊加QQ 1790026247聊

作者: 大大鸟鸟 时间: 2014-4-8 15:49
问题还没有解决么啊？

作者: HGcoating 时间: 2014-4-9 08:15
已排除在镀膜引起的，所以由其它工序人员去找铁来源。我负责镀膜这边。

作者: 獨抹①丗仺涼 时间: 2014-4-10 14:11

作者: SWFX027 时间: 2016-4-14 03:00
冷却不好，感觉有扩散泵返油！

作者: 苏州膜头 时间: 2016-9-11 13:23
解决了吗？看看工转吧，轴承有问题吧？

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