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标题: 各位帮忙回答下 [打印本页]

作者: zouyou828459 时间: 2014-5-9 21:51
标题: 各位帮忙回答下
各位有单独用晶控做监控镀制中心波长在500至600纳米的任一单波长，半带宽的9至11纳米、截止深度为OD3的窄带吗，你们做过的帮忙分享下你们的成果，因为我有个产品就是做种类型，我的产品要求是400至800截止深度OD3，中心波长在500多，半带宽要求10正负二纳米，我这边的机器有IC 晶控仪，但监控SIO2就是速率控制不好，有深冷，没离子源，不知道能不能镀制这么高要求的产品，求各位分析下，另外我这里的日立U-4100分光光度计无论是测透过还是反射，其测量结果不稳定，测一个K9白片的透过时其测量一会儿一会儿低，但都比理论透过高0.5%以上,这种不稳定现象你们遇到过吗？

作者: zouyou828459 时间: 2014-5-9 22:13
我补充下，窄带的峰值透过率要求60%，我这个机台一直是做AR而没用过TI3O5，这次第一次用就上做这么高难度的窄带，能不能做好还是个问号啊，我想做好材料参数和TI与SI的匹配参数后就分三步走，第一步是用产品的一面去镀制一个截止范围在640~800波长的短波通，再根据这个短波通的光谱结果来分析调整材料匹配参数，第二步就是只上几个产品镀制主膜了，当然如果成功就是最后一步直接上产品镀主膜了，各位牛人帮忙分析下看看还要哪些要注意的地方。

作者: qjy 时间: 2014-5-10 20:09
可以做到的，只是不太容易。多年前我试做过类似的主膜系，结果是半宽度13nm，峰值63%，多花点功夫应该可以做到楼主的目标的（那次我只是做着玩的，也就做了一次）

作者: zouyou828459 时间: 2014-5-11 17:15
本帖最后由 zouyou828459 于 2014-5-11 17:56 编辑

qjy 发表于 2014-5-10 20:09
可以做到的，只是不太容易。多年前我试做过类似的主膜系，结果是半宽度13nm，峰值63%，多花点功夫应该可以做 ...

我今天做了一炉主膜的试验，半带宽跟设计的一样是10个纳米，但是烦人啊秀过率只有41%，这可怎么办，我要不要把半带宽设计为12，这样镀出来透过率或许能达到所要求的50%呢

作者: zouyou828459 时间: 2014-5-11 17:20

zouyou828459 发表于 2014-5-11 17:15
我今天做了一炉主膜的试验，半带宽跟设计的一样是10个纳米，但是烦人啊秀过率只有41%，这可怎么办，我要不 ...

我这之前有人做过这类产品，峰值能达到80%，好像他用的是光控膜系再优化，而我用的是两个长短波通叠加法，哪位牛人有类似的此类膜系设计可否一起探讨探讨？

作者: rollo_tomasi 时间: 2014-5-12 09:13
没有离子源，而且用晶控监控Ti3O5和SiO2镀多层介质膜，千万别忘记温飘的问题：也许镀完当天测量波长位置正好，5天后飘长10nm、15nm是很正常的事情！
所以此事千万别冒进，一定要勤测量，一直到膜层吸潮稳定后，波长没有红移后，再确定Tooling值！

作者: rollo_tomasi 时间: 2014-5-12 09:18
这个事情太难，首先晶控就是一个大Bug。先不说随着时间推移波长红移的情况，光是随着机器使用状况的不同，Tooling值也会随着改变，你如果不是对这台机器的Tooling把握很熟悉，我还是劝你不到万不得已，别用晶控做！

作者: zouyou828459 时间: 2014-5-12 19:56

xiaohuilee 发表于 2014-5-11 20:05
做这样的膜你要是用长波短波叠加更麻烦我试过叠加的首先对机器的稳定性要求特别高而且你的峰值做不太 ...

NO！你理解错了我的意思，我要说的是设计膜系时所用的膜堆是用长短波通组合设计，而不是镀一个长波通和镀一个短波通，我想这样做应该行不能，除非机器很稳定了。

作者: qjy 时间: 2014-5-12 21:30
真的非常非常的佩服加仰视楼主！竟然能够用长短波通的膜系做精度要求这么高的滤光片！真是遇到高手中的高高手了！

作者: zouyou828459 时间: 2014-5-12 21:54

rollo_tomasi 发表于 2014-5-12 09:13
没有离子源，而且用晶控监控Ti3O5和SiO2镀多层介质膜，千万别忘记温飘的问题：也许镀完当天测量波长位置正好 ...

是啊，我知道，因为我之前的公司就是专业做窄带的，我现在的机台没有那种带冷却水的霍尔类子源，但是有深冷，镀前真空能达到十的负四次方，所以相对来说漂移量没那么大。

作者: zouyou828459 时间: 2014-5-12 22:03

qjy 发表于 2014-5-12 21:30
真的非常非常的佩服加仰视楼主！竟然能够用长短波通的膜系做精度要求这么高的滤光片！真是遇到高手中的高高 ...

对于窄带膜系设计我懂得不是很多，都是以前学到的一些皮毛现在要用的时候现拿来用呀，我知道论坛的高手很多，所我这个贴出来是请各位一起聊一聊做窄带滤光片的一些话题，拜托就不要挖苦我了。

作者: zouyou828459 时间: 2014-5-12 22:18
我今天通过修改了材料参数及重新设计了膜系，就是把半带宽设计为12纳米，看了一下该膜系比原先还薄了好多，我又试镀了一炉结果，我的那个激动啊，峰值透过率达到了75%以上，可惜半带宽只12.6了,唉不管怎么说悬着的心终于掉下来，要知道老板今天中午又在催我了，要知道这个产品是他叫别的厂家做坏了再拿回来给我做的，时间就只给我半个月，我每天做增透只有一个班一天平均四炉，还得做这个东东，如果说今天做不出来那我可能就会放弃了，这得感谢我的师父啊，每当有困境时都能从他那找到启发！

作者: zouyou828459 时间: 2014-5-12 22:24
本帖最后由 zouyou828459 于 2014-5-12 22:26 编辑

rollo_tomasi 发表于 2014-5-12 09:18
这个事情太难，首先晶控就是一个大Bug。先不说随着时间推移波长红移的情况，光是随着机器使用状况的不同，T ...

试试看，有些东西有机会给试那就试，反正做不出来也没什么损失，还可以给自己积累经验，要知道，我做这个产品，昨天夜里一个人忙到快十二点，忙了就有回报的，今天又是十点多钟才下班，唉这个月要发资奖了，为了能多发点我现在是豁出去了

作者: rollo_tomasi 时间: 2014-5-13 08:04
非得要用K9玻璃么？
我觉得楼主可以考虑在有色玻璃上镀膜，这样至少正面膜系会简单许多，只需要一个带通就好了。背面再镀一个AR就好了！

作者: cqzxcl 时间: 2014-5-13 09:45
用你说的机子可能是函一的吧，没有光控不要紧，关键就看你的ic/5怎么样了若果凑活的话应该是可以达到要求的，就用长短通膜系全优，还有就是关于带宽的问题那就得看你的材料做得准不准了。设计的时候可以适当放宽半带宽。若用窄带膜系光控也不一定能做出来，腔层对的不准的话透过率也会很低的。我觉得用晶振做窄带就是看运气。

作者: rollo_tomasi 时间: 2014-5-13 11:18
楼上说的不错，既然只能用晶控，那膜系就可以全部优化，达到同样的目标值，膜层层数也会少一点。
最难的就是Tooling值，这个只能看个人造化和机器重复性了，谋事在人，成事在天！

作者: zouyou828459 时间: 2014-5-13 20:44

rollo_tomasi 发表于 2014-5-13 08:10
波长的飘逸主要是膜层的致密性导致的，光看真空度，没有离子源，其膜层本身也很疏松，放在空气中吸潮后的 ...

呵呵，我成功了，如你所说，我用的基底是有色玻璃，之所以要用两个膜系去镀那是因为我这里的IC6膜厚仪镀SIO2 时速充很不稳，而且越不稳定时镀实际镀上去的SIO2越少，这是我总结出来的，这次镀产品也不稳，但结果还比上炉的透过率还高有80%多，带宽的话在12正负零点3,感觉这次也没做什么改动就是照原来的膜系把带宽压低到12,减了4个波长而已,对这次的的镀膜自己都感到意外呀.

作者: rollo_tomasi 时间: 2014-5-15 07:31

zouyou828459 发表于 2014-5-13 20:44
呵呵，我成功了，如你所说，我用的基底是有色玻璃，之所以要用两个膜系去镀那是因为我这里的IC6膜厚仪镀S ...

恭喜恭喜！
减了4个波长？
什么意思？没太明白！
不过还是建议你隔一两天测一下曲线，确定无漂移了再送给客户！

作者: rollo_tomasi 时间: 2014-5-15 10:02
2L (HL)^2H 2L (HL)^5H 2L H(LH)^5 2L H(LH)^2 L
1.35(0.5LH0.5L)^7
刚闲了一会儿，做了一个膜系，参考波长550nm，半带宽10nm，带通+短波通，优化了1、36、37、38和最后三层，理论曲线如图，希望帮到你！
基底选用JB型号的有色玻璃！

EasyCapture1.jpg (142.69 KB, 下载次数: 97)

作者: zouyou828459 时间: 2014-5-15 12:04

rollo_tomasi 发表于 2014-5-15 07:31
恭喜恭喜！
减了4个波长？
什么意思？没太明白！

减了4个波长那是因为我第一次试镀主膜后发现波长长了4个NM，所以要减4个波长，至于你说的波长漂移的问题，我是用沸水连续煮了两个小时再测的，这样子得出的波至少能够达不水煮到所使用半年以上的波长漂移量，当然这是我猜测的。昨天我把第一次主膜试镀的几个产品拿去烘烤，想把波长烤回来，结果波长没烤回来但是峰值透过却从70%烤到了87%，要知道我用的是JB535的有色玻璃，我在镀好副膜时测得在546那里只达到了90%的透过率，那说明此时这个主膜面的透过率应该非常高了，这有点不可想像，难道是我那次镀出来吸收很严重了。

作者: zouyou828459 时间: 2014-5-15 12:10
本帖最后由 zouyou828459 于 2014-5-15 12:20 编辑

这种膜系也可以去试的，只要你TI和SI的匹配够准还是能够达到你想要的要求吧，在我公司之前的那个技术员就是用这种方法做的，我看了峰值能够达到85%，但是截止深度有些问题，就是那个600多的地方不行，我想对于这个产品就像我之前说的那样，第一次做并且下手这种膜料，肯定是先镀个副膜观察一下光谱曲线再调整各项参数，当然如果你经常做这种类似产品，那可以像你那样一个面把它镀了，前提是要保证结果是好的。

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