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标题: 关于金属加介质高反膜的问题 [打印本页]

作者: x_x_x_f 时间: 2004-9-23 19:43
标题: 关于金属加介质高反膜的问题
在铝膜外加镀一层SiO膜，反射率达不到要求的90%。为什么？

作者: xiaohe 时间: 2004-9-23 23:03
加低温设备可以提高反射率的.

作者: d2ma 时间: 2004-9-24 01:01

以下是引用x_x_x_f在2004-9-23 11:43:12的发言： 在铝膜外加镀一层SiO膜，反射率达不到要求的90%。为什么？

也许你的sio膜的厚度没有控制好

作者: zxp163a 时间: 2004-9-24 03:22

要提高反射率，可以从以下几个方面考虑：1、尽可能提高真空度；2、材料纯度要足够高；3、尽可能提高铝的蒸发速率；4、基底的温度要低；5、在中心波长处多镀几对低高折射率膜层。

作者: x_x_x_f 时间: 2004-9-24 18:40

可能厚度没有控制好，因为是凭经验镀了多厚

作者: Jesus 时间: 2004-9-24 18:54
可不可以做金属膜+多层介质膜，高反的平坦度和反射率可能会好些。

作者: x_x_x_f 时间: 2004-9-26 19:08

如果做金属加多层介质膜是不是zxp163a所说的多镀几对低高折射率对？

那样的话是不是先镀1/4中心波长厚度的低折射率膜，再镀1/4中心波长厚度的高折射率对？

作者: cjjiang 时间: 2004-9-27 18:45

先镀高折射还是先镀低折射跟你所选衬底有关

作者: caodahua 时间: 2006-8-21 23:23
我觉得1、尽可能提高真空度；2、材料纯度要足够高；3、尽可能提高铝的蒸发速率；4、基底的温度要低情况下,镀这样的膜系Al+(NbOx/SiO2)

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