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标题: 薄膜退火 [打印本页]

作者: xiaolvzi 时间: 2004-9-24 00:01
标题: 薄膜退火
薄膜退火后起皮脱落了，真是纳闷呀？

作者: 超级狐狸 时间: 2004-9-24 00:22
退火是什么意思？？冷却吗

作者: sanjie 时间: 2004-9-24 00:24
在空气中自然冷却？？

作者: zxp163a 时间: 2004-9-24 03:26
可能是镀膜工艺存在问题，另外退火的温度对于膜层来说是否太高？冷却是否太快？

作者: xiaolvzi 时间: 2004-9-24 04:25
随炉冷却的，300度不算高，是sio2膜呢

作者: 蘑菇 时间: 2004-9-25 06:26

建議冷卻時間加長，溫度在降低些試試

小小拙見還請指教

作者: zxp163a 时间: 2004-9-26 02:58

那可能是基底的原因，我在某些晶体上镀单层SiO2时也出现过类似情况

作者: heyanch 时间: 2004-9-28 00:20

基底材料是否匹配\温度过高\或冷却太快都可能.

作者: heyanch 时间: 2004-9-28 00:22

基底材料是否匹配主要有:

晶格匹配和热学参数.

作者: zjtzzy 时间: 2004-9-29 18:54
这种情况下，主要原因是镀膜时造成应力太大而脱膜。

作者: hoogoogol 时间: 2004-9-29 20:51

技术不到家

作者: matta 时间: 2004-9-29 20:55

呵呵呵呵楼上说的对当然是技术不到家了

作者: zhuhhui 时间: 2004-9-29 23:05
我看是镀的时候应力高了~

作者: zz 时间: 2004-9-30 19:18
那就降应力贝

作者: zjtzzw 时间: 2004-10-3 17:25
应该基片跟材料不批配，才造成应力过大

作者: snebur 时间: 2005-1-17 23:14
这是脱膜问题！敬请参考－－－（脱膜问题栏）！！！！！

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