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标题: RF sputtering和DC sputtering的区别 [打印本页]

作者: greenhaw 时间: 2014-6-18 15:02
标题: RF sputtering和DC sputtering的区别
那位同行有RF sputtering和DC sputtering的区别的深度资料，比如RF sputtering的palsma能量多少eV，DC sputtering能量多少eV?
因为最近工艺中发现好像DC sputtering对样品轰击能量大于RF sputtering，但是不太确定。

作者: royyang 时间: 2014-7-1 22:38
我这边情况是这样的，要看RF和DC 的负载是什么样的。金属型的，DC表现的要比RF强。绝缘的，RF比DC强

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