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标题: [求助]跳電時，剛好又再鍍膜..怎麼辦? [打印本页]

作者: 蘑菇 时间: 2004-9-24 08:43
标题: [求助]跳電時，剛好又再鍍膜..怎麼辦?

已經遇過好幾次跳電，也幾乎都是再鍍膜時發生，

請問這樣會不會對真空系統與機台造成影響?

煩請各位高手回答~

作者: Jesus 时间: 2004-9-24 19:00

天灾，没的办法预防。

不过一般的设备都有断电保护装置，也就是说，一般来说断电后，你的气压阀门一般都会动作关闭，这样真空室相对密封，不会有大的影响。

但对设备来说，突然的断电对高压控制单元、气动阀门还是会造成一定的损害，影响使用寿命。另外，注意对于油扩散泵系统断电后须及时将加热炉盘卸下，并想办法降低扩散泵的温度，避免油的老化。

想的到的就这些，希望有所帮助。

作者: 蘑菇 时间: 2004-9-25 04:58

非常感謝您，

解除了我一直以來所擔心的事情。

我會注意DP的狀況的。

作者: zjtzzy 时间: 2004-9-29 19:10
如果掉电后能保持冷却水通畅，可不拆电炉。

作者: renajin 时间: 2004-9-29 19:28
是不是跟每种镀膜设备有关系?

作者: Jesus 时间: 2004-10-1 00:34
是的，因为如果是无油高真空机组就需要考虑另外的方面了，获取高真空的方法不同，所以所要考虑和解决的途径也有所不同。

作者: zjtzzw 时间: 2004-10-3 17:22
我们这里也有情况，主要看镀膜时的光学厚度，否则就挂了

作者: xiaohe 时间: 2004-10-9 17:34
突然断电，情况比较糟呀．

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