光电工程师社区

标题: 冷镀AR,使用zro2和sio2四层膜系，水煮过后sio2脱膜 [打印本页]

作者: carpty 时间: 2014-7-22 20:51
标题: 冷镀AR,使用zro2和sio2四层膜系，水煮过后sio2脱膜
冷镀AR,使用zro2和sio2四层膜系，沸水煮20分钟过后第二层sio2脱膜，镀膜前离子源轰击10分钟和镀膜一直开启离子源都脱膜，是什么问题，哪位前辈能分析一下

作者: 李昌瑞 时间: 2014-7-23 16:52
冯大师？？？？以前不是不脱膜？？？是点状腐蚀性脱膜还是块装脱膜。

作者: carpty 时间: 2014-7-23 20:25
新设备调试，镀完第2层sio2全脱膜

作者: 306164500 时间: 2014-7-25 20:04
1111111111111111111111111

作者: jason.chen 时间: 2014-7-30 10:05
你们真牛X，都用水煮的方式验证牢固度，这要求可真不低。

作者: wjwvsly 时间: 2014-8-4 15:44
你们做什么产品呢，为什么使用Zro2和SIO2材料镀膜。
另外，你们用的是什么离子源进行辅助镀膜呢

作者: xiaohuilee 时间: 2014-8-5 07:52
其实我的疑问不是你脱膜的问题是你怎么能确定第二层开始脱膜
还有你是塑胶基底玻璃基底呢既然是冷镀那就塑胶的可能性比较大了为什么不用sio2打底做个尝试

作者: 吉喵 时间: 2014-8-5 19:20
学习学习

作者: royyang 时间: 2014-8-6 02:38
如果是熟料镜片建议温度设定50度。若离子源都没问题，可以考虑真空度抽高点。新组装设备请检查是否有漏气现象。我们水煮40分钟都没事

作者: guhua530 时间: 2014-8-15 06:02

作者: 吉喵 时间: 2014-8-15 12:23

作者: ouyuu 时间: 2014-8-16 18:45
先放进烘箱80度烘个半小时再进去镀。

作者: huang12949 时间: 2014-8-19 17:19
要么不用离子源，要用就要用好！离子源过大过小都不行。楼主能把离子源使用是电压和束流报上为么

作者: royyang 时间: 2014-8-19 17:55

huang12949 发表于 2014-8-19 17:19
要么不用离子源，要用就要用好！离子源过大过小都不行。楼主能把离子源使用是电压和束流报上为么

请问阁下，什么情况为过大？什么情况为过小？

作者: zyjchj 时间: 2014-8-20 08:35

royyang 发表于 2014-8-19 17:57
大师，打底SIO2越厚越牢固？这个特性准确吗？

一般在150nm左右为最佳

作者: 306164500 时间: 2014-8-30 22:57

作者: 炎花降临 时间: 2014-9-1 12:51
学习学习

作者: carpty 时间: 2014-11-8 17:19

wjwvsly 发表于 2014-8-4 15:44
你们做什么产品呢，为什么使用Zro2和SIO2材料镀膜。
另外，你们用的是什么离子源进行辅助镀膜呢

国产离子源，产品放在电饭煲盖盖子水煮20分钟不脱膜

作者: carpty 时间: 2014-11-8 17:20

huang12949 发表于 2014-8-19 17:19
要么不用离子源，要用就要用好！离子源过大过小都不行。楼主能把离子源使用是电压和束流报上为么

国产离子源，电压170V电流5A，国产离子源功率不够

作者: xiao2011 时间: 2014-12-4 15:12

作者: 镀膜加游戏 时间: 2014-12-9 16:41
基片是什么材质？离子打10分钟，如果是平顶架具的话，有点多了吧？

作者: carpty 时间: 2014-12-23 11:06
是康宁玻璃离子源开了10分钟也不行

作者: 帕博光学 时间: 2015-3-11 19:31
离子源与枪打火的话，在离子源输入电源加个隔离变压器即可，当然前提是整机地线要严格按照国标来安装！

作者: 帕博光学 时间: 2015-3-11 19:39
貌似氧化锆与二氧化硅膜层结合性就不是很好的，我是做玻璃的，本底真空7X10-3帕，烘烤温度一直从250逐步加到300度水煮实验还是得掉，也多送氧化硅层掉完，锆层倒是比较牢固，因为那一层灰白色的还是完好的，颜色部分全部掉光。。。。同样是TIO2与SIO2的结合，烘烤温度250就很牢固了

作者: maray 时间: 2015-3-23 18:00

作者: 牛牛轉轉圈 时间: 2015-4-24 13:41

作者: a520200 时间: 2015-9-20 00:04
能确定第几层脱膜？怎么知道的？

作者: wlinliu 时间: 2015-10-23 19:33
你既然已经确定了是中间层开始脱落，那么我想不管你是什么方法知道的（比如最简单的镀前面没有脱落的层对比光谱）

如果都是这一层之前脱落，那么这一层之前肯定是出了问题的，是否有镀超防水？？？，超防水如果是放在坩埚蒸镀的话，跟你的ZrO2若是相邻坩埚，防水镀点比较低，那么考虑是否在镀二氧化锆之前有防水的材料镀上去了。
坩埚里面去掉防水药片试试。

作者: copland 时间: 2015-12-13 12:19

wlinliu 发表于 2015-10-23 19:33
你既然已经确定了是中间层开始脱落，那么我想不管你是什么方法知道的（比如最简单的镀前面没有脱落的层对比 ...

这样的话，电子枪的精度简直太糟糕了。

作者: 风云灬天下 时间: 2015-12-29 13:59
学习学习

作者: 士官长 时间: 2016-1-7 21:40

huang12949 发表于 2014-8-25 09:07
塑料冷镀SIO2打底，我说的是较厚可没有说越厚越好，楼主150佳为正解，我做的时候用在是200。塑料冷冷镀从成 ...

请问如何调电流？是改变充气量吗？

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