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标题: 新科隆RF源资料 [打印本页]

作者: wjwvsly 时间: 2014-8-6 10:56
标题: 新科隆RF源资料
请教各位大仙，有没有新科隆MIC-1350DSI镀膜机的离子源资料，希望能够共享一下

作者: ouyuu 时间: 2014-8-6 10:56
简单介绍一下RF源。
电源部分简单分三块，300w的中和器RF源，1000w的离子源RF源，
还有一个给电极部分加电压的电源。
除此以外，电源柜里还有一个PLC控制器，协调电源工作。

电源的安全锁定（SAFTLE LOCK)
1，真空度，冷却水流量
2，腔体下盖板，离子源筒形盖板（方形匹配盒上面，腔体下面那个），电源后短路接头
3，RF回路电阻过大，电极（筛网薄片）间电阻过小，均会引起安全锁定。
如果不确定哪里发生问题，就进行电极维护，还有整个系统的接头拧紧。（特别是几根粗的同轴电缆）

工作原理：RF产生振动的电磁场，拉扯玻璃碗（离子发生室）内的AR原子。
同时中和器点火，发出中和电子，此时电极仅加上SUP电压，
电子很容易便进入玻璃碗，也产生高频振动，某些电子撞击AR，产生AR离子和更多的电子。
当链式反应进行到一定程度，电极加上ACC电压和BIAS电压，
AR离子越来越多，某些AR离子被挤出玻璃碗，然后在ACC和BIAS栅网间加速，
然后在BIAS与SUP间减速（势阱），最后离开离子源，变成自由离子飞向材料。
SUP的目的是防止离子再次回到离子源，延长电极寿命。
（但是三片电极的价格也比两片贵，这事见仁见智了）

作者: haohaodi 时间: 2014-8-6 17:04
我看要1000个的银币以上吧，因为你可是悬赏Y，10个银币怎么说出口

作者: wjwvsly 时间: 2014-8-7 13:06

haohaodi 发表于 2014-8-6 17:04
我看要1000个的银币以上吧，因为你可是悬赏Y，10个银币怎么说出口

大哥，高抬贵手，小弟实在没有那么钱啊

作者: vin3651 时间: 2014-8-10 21:10

作者: ouyuu 时间: 2014-8-16 19:10
是NIS-175-3的吧。新柯隆就没做过几台DSI。
RF源的中文资料应该是没有的，因为以前的中文技术资料都是我做的，
我记得很清楚没有做过这方面的资料，因为我本身对RF源也很感兴趣，
而且基于技术保密关系，即使有资料也不能随意上传。
不过如果有什么问题直接问吧。我这里可以作答。

附件是操作说明书，最后几页有离子源保养的资料，聊胜于无。

3.Operation Manual Ver.1.pdf

1.41 MB, 下载次数: 99, 下载积分: 光电贝 -10 元

作者: wjwvsly 时间: 2014-8-18 09:02

ouyuu 发表于 2014-8-16 19:10
是NIS-175-3的吧。新柯隆就没做过几台DSI。
RF源的中文资料应该是没有的，因为以前的中文技术资料都是我做 ...

大哥，你是新科隆公司的？

作者: wjwvsly 时间: 2014-8-18 09:15

ouyuu 发表于 2014-8-16 19:10
是NIS-175-3的吧。新柯隆就没做过几台DSI。
RF源的中文资料应该是没有的，因为以前的中文技术资料都是我做 ...

非常感谢您能共享相关知识，另外该设备是12年买的

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