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标题: likeoe请注意,你认为台阶仪直接测膜厚,准确度高一点。透射率不是无法得知了么? [打印本页]

作者: michaelzhj    时间: 2004-9-25 00:17
标题: likeoe请注意,你认为台阶仪直接测膜厚,准确度高一点。透射率不是无法得知了么?
我想知道,你开始在基片上做台阶,那透射率不是无法得知了?
作者: zz    时间: 2004-9-26 05:23
那肯定
作者: heyanch    时间: 2004-9-28 00:52
以下是引用michaelzhj在2004-9-24 16:17:21的发言: 我想知道,你开始在基片上做台阶,那透射率不是无法得知了?

没听懂.


作者: wish    时间: 2004-10-3 16:52

怎么会呢?你在没有台阶的地方还不是照样测量透过率或其他性能,在有台阶的地方可以测量膜厚,不过这个台阶要做得比较好才可以。






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