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标题: Tooling系数问题？ [打印本页]

作者: wdydede 时间: 2014-8-16 16:18
标题: Tooling系数问题？
各位大侠:近来试制五层增透，五位比较片，A88(锆钛合金)和MgF2两种膜料，结果发现两层H料的系数不一致，不知原因?请各位不吝赐教我

作者: wdydede 时间: 2014-8-16 16:21
自己先顶一下

作者: ouyuu 时间: 2014-8-16 18:40
说详细点。有无IAD(离子源），APC（充氧）,
镀膜速率，电子枪束流是否一致。
是用晶控还是光控。

作者: wdydede 时间: 2014-8-17 23:44

ouyuu 发表于 2014-8-16 18:40
说详细点。有无IAD(离子源），APC（充氧）,
镀膜速率，电子枪束流是否一致。
是用晶控还是光控。

无IAD,光控，充氧和束流一致

作者: wm1227 时间: 2014-8-18 08:16
AR膜系中，一般每一层的tooling值都不一样，这个跟膜层结构有关。

作者: wdydede 时间: 2014-8-18 23:05

wm1227 发表于 2014-8-18 08:16
AR膜系中，一般每一层的tooling值都不一样，这个跟膜层结构有关。

tooling值都不一样，按您的经验，差别大吗？会使曲线差太多吗？那么你如何去抓Tooling值呢？

作者: MorningTech 时间: 2014-8-18 23:26
两层H料分别是第几层？是每层一个监控片？重复性如何？

作者: MorningTech 时间: 2014-8-18 23:27
本帖最后由 MorningTech 于 2014-8-18 23:29 编辑

如果跟膜系结构有关系，那就麻烦了，换个膜系就得重新摸索一遍。
同一材料tooling 大概相差有多少%？

作者: wm1227 时间: 2014-8-19 10:31

wdydede 发表于 2014-8-18 23:05
tooling值都不一样，按您的经验，差别大吗？会使曲线差太多吗？那么你如何去抓Tooling值呢？

这个就要看具体情况了，你可以把调整好反射的膜系与你的设计值对比下，看下每一层的tooling值差异多少。
差异大的情况下，就要根据你的设计曲线去模拟出你的实际曲线，抓取tooling值。

作者: huang12949 时间: 2014-8-19 17:09
看楼主的意思好像说的是：五层AR膜，一层膜一个监控片，结果发现两个H膜层的N值不一样（TOOLING不一样）。个人见解的话，如果是镀膜结果OK，说明这个差别范围是可可接受的，这就说明每层的重复性不一致。这个不一致有很多原因，真空度，充氧量，膜厚度，起始束流，速率，光控的灵敏性等。可以接受的话没必要折腾，AR膜嘛。如果不可接受则要好好从这些些方面找找原因到解决它。

作者: MorningTech 时间: 2014-8-21 06:10
没有晶控？光控片的温度多少？
你的H层最薄多厚？两个H层Tooling差异有多大？

作者: wjwvsly 时间: 2014-8-26 09:35
同一材料不同厚度层的tooling值是不一样的，特别是当两者厚度差别比较大时，tooling值差异就大。

作者: 魅力薄膜 时间: 2014-8-26 12:05
电子枪也是有影响镀第一次跟镀第二次就有关系还有坩埚每次的位置也不同

作者: ghtzna 时间: 2014-9-9 09:33
用的同一个修正板么

作者: ghtzna 时间: 2014-9-17 16:07

ghtzna 发表于 2014-9-9 09:33
用的同一个修正板么

厚度不一样的话建议每层系数不一样因为比较敏感薄层系数小一点相对误差较小

作者: royyang 时间: 2014-9-17 17:19

作者: fly6947 时间: 2014-11-3 15:04
两盒H料是同一个坩埚里面的吗？

作者: lkwxp 时间: 2015-1-11 14:26
一种材料在不同层的修正系数本来就会有差异。机台性能，监控方式，膜系结构，等都会影响到材料修正系数。

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