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标题: IRCUT650脱膜如何解决? [打印本页]

作者: wuyoujiao    时间: 2014-11-5 11:09
标题: IRCUT650脱膜如何解决?
镀IRCUT650时没用离子源,是用光驰机镀的膜,后面贴蜡切割,用60度的煤油解蜡,经过超声波清洗后脱膜了,像这样的问题一般来说会是哪个环节造成呢?如果开离子源能不能解决这个问题?
作者: wugaoling688    时间: 2014-11-7 14:35
脱膜有多种原因,1.真空度过低。2.充氧多了。3.机器返油了。离子源可有可无,国产机很少有用离子源的,也不会脱膜。离子源有个好处是温漂小。膜层致密。
作者: wjwvsly    时间: 2014-11-11 11:51
请问你不用离子源镀膜的烘烤温度是多少?
作者: ghtzna    时间: 2014-11-12 08:27
不用离子源我也做过,不会脱模的,成膜温度为多少?基板加热时间多少?
请确认
作者: wuyoujiao    时间: 2014-11-12 14:05
温度是300度左右吧,镀了之后用3M胶测了下膜强,用刀划破膜面之后一撕就会掉一块膜
作者: 齐特再一次    时间: 2014-11-16 21:52
可以把氧气减少些,在保证光谱的前提下。另外在把温度提高些。
作者: 齐特再一次    时间: 2014-11-16 21:54
是不是光驰机 GENER-13
00机器?

作者: 爺、獨霸怡葒院    时间: 2014-12-15 21:58
要用离子枪




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