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标题: 加热工艺 [打印本页]

作者: 拉比熊 时间: 2015-2-27 10:41
标题: 加热工艺
加热工艺出现高温膜裂？什么情况引起？各位大神？

作者: wukeyi28 时间: 2015-2-27 11:51
应力大

作者: 拉比熊 时间: 2015-2-27 13:40

wukeyi28 发表于 2015-2-27 11:51
应力大

应力大是的，但是影响的因素就几个，调整之后效果不是很明显

作者: wazxq 时间: 2015-3-2 23:17
IAD

作者: 苏州膜头 时间: 2015-3-4 21:24
膜裂首先看什么材料，然后才能讨论工艺解决。

作者: 拉比熊 时间: 2015-3-5 14:18

苏州膜头发表于 2015-3-4 21:24
膜裂首先看什么材料，然后才能讨论工艺解决。

使用 si tio2

作者: WENJINGREN 时间: 2015-3-6 08:22
是先行面还是两面都有，膜厚是多少

作者: 拉比熊 时间: 2015-3-8 15:38

WENJINGREN 发表于 2015-3-6 08:22
是先行面还是两面都有，膜厚是多少

IR面，膜厚大概4800NM

作者: lkai1014 时间: 2015-3-9 08:58
实际温度是多少

作者: 拉比熊 时间: 2015-3-9 18:10

lkai1014 发表于 2015-3-9 08:58
实际温度是多少

300

作者: lkai1014 时间: 2015-3-10 08:09

拉比熊发表于 2015-3-9 18:10
300

降到270试试

作者: WENJINGREN 时间: 2015-3-10 10:41

拉比熊发表于 2015-3-8 15:38
IR面，膜厚大概4800NM

先镀IR吗，

作者: royyang 时间: 2015-3-11 06:42

作者: 大大鸟鸟 时间: 2015-3-12 14:01
不要加辅助会好点

作者: 拉比熊 时间: 2015-3-17 16:39

WENJINGREN 发表于 2015-3-10 10:41
先镀IR吗，

作者: 拉比熊 时间: 2015-3-17 16:39

lkai1014 发表于 2015-3-10 08:09
降到270试试

降到270蒙亮度不够

作者: xiaohuilee 时间: 2015-3-23 22:51
提升真空度增加充氧量试试

作者: 牛牛轉轉圈 时间: 2015-4-24 14:21

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