光电工程师社区

标题: 离子辅助镀膜对膜强度的改善 [打印本页]

作者: WENJINGREN 时间: 2015-3-4 21:32
标题: 离子辅助镀膜对膜强度的改善
各位朋友，请教用离子辅助镀膜，改善膜强度的效果如何。谢谢！

作者: 拉比熊 时间: 2015-3-5 14:21
什么离子源？镀什么产品，参数要设定好，

作者: wazxq 时间: 2015-3-5 19:01
效果当然好

作者: WENJINGREN 时间: 2015-3-6 08:16

拉比熊发表于 2015-3-5 14:21
什么离子源？镀什么产品，参数要设定好，

霍尔源，镀AR，镀膜时离子源充O2，O2量控制在多少比较好，我刚接触试镀了一次效果不理想，请您批教。谢谢！

作者: HGcoating 时间: 2015-3-6 09:45
氧气里电压电流中和要控制好

作者: royyang 时间: 2015-3-11 06:45

HGcoating 发表于 2015-3-6 09:45
氧气里电压电流中和要控制好

如何调配好？如何判定已中和好？请指教

作者: 大大鸟鸟 时间: 2015-3-12 13:56
不知道你用的是哪家的离子源，中和合适的时候电压比较稳定，这个就是依据了。

作者: killjackson 时间: 2015-3-18 16:44
霍尔源还是弱了点，有条件上考夫曼形式的吧。

作者: MYMAILZHUJIN 时间: 2016-6-8 00:55
也想知道呀，大家都来讨论下——，

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