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标题: 五氧化二钽有吸收该如何改善 [打印本页]

作者: xiaohuilee 时间: 2015-3-20 23:24
标题: 五氧化二钽有吸收该如何改善
烦请各位帮帮忙五氧化二坦紫外吸收很大，再250-500 改如何改善，没有离子源，尝试过增加充氧量，最后降低速率到1.5A，可还是有吸收，除非镀的比较薄，吸收比较小些，温度250

作者: qjy 时间: 2015-3-21 00:56
兄弟！在这个波段您为啥要选Ta2O5呀？这种材料就到不了那么短的波长，建议选用HfO2

作者: xiaohuilee 时间: 2015-3-21 19:52

qjy 发表于 2015-3-21 00:56
兄弟！在这个波段您为啥要选Ta2O5呀？这种材料就到不了那么短的波长，建议选用HfO2

TA2O5 透明区域是300-10000 可是我用的TA在380左右都有吸收
HF主要成本太高了老板不让用

作者: holdout@163 时间: 2015-3-23 14:59
镀完以后用200多的烘箱烘一下看看，效果是否明显！

作者: shuangzixing 时间: 2015-3-25 11:49
烘箱温度250°烘烤时间3小时到自然冷却。

作者: DanielTsai06 时间: 2015-3-30 10:25
試試ZrO2.

作者: HGcoating 时间: 2015-3-30 15:49
试试ZrO2，可能会好些

作者: riy2000 时间: 2015-4-2 14:37

楼上正解。

作者: aweihuang 时间: 2015-4-4 01:03

作者: bluesun 时间: 2015-4-10 10:46
350nm 之前有需求 TA就不要考虑了；350nm 之后用非IAD，吸收很大，建议楼上的烘烤应该可以

作者: xiaohuilee 时间: 2015-4-11 22:01

bluesun 发表于 2015-4-10 10:46
350nm 之前有需求 TA就不要考虑了；350nm 之后用非IAD，吸收很大，建议楼上的烘烤应该可以

烘烤不是长久之计不知除了hfo2还有什么好的材料 zr也不行

作者: xiazg 时间: 2015-4-15 09:26
这个一定需要用我的晶振片呵呵 15068338773 JJK

作者: 诸葛流星 时间: 2015-4-17 15:16
换材料是唯一的出路

作者: royyang 时间: 2015-4-18 14:45

作者: 牛牛轉轉圈 时间: 2015-4-24 13:32
換材料吧~~~

作者: yuliang518 时间: 2019-7-19 05:11
学习了，点个赞👍👍👍👍👍👍👍👍👍👍👍👍👍👍

作者: JJK-晶振片-何 时间: 2019-7-19 08:31
学习了

作者: 罗先生1990 时间: 2019-12-2 15:43
这个波段本身就有很大的吸收

作者: sery1234 时间: 2020-5-6 18:59
楼上这些都是经验之谈，没有离子源辅助镀膜，也就只能烘烤一下适当降低吸收，氧化哈又嫌贵，建议先买个好的离子源。

作者: dyfdudu 时间: 2020-5-9 09:49
学习了

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